触摸传感器及其制备方法与流程

本发明涉及一种触摸传感器及其制备方法。具体地，本发明涉及一种具有优异耐久性的柔性触摸传感器及其制备方法。

背景技术：

在触摸输入方法作为下一代输入方法而正受到关注的同时，已经尝试将触摸输入方法引入更广泛的各种电子设备。因此，已经积极地进行研究和开发可以应用于各种环境并且可以准确地识别触摸的触摸传感器。

例如，在具有触摸型显示器的电子设备的情况下，实现超轻重量、低功率和改进便携性的超薄柔性显示器已经作为下一代显示器引起关注，并且希望开发适用于这种显示器的触摸传感器。

柔性显示器是指在柔性基板上制造的显示器，其可以弯曲、折叠或卷绕而不损失性能，并且正在以柔性lcd、柔性oled和电子纸的形式进行技术开发。

具体地，在便携式电子设备的情况下，存在两个相反的需求：针对便携性的小型化，以及用于尽可能多地显示大量信息的大尺寸显示。

为了在给定的设备尺寸内确保最大显示，韩国专利公开号10-2015-0057323提出了具有窄边框区域的集成有触摸传感器的显示设备。在该方法中，为了减小边框的面积，在穿过弯曲线路的区域中不存在触摸板，从而防止在触摸板和端子之间的连接部分中的破裂或抬起。然而，即使利用该方法，也存在不能超过设备平面的屏幕尺寸的限制。

最近，如韩国专利公开号10-2015-0044870中所公开那样，具有柔性显示部分的便携式终端将柔性显示部分分成在前侧的主显示区域和在侧面的子显示区域，其采用侧面作为显示区域的一部分。

在这种情况下，尽管具有扩大显示区域的优点，但是存在以下问题：在边缘部分处(显示装置在这里弯曲)的透明导电膜中积累应力，从而在触摸传感器中引起破裂。

技术实现要素：

[技术问题]

本发明的目的是提供一种具有改进的弯曲特性和耐久性的柔性触摸传感器，其能够承受在触摸传感器的弯曲部分中产生的应力。

本发明的另一个目的是提供一种用于制备柔性触摸传感器的方法，所述柔性触摸传感器具有改进的弯曲特性和耐久性，能够承受在触摸传感器的弯曲部分中产生的应力而不需要任何额外的工艺。

[技术方案]

根据本发明的一个方面，提供了一种触摸传感器，其包括：基板；所述基板上的有效区，其中布置有传感器电极；迹线，其位于基板上的有效区的边界上，以将传感器电极连接至触摸传感器配线；以及至少一个迹线桥电极，其将传感器电极电连接至迹线。

在此，传感器电极可以包括：多个第一传感器电极，所述多个第一传感器电极沿第一方向布置并且在一个图案中彼此连接；以及多个第二传感器电极，所述多个第二传感器电极沿与第一方向交叉的第二方向布置并且通过传感器桥电极彼此连接。

迹线可以包括透明导电层，其由与传感器电极相同的材料制成；和金属层，并且所述迹线桥电极可以将所述传感器电极与所述透明导电层电连接，或者将所述传感器电极与所述金属层电连接。

迹线桥电极和传感器电极的透射率差异可以为10％或更小。

触摸传感器可以具有弯曲形状，以在至少一部分迹线周围形成曲面。

根据本发明的另一方面，提供一种用于制备触摸传感器的方法，其包括以下步骤：在基板上形成包括传感器电极图案和第一迹线图案的第一导电图案；在所述第一迹线图案的至少一部分上形成第二迹线图案；施加绝缘层并将绝缘层图案化以覆盖所述第一导电图案和所述第二迹线图案中的至少一个；以及形成迹线桥电极，所述迹线桥电极将所述传感器电极图案的至少一部分电连接至所述绝缘层上的所述第一迹线图案或所述第二迹线图案。

根据本发明的另一方面，提供一种制备触摸传感器的方法，其包括以下步骤：通过在载体基板上施加用于形成间隔层的组合物以形成间隔层；在所述间隔层上形成包括传感器电极图案和第一迹线图案的第一导电图案；在所述第一迹线图案的至少一部分上形成第二迹线图案；施加绝缘层并将绝缘层图案化以覆盖所述第一导电图案和所述第二迹线图案中的至少一个；以及形成迹线桥电极，所述迹线桥电极将所述传感器电极图案的至少一部分电连接至所述绝缘层上的所述第一迹线图案或所述第二迹线图案。

在此，传感器电极图案可以包括多个第一传感器电极，所述多个第一传感器电极沿第一方向布置并且在一个图案中彼此连接，以及多个第二传感器电极，所述多个第二传感器电极沿与第一方向交叉的第二方向布置并且彼此不连接，并且可以在形成迹线桥电极的步骤中形成用于将多个第二传感器电极彼此连接的传感器桥电极。

用于制备触摸传感器的方法可以还包括在形成迹线桥电极的步骤之后形成钝化层的步骤。

当使用载体基板时，制备触摸传感器的方法可以还包括在形成迹线桥电极的步骤之后去除载体基板并附着基膜的步骤。

[有益效果]

根据本发明的触摸传感器，通过桥电极代替连续膜来连接有效区的传感器电极和迹线，可以减轻应力，从而提高触摸传感器的弯曲特性和耐久性并且抑制在触摸传感器中出现破裂。

由于连接传感器电极和迹线桥电极可以在形成有效区的传感器电极形成工艺的传感器桥电极的步骤中一起形成，所以不需要单独工艺用于形成连接传感器电极和迹线的桥电极。

因此，本发明的触摸传感器非常适合应用于弯曲显示装置，该弯曲显示装置利用显示装置的前表面以及侧表面作为显示区域。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施方式的触摸传感器的平面图。

图2示出了根据本发明的一个实施方式的触摸传感器应用于显示装置时的状态。

图3是沿线iii-iii'的截面图。

图4至6是示出根据本发明的其它实施方式的触摸传感器的横截面图。

图7a至7e是示出根据本发明的一个实施方式的用于制备触摸传感器的方法的横截面图。

图8a至8g是示出根据本发明的另一个实施方式的用于制备触摸传感器的方法的横截面图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述根据本发明的触摸传感器及其制备方法的优选实施方式。然而，伴随本发明的附图仅仅是用于描述本发明的示例，并且本发明不限于附图。此外，为了更清楚的表达，一些元件可以在附图中被放大、缩小或省略。

本发明提供了一种具有改进的弯曲特性和耐久性的柔性触摸传感器，其可以通过经由桥电极连接传感器电极和迹线来承受触摸传感器的弯曲部分中产生的应力。

图1是根据本发明的一个实施方式的触摸传感器的平面图。图2示出了根据本发明的一个实施方式的触摸传感器应用于显示装置时的状态。图3是图1沿线iii-iii'的截面图。为了便于说明，在图1和3中未示出迹线的详细图案，而仅示出其简要形式。

参考图1和3，根据本发明的一个示例性实施方式的触摸传感器10包括：有效区100，其包括至少一部分能够感测触摸的区域；以及迹线200，其设置在有效区100的边界处，并且电连接至触摸传感器的布线部分(未示出)。

多个传感器电极110和120布置在有效区100中用于感测触摸，多个传感器电极110和120包括沿第一方向(图1中的水平方向)布置并且彼此连接作为单个图案的多个第一传感器电极；以及沿与第一方向交叉的第二方向(图1中的竖直方向)布置并且通过传感器桥电极130彼此连接的多个第二传感器电极。

第一传感器电极110和第二传感器电极120通过迹线桥电极140电连接至迹线200，并且最终电连接至触摸传感器的布线。

在图1中，第一和第二传感器电极110和120具有菱形形状的单位结构。然而，本发明不限于此，并且绝对可能以不同的形式配置传感器电极，只要属于构成一个感测区域的单元的一个传感器电极连接至属于构成另一个感测区域的另一个单元的另一个传感器电极即可。

第一传感器电极110和第二传感器电极120在基板150同一侧通过单个图案化工艺形成。由于多个第一传感器电极110以单个图案彼此连接，所以通过相同的图案化工艺形成彼此连接的多个第一传感器电极110和属于形成单独感测区域的单元的多个第二传感器电极120。

第一和第二传感器电极110和120由透明导电层制成，其可以由选自金属、金属纳米线、金属氧化物、碳纳米管、石墨烯、导电聚合物和导电油墨中的一种或多种材料形成。

在此，金属可以是金、银、铜、钼、铝、钯、钕、铂、锌、锡、钛、及其合金中的任一种。

金属纳米线可以是银纳米线、铜纳米线、锆纳米线和金纳米线中的任一种。

金属氧化物选自由铟锡氧化物(ito)、铟锌氧化物(izo)、铟锌锡氧化物(izto)、铝锌氧化物(azo)、镓锌氧化物(gzo)、氟锡氧化物fto)和氧化锌(zno)组成的组。

第一和第二传感器电极110和120也可以由包括碳纳米管(cnt)或石墨烯的碳基材料形成。

导电聚合物可以包括聚吡咯、聚噻吩、聚乙炔、pedot和聚苯胺，并且导电油墨可以是金属粉末和可固化聚合物粘合剂的混合物。

此外，第一和第二传感器电极110和120可以具有至少两个导电层的堆叠结构，以便减小电阻。

作为一个实施方式，第一和第二传感器电极110和120可以由一层ito、agnw(银纳米线)或金属网形成。在形成两层或更多层的情况下，第一电极层可以由诸如ito的透明金属氧化物形成，并且可以使用金属、agnw等在ito电极层上形成第二电极层，以进一步降低电阻。

迹线200由与第一和第二传感器电极110和120相同的透明导电层制成的第一层210和由金属层制成的第二层220构成。

通过与在基板150同一侧的第一传感器电极110和第二传感器电极120相同的图案化工艺形成迹线200的透明导电层210，并且在其上形成构成迹线200的金属层220。

绝缘层160形成在第一传感器电极110和第二传感器电极120上，以使第一传感器电极110和第二传感器电极120彼此电隔离。

属于构成单独感测区域并且在透明导电层图案上彼此分离的单元的多个第二传感器电极120通过传感器桥电极130经由绝缘层160的孔彼此连接。

同时，有效区100的一些最外面的传感器电极110和120电连接至迹线200，如图3中所示，通过迹线桥电极140电连接至迹线200的金属层220。

传感器桥电极130和迹线桥电极140也使用类似于第一和第二传感器电极110和120的透明导电层材料形成。特别地，通过使第一和第二传感器电极110和120的材料与传感器和迹线桥电极130和140的材料之间的透射率之差在10％以内，可以减轻传感器和迹线桥电极130和140的可视性。

当根据本发明实施方式的触摸传感器10应用于显示装置时，如图2中所示，触摸传感器10的边缘可以被弯曲以使显示区域最大化。

此时，通过迹线桥电极140代替连续膜连接有效区100的第一和第二传感器电极110和120以及迹线200，可以减轻应力，从而提高触摸传感器的弯曲特性和耐久性以抑制触摸传感器的破裂。

在传感器桥电极130和迹线桥电极140上形成钝化层170，以防止构成电极的导电图案受到外部环境(湿气、空气等)的影响。

其中设置有有效区100和迹线200的基板150是用于实现柔性触摸传感器的薄膜基板，并且可以是透明膜或偏振片。

对透明膜没有限制，只要透明膜具有良好的透明性、机械强度和热稳定性即可。透明膜的具体实例可以包括热塑性树脂，例如聚酯树脂，诸如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚间苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯和聚对苯二甲酸丁二醇酯；纤维素树脂例如二乙酰纤维素和三乙酰纤维素；聚碳酸酯树脂；丙烯酸酯树脂，诸如聚(甲基)丙烯酸甲酯和聚(甲基)丙烯酸乙酯；苯乙烯树脂，诸如聚苯乙烯和丙烯腈-苯乙烯共聚物；聚烯烃树脂，诸如聚乙烯、聚丙烯、具有环状或降冰片烯结构的聚烯烃和乙烯-丙烯共聚物；氯乙烯树脂；酰胺树脂诸如尼龙和芳族聚酰胺；酰亚胺树脂；聚醚砜树脂；砜树脂；聚醚醚酮树脂；聚苯硫醚树脂；乙烯醇树脂；偏二氯乙烯树脂；乙烯醇缩丁醛树脂；烯丙基化物树脂；聚甲醛树脂；和环氧树脂。此外，可以使用由热塑性树脂的共混物组成的膜。此外，可以使用热固化性或uv固化性树脂，例如(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯、丙烯酸氨基甲酸酯、环氧和硅树脂。

这种透明膜可以具有合适的厚度。例如，考虑到强度和处理方面的可加工性或薄层性质，透明膜的厚度可以为1μm至500μm，优选为1μm至300μm，更优选为5μm至200μm。

透明膜可以包含至少一种合适的添加剂。添加剂的实例可以包括uv吸收剂、抗氧化剂、润滑剂、增塑剂、脱模剂、防着色剂、阻燃剂、成核剂、抗静电剂、颜料和着色剂。透明膜可以包括各种功能层，其包括硬涂层、减反射层和阻气层，但是本发明不限于此。也就是说，根据期望的用途，也可以包括其它功能层。

如果需要，可以对透明膜进行表面处理。例如，表面处理可以通过诸如等离子体、电晕和底漆处理的干燥方法，或通过诸如包括皂化的碱处理的化学方法来进行。

此外，透明膜可以是各向同性膜、延迟膜或保护膜。

在各向同性膜的情况下，优选地满足40nm以下、优选为15nm以下的面内延迟(ro)和-90nm至+75nm、优选为-80nm至+60nm、特别是-70nm至+45nm的厚度延迟(rth)，面内延迟(ro)和厚度延迟(rth)由下式表示。

ro＝[(nx-ny)×d]

rth＝[(nx+ny)/2-nz]×d

其中，nx和ny各自是膜平面中的主折射率，nz是膜厚度方向上的折射率，d是膜的厚度。

延迟膜可以通过聚合物膜的单轴拉伸或双轴拉伸、聚合物的涂布或液晶的涂布来制备，并且其通常用于改善或控制光学特性，例如显示器的视角补偿、颜色灵敏度提高、防止漏光或颜色控制。

延迟膜可以包括半波(1/2)或四分之一波(1/4)片、正c片、负c片、正a片、负a片和双轴片。

保护膜可以是在其至少一个表面上包含压敏粘合剂(psa)层的聚合物树脂膜，或者诸如聚丙烯的自粘合膜。

偏振片可以是已知用于显示面板中的任一种。

具体地，可以使用聚乙烯醇(pva)、三乙酸纤维素(tac)或环烯烃聚合物(cop)膜，但是本发明不限于此。

尽管在附图中未示出，但是基板150可以使用粘合层粘合，并且可以使用光固化性粘合剂。由于光固化性粘合剂在光固化后不需要单独的干燥工艺，所以制造工艺简单。作为结果，生产率提高。在本发明中，可以使用本领域中可用的光固化粘合剂，而没有特别限制。例如，可以使用包含环氧化合物或丙烯酸系单体的组合物。

对于粘合层的固化，可以使用诸如远紫外线、紫外线、近紫外线和红外线的光，诸如x射线和γ射线的电磁波，以及电子束、质子束、中子束。然而，uv固化在固化速度、固化装置的可用性和成本等方面是有利的。

可以使用高压汞灯、无电极灯、超高压汞灯、碳弧灯、氙灯、金属卤化物灯、化学灯和黑光等作为uv固化的光源。

通过迹线桥电极的传感器电极和迹线的连接可以以多种方式进行。

图4至图6是示出根据本发明的其它实施方式的以各种其它方式形成的用于将传感器电极连接至迹线的触摸传感器的横截面图。

首先，参考图4，形成在基板151上的传感器电极111和迹线211和221的结构类似于图2中所示的实施方式。但是绝缘层161以与图2中所示的实施方式不同的方式图案化。

也就是说，在形成绝缘层161以覆盖传感器电极111和位于有效区边界处的迹线211和221之后，迹线桥电极141通过绝缘层的孔将传感器电极111与迹线的金属层221连接。

在形成迹线的透明导电层和金属层未以相同图案形成之后，还可以将传感器电极和迹线的透明导电层彼此连接，但透明导电层被部分暴露。

参考图5，在基板152上形成传感器电极112和迹线的透明导电层212。在透明导电层212上形成有宽度比透明导电层212更窄的金属层222。

形成在传感器电极112和迹线上的绝缘层162被图案化以覆盖迹线的金属层222并暴露透明导电层212。

迹线桥电极142形成为通过绝缘层162的图案化部分而电连接迹线的透明导电层212和传感器电极112。

还可以将图5中所示的迹线的结构和图4中所示的迹线桥电极的结构组合。

参考图6，迹线的透明导电层213和金属层223形成为不同的图案以暴露透明导电层213，然后形成迹线桥电极143以通过绝缘层163的孔连接传感器电极113和迹线的透明导电层213。

现在，将详细描述根据本发明的实施方式的用于制备触摸传感器的方法。

根据本发明，由于用于连接到传感器电极的迹线桥电极通过图案化传感器桥电极的过程与传感器桥电极一起形成，所以可以制造一种具有改进的弯曲特性和耐久性的柔性触摸传感器而没有附加的处理步骤，所述柔性触摸传感器能够承受在触摸传感器的弯曲部分中产生的应力。

本发明的触摸传感器可以直接形成在基板上。或者，可以在载体基板上进行用于形成触摸传感器的过程，之后可以分离载体基板，然后可以附着基膜。

首先，将描述在基板上直接形成触摸传感器的方法。图7a至7e是示出根据本发明实施方式的制备触摸传感器的方法的横截面图。

如图7a中所示，透明导电层形成在基板150上并图案化以形成传感器电极110和迹线的透明导电层210。透明导电层的图案化可以通过使用光敏抗蚀剂的光刻工艺来进行。

透明导电层可以通过溅射法，例如化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)；印刷法，例如丝网印刷、凹版印刷、反向胶印、喷墨；或者润湿或干燥镀敷法来形成。特别地，溅射可以在设置在基板上的掩模上进行以形成电极图案层，所述掩模具有期望的电极图案形状。此外，在通过上述方法在整个基板上形成导电层之后，可以通过光刻形成电极图案。

作为光敏抗蚀剂，可以使用负型光敏抗蚀剂或正型光敏抗蚀剂。

接下来，如图7b中所示，形成了迹线的金属层220。金属层220可以通过诸如cvd、pvd或pecvd的工艺来沉积，但是本发明不限于此。

金属可以是金、银、铜、钼、铝、钯、钕、铂、锌、锡、钛及其合金中的任一种。

现在，如图7c中所述，施加绝缘层160并图案化。

绝缘层160的施加可以通过本领域中已知的常规涂布方法进行。例如，可以提及旋涂、模涂、喷涂、辊涂、丝网涂布、狭缝涂布、浸涂、照相凹版涂布等。

图案化绝缘层160以暴露迹线的金属层220和传感器电极110的一部分，以电连接位于有效区边界处的传感器电极110和迹线的金属层220。

绝缘层160还用于电隔离第一传感器电极110(图1和3)和第二传感器电极120(图1)。为此，绝缘层160可以图案化以完全覆盖第一和第二传感器电极110和120，并且具有用于形成传感器桥电极的孔，或者绝缘层160可以图案化以在多个第一传感器电极110的连接上形成岛。

现在，如图7d中所示，导电材料图案化以形成传感器桥电极130和迹线桥电极140。

由于传感器桥电极130或传感器桥电极130和迹线桥电极140可以位于显示区域上，因此优选桥电极130和140由透明导电材料形成，以便降低桥电极130和140的可视性。用于形成桥电极130和140的透明导电材料可以是与用于形成上述传感器电极的材料类似的材料。特别地，在可视性方面，优选地将显示区域上的传感器电极110和桥接电极130和140之间的透射率之差限制为10％或更小。

接下来，如图7e中所示，在形成传感器桥电极130和迹线桥电极140之后，在整个表面上形成钝化层170。

另一方面，根据图4至6中所示的本发明的其它实施方式的触摸传感器可以通过在迹线的金属层形成步骤、绝缘层形成步骤或上述两个步骤中以类似方式进行上述基本工艺和不同地图案化来制造。

此外，为了克服当使用柔性基板来实现柔性触摸传感器时的工艺困难，可以通过在载体基板上进行处理，然后转移到柔性膜基板来制备触摸传感器。

图8a至8g是示出根据本发明另一个实施方式的制备触摸传感器的方法的截面图，其使用载体基板进行。

首先，如图8a中所示，在载体基板180上形成间隔层190，并且在其上形成透明导电层，并对透明导电层进行图案化以形成传感器电极110和迹线的透明导电层210。

载体基板180可以是玻璃，但是本发明不限于此。也就是说，如果它们是耐热材料，则可以使用其它种类的基板作为载体基板180，所述耐热材料能够承受用于电极形成的处理温度并且在高温下保持平坦化而不变形。

当使用载体基板180时，形成构成触摸传感器的层，然后与载体基板180分离。为此，首先在载体基板180上形成间隔层190，并且在其上形成包括传感器电极110和迹线的透明导电层210的透明导电层图案。

间隔层190可以由有机聚合物制成，例如选自由聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯(例如pmma)、聚酰亚胺、聚酰胺、聚乙烯醇、聚酰胺酸、聚烯烃(例如pe、pp)、聚苯乙烯、聚降冰片烯、苯基马来酰亚胺共聚物、聚偶氮苯、聚亚苯基邻苯二甲酰胺、聚酯(例如pet、pbt)、聚芳酯、肉桂酸酯聚合物、香豆素聚合物、苯并吡咯酮聚合物、查耳酮聚合物和芳香族炔属聚合物所组成的组中的至少一种。

用于形成间隔层的组合物的施加可以通过本领域中已知的常规涂布法进行，例如旋涂、模涂、喷涂、辊涂、丝网涂布、狭缝涂布、浸涂、照相凹版涂布等。在涂覆之后，通过热固化或uv固化对间隔层190进行固化。这些热固化和uv固化可以单独进行或组合进行。

在间隔层190上形成传感器电极110和迹线的透明导电层210的工艺类似于上面参考图7a所述的工艺。

接下来，如图8b至8e中所示，按照顺序形成迹线的金属层220、绝缘层160、桥电极130和140以及钝化层170。其形成步骤类似于上面参考图7b至7e描述的那些步骤，并因此将省略其详细描述。

然后，如图8f中所示，其上形成有电极的间隔层190与用于执行触摸传感器的制备过程的载体基板180分离。间隔层190可以通过物理剥离与载体基板180分离。剥离方法的实例可包括抬离和剥离，但不限于此。

对于剥离，可以施加1n/25mm或更小，优选地0.1n/25mm或更小的力，并且该力可以根据间隔层的剥离强度而变化。如果剥离强度超过1n/25mm，则在从载体基板剥离期间膜接触传感器可能破裂，并且可能对膜接触传感器施加过大的力，从而导致膜接触传感器的变形，并且不能用作设备。

接下来，将柔性膜基板150附着至将载体基板180从其剥离的间隔层190的表面。作为膜基板150，可以使用如上所述的各种膜。

虽然在图中未示出，但是如果需要，基板150可以粘附到与将载体基板180从其剥离的间隔层190的表面相对的钝化层170上。

此外，尽管在附图中未示出，但是如果需要，可以通过使用有机绝缘层或无机绝缘层在间隔层190上形成保护层。

此后，膜接触传感器可以附接有电路板，其中导电粘合剂可以用于与电路板的附接。

导电粘合剂是指使诸如银、铜、镍、碳、铝和镀金的导电填料分散在环氧树脂、硅树脂、聚氨酯树脂、丙烯酸系树脂或聚酰亚胺树脂的粘结剂中的粘合剂。

电路板的附接可以在将触摸传感器与载体基板分离之前或之后进行。

如此制造的触摸传感器可以附接至显示面板。此时，可以施加聚合物材料例如光学透明粘合剂(oca)，然后可以通过光固化和热固化来接合触摸传感器。

oca是施加物理力的膜型粘合剂，其可以通过完全粘合或边界粘合而使用。

尽管已经示出和描述了本发明的特定实施方式和实例，但是本领域技术人员将理解，并不旨在将本发明限制于优选实施方式，并且对于本领域技术人员来说，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种改变和修改。

因此，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

附图标记的说明

100：有效区110、111、112、113：第一传感器电极

120：第二传感器电极130、131、132、133：传感器桥电极

140、141、142、143：迹线桥电极

150、151、152、153：基板160、161、162、163：绝缘层

170、171、172、173：钝化层180：载体基板

190：间隔层200：迹线

210、211、212、213：透明导电层

220、221、222、223：金属层