本发明涉及一种用matlab计算均匀性的软件方法，尤其涉及到离子注入机均匀性大量数据的计算。
背景技术：
随着半导体集成电路技术的蓬勃发展，半导体设备升级很快。离子注入机是半导体行业最为复杂和昂贵的设备之一，其在稳定性和重要参数方面都需要满足不断增长的工艺需求。均匀性是影响离子注入机的一个重要性能之一，影响均匀性的要素有很多，但均匀性在软件层面上的计算也至关重要。
均匀性的参数需要根据菜单数据和实际打片数据来实时调整，以适应不同环境，这涉及到大量重复的数据计算，限于计算机操作软件的计算能力，还需要专门计算海量数据的软件---matlab，本设计巧妙的将设备应用软件和matlab结合以达到大量数据计算的需求，这样不仅提高了软件的灵活性，也提高了运行速度。
技术实现要素：
本发明时针对离子注入机器在软件上计算均匀性相关数据，而开发出的一种用matlab计算均匀性的软件方法。
本发明通过以下技术方案实现：
1.一种用matlab计算均匀性的软件方法，包括matlab生成的dll文件(1)、主程序函数(2)、动态库transfer文件、均匀性计算函数(3)、返回结果(4)。
2.一种用matlab计算均匀性的软件方法，首先根据recipe数据、利用matlab写出计算相关调节均匀性参数的函数，在生成动态库文件备用，在离子注入机操作软件平台vs上再写一个动态库函数，通过调用matlab动态库函数达到计算的目的。其中vs和matlab两种操作软件的接口函数至关重要，有固定的调用获取函数，还要注意如果用数组，两种操作软件的行和列不是对应的，需要置换一下才可以使用，不然会出错。
本发明具有如下显著优点：
1.一种用matlab计算均匀性的软件方法，matlab与vs相结合，增加程序的灵活性；
2.一种用matlab计算均匀性的软件方法，用matlab来计算超大数据量的计算，速度快；
3.一种用matlab计算均匀性的软件方法，程序中用了动态链接库，节省了磁盘空间和内存。
附图说明
图1为matlab函数应用流程图。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
如图1所示，在这之前必须先配置好系统环境变量和vs的属性设置(1)，用matlab生成的动态库函数中会有一个初始化函数(2)，程序运行时必须先调用初始化函数，返回成功后才能成功调用计算函数(3)，matlab函数的参数包含输入参数和返回参数，所以在调用matlab函数之前必需先定义好matlab所需要的特定的数组(4)mwarray，例如：
mwarrayfull_tune_status(1，1，mxdouble_class)；
而且matlab的输入参数必须是一维数组，如果给定的数组是二维或者三维的必须转化成一维数组才可使用，调用完matlab函数之后必须注意的是matlab返回的数组行和列与vs定义数组的行列是相反的，一定要更正过来，不然数据会出错。
当程序运行时，需要把不同的菜单不同的参数反复的输入给matlab函数进行运算，根据计算结果(5)调整菜单及硬件的相应参数，以确保均匀性在一定范围内满足打片工艺需求。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。