一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法与流程

文档序号:12273042阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,该方法包括以下步骤:

步骤1:采集液晶面板IC粒子区域的清晰图像;

步骤2:对步骤1中的图像计算IC里bump区域的像素均值;

步骤3:将步骤1中的bump区域分割为大小相同的小区域;

步骤4:对步骤3中分割的图像依次求取每个小区域的像素均值;

步骤5:对步骤4中计算的所有像素均值进行指数拉伸;

步骤6:计算步骤5中拉伸后的最大像素均值和最小像素均值;

步骤7:将步骤6中的最大像素均值与最小像素均值做差;

步骤8:如果步骤7中所得的差值小于给定的阈值,说明该IC区域无缺陷,进入步骤11,如果该差值大于给定的阈值,则说明有缺陷,进入步骤9;

步骤9:将步骤6计算的最大均值与步骤2中计算的全图的像素均值做差,再将步骤2中计算全图像素均值与步骤6的最小均值做差,对这两个差值再做差;

步骤10:如果步骤9的所得的差值大于0,则说明为异物缺陷,否则为腐蚀缺陷;

步骤11:输出缺陷检测结果。

2.如权利要求1所述的一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,其特征在于所述步骤4,具体通过以下过程实现:

指数拉伸公式为:

<mrow> <mi>s</mi> <mi>t</mi> <mi>r</mi> <mi>e</mi> <mi>c</mi> <mi>h</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>i</mi> <mo>,</mo> <mi>j</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>=</mo> <mi>r</mi> <mi>e</mi> <mi>g</mi> <mi>i</mi> <mi>A</mi> <mi>r</mi> <mi>e</mi> <mi>a</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>i</mi> <mo>,</mo> <mi>j</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>&CenterDot;</mo> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <mi>r</mi> <mi>e</mi> <mi>g</mi> <mi>i</mi> <mi>A</mi> <mi>r</mi> <mi>e</mi> <mi>a</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>i</mi> <mo>,</mo> <mi>j</mi> <mo>)</mo> </mrow> </mrow> <mn>255</mn> </mfrac> </msup> </mrow>

其中strech(i,j)是指(i,j)位置进行指数拉伸后的像素均值,regiArea(i,j)是指步骤4中计算的(i,j)位置的像素均值。

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