1.一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,该方法包括以下步骤:
步骤1:采集液晶面板IC粒子区域的清晰图像;
步骤2:对步骤1中的图像计算IC里bump区域的像素均值;
步骤3:将步骤1中的bump区域分割为大小相同的小区域;
步骤4:对步骤3中分割的图像依次求取每个小区域的像素均值;
步骤5:对步骤4中计算的所有像素均值进行指数拉伸;
步骤6:计算步骤5中拉伸后的最大像素均值和最小像素均值;
步骤7:将步骤6中的最大像素均值与最小像素均值做差;
步骤8:如果步骤7中所得的差值小于给定的阈值,说明该IC区域无缺陷,进入步骤11,如果该差值大于给定的阈值,则说明有缺陷,进入步骤9;
步骤9:将步骤6计算的最大均值与步骤2中计算的全图的像素均值做差,再将步骤2中计算全图像素均值与步骤6的最小均值做差,对这两个差值再做差;
步骤10:如果步骤9的所得的差值大于0,则说明为异物缺陷,否则为腐蚀缺陷;
步骤11:输出缺陷检测结果。
2.如权利要求1所述的一种基于局部均值思想的IC粒子区域缺陷检测方法,其特征在于所述步骤4,具体通过以下过程实现:
指数拉伸公式为:
其中strech(i,j)是指(i,j)位置进行指数拉伸后的像素均值,regiArea(i,j)是指步骤4中计算的(i,j)位置的像素均值。