信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法与流程

本发明涉及信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法。

背景技术：

半导体工艺中会使用各种配方(レシピ)，若各配方不同则对于半导体工艺中使用的阀所要求的性能也不同。因此，期望制造适于各半导体工艺的阀。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

但是，为了制造适于各半导体工艺的阀，需要为每一个阀准备纸质制造手册，而这会将大量的纸带进无尘室内，因此并不实际。

因此，量产高规格的阀而用于半导体工艺，但是导致了由超规格造成的阀的高价化。

因此，本发明的目的在于提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。

(二)技术方案

为解决上述目的，本发明的一实施方式的信息处理装置具备：合适规格创建装置，基于根据制造条件所制造出的设备的使用信息，创建表示适于设备的合适规格的合适规格信息，其中，所述制造条件基于规格信息；以及制造条件确定装置，基于通过所述合适规格创建装置所创建的所述合适规格信息，确定设备的制造条件。

还可以具备：规格比较装置，将所述合适规格信息和表示预定规格的所述规格信息进行比较；规格更新装置，基于由所述规格比较装置所做出的比较结果，更新设备的所述规格信息；及指示信息创建装置，基于通过所述制造条件确定装置所确定的制造条件，创建用于在显示设备上显示的、有关所述设备的制造的指示信息。

此外，所述合适规格创建装置也可以基于表示所述预定规格的所述规格信息和/或所述合适规格信息、及有关所述规格信息的累积信息，创建所述合适规格信息。

本发明的一实施方式的制造辅助系统，具备：上述的信息处理装置；及显示设备，显示通过所述指示信息创建装置所创建的所述指示信息。

所述显示设备也可以与拍摄装置一体构成。

本发明一实施方式的使用了上述制造辅助系统的阀的组装方法中，所述设备是阀，所述制造条件包含所述阀的阀体的物性值、所述阀体的尺寸、所述阀在制造时的周围的温度范围中的任一个、及所述阀的泄漏检测方法。

所述制造条件也可以包含所述阀的行程量。

本发明一实施方式的设备更换方法，基于通过信息处理装置中的制造条件确定装置所确定的制造条件来制造设备，用制造出的设备更换获得了使用信息的设备。

(三)有益效果

根据本发明，可提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。

附图说明

图1表示具备本发明实施方式的制造指示信息创建装置的制造辅助系统的构成图。

图2表示流体控制装置的外观立体图。

图3表示阀的前视图。

图4是表示使用信息表的构成例的图。

图5是表示规格信息表的构成例的图。

图6是表示合适规格信息表的构成例的图。

图7是表示制造条件表的构成例的图。

图8是表示指示信息创建处理的步骤的流程图。

图9表示头戴式显示器的外观图。

具体实施方式

参考附图说明本发明实施方式的信息处理装置1。

图1表示具备本实施方式的信息处理装置1的制造辅助系统10的构成图。

本发明实施方式的信息处理装置1是创建有关设于流体控制装置20的阀30的制造指示信息的装置。流体控制装置20是设于半导体制造装置的装置。阀30是设备的一个例子。

首先，说明流体控制装置20及阀30。

图2表示流体控制装置20的外观立体图。图3表示阀30的前视图。

如图2所示，流体控制装置20具备基座21、多个(3管线)气体管线22、及气体排出歧管23。各气体管线22的结构相同，因此以下仅针对多个气体管线22当中的一个气体管线22进行说明。

如图2所示，气体管线22具备多个接头24、25、及多个流体控制设备27～30。

多个接头24、25由作为工艺气体的入口的入口接头24、及配置于入口接头24与气体排出歧管23之间的多个块状的接头25构成。多个接头24、25设置为在基座21上排成一列，被固定于基座21。在气体排出歧管23连接有出口配管26。

多个流体控制设备27～30由手动式的调节器(减压阀)27、过滤器28、流量控制设备(例如质量流量控制器(mfc：massflowcontroller))29、及自动阀(例如流体驱动式的自动阀)30构成。各流体控制设备27～30分别连接于接头24、25。而且，从入口接头24流入的气体通过流体控制设备27～30、多个接头25及气体排出歧管23，被供给至腔室(未图示)。此外，在调节器27或质量流量控制器29设有检测气体的流量的流量传感器(未图示)。

图3表示阀30的正面图。

如图3所示，阀30具备本体31、致动器32、连接本体31与致动器32并通过扭矩扳手(省略图示)而旋转的阀盖33、及通过本体31与阀盖33而外周缘部受到夹压的隔膜34。此外，阀30是通过从外部向致动器32供给的驱动流体而进行开闭的阀。此外，在阀30设有传感器部35。传感器部35由检测气体的压力的压力传感器、检测气体的温度的温度传感器、检测隔膜34的动作的位移传感器构成。隔膜34相当于阀体。

接下来，参照图1说明具备信息处理装置1的制造辅助系统10的结构。如图1所示，制造辅助系统10具备信息处理装置1、相机2、及显示设备3，它们能够通过有线或无线进行通信。

相机2例如为可拍摄影片的摄影机，拍摄制造中的阀30，将拍摄出的影片发送给信息处理装置1。显示设备3具有显示器，显示从信息处理装置1发送的有关阀30的制造的指示信息。

信息处理装置1具备cpu(centralprocessingunit，中央处理单元)11、存储部12、及通信部13，它们通过总线相互连接。

cpu11通过读出并执行存储于存储部12的程序，控制信息处理装置1及制造辅助系统10。

存储部12存储有关后述的指示信息创建处理的程序，通过由cpu11读出并执行该程序，实现cpu11的各处理部11a～11g的功能。

此外，存储部12存储有关于阀30的使用信息、规格(规范)信息、合适规格(规范)信息、制造条件、累积信息的各种表。

图4是表示使用信息表100的构成例的图。

使用信息表100例如存储有位于流体控制装置20的各气体管线22的最上游及最下游的阀30的使用信息，对应于各阀30而设有多个使用阀表101。在各使用阀表101标有对应的阀30的批次号。

使用阀表101存储气体种类102、环境温度103、流体温度104、开闭频率105、流量106、压力107、驱动压108作为使用信息的项目。

气体种类102表示在阀30中使用的气体的种类。环境温度103表示阀30的周围的平均温度(℃)。流体温度104表示流过阀30的气体的平均温度(℃)。开闭频率105表示在使用期间阀30的开闭次数(开闭的合计值)。流量106表示在使用期间流过阀30的气体的流量(m³/s)。压力107表示阀30中流动的气体的平均压力(mpa)。驱动压108表示为了将阀30开闭而向致动器32供给的驱动流体的平均驱动压(mpa)。

通过设于阀30的传感器部35、设于调节器27或质量流量控制器29的流量传感器(未图示)，来获得环境温度103、流体温度104等，而储存在设于流体控制装置20的存储部中。另外，也可以不储存在存储部中，而是通过无线通信发送至外部的其他信息处理装置。然后，设于半导体制造装置的流体控制装置20被使用预定期间(例如1周)，基于储存在该存储部的数据创建使用信息表100。此外，可由信息处理装置1来进行使用信息表100的创建，也可设计为在外部的其他信息处理装置中创建使用信息表100并输入至信息处理装置1。此外，在使用信息表100中，虽然温度及压力是平均值，但也可以是使用期间的温度及压力的范围(上限及下限)。

图5是表示规格信息表200的构成例的图。

规格信息表200存储有阀30的规格(规范)信息，在使用信息表100中存储有该阀30的使用信息。因此，在规格信息表200中设有对应于各阀30的规格阀表201。

规格阀表201存储气体种类202、环境温度范围203、流体温度范围204、上限开闭频率205、上限流量206、最高压力207、及驱动压范围208作为规格信息的项目。

气体种类202表示阀30中使用的气体的种类，由于制造时使用的气体不明，故未输入任何内容。环境温度范围203表示可以使用阀30的周围的温度范围(℃)。流体温度范围204表示阀30中流动的气体的温度范围(℃)。上限开闭频率205在表示使用期间阀30的开闭次数(开闭的合计值)的上限。上限流量206在表示使用期间流过阀30的气体的流量(m³/s)的上限。最高压力207表示阀30中可以流动的气体的最高压力(mpa)。驱动压208表示为了将阀30开闭而向致动器32供给的驱动流体的驱动压(mpa)的范围。

图6表示合适规格信息表300的构成例的图。

如后所述，合适规格信息表300是基于使用信息表100所创建的表，具备对应于各阀30的合适规格阀表301。

合适规格阀表301存储气体种类302、环境温度范围303、流体温度范围304、上限开闭频率305、上限流量306、最高压力307、及驱动压范围308作为基于使用信息的合适的规格信息。合适规格阀表301中存储的项目和规格阀表201中存储的项目相同，因此省略说明。另外，在合适规格阀表301中输入有所使用的气体。

图7为表示制造条件表400的构成例的图。

制造条件表400存储有用于制造各阀30的制造条件。因此，在制造条件表400中设有对应于各阀30的制造阀表401。

制造阀表401存储扭矩值402、隔膜尺寸403、隔膜硬度404、隔膜位移量405、温度范围406、工具407、及泄漏试验方法408作为制造信息的项目。

扭矩值402表示将阀盖33旋入本体31时的扭矩值。通过该扭矩值，外周缘部受到夹压的隔膜34的形状变化。例如，若提高扭矩值，则隔膜34的形状会成为陡峭的山形状，因此阀30的行程量及气体流量增大，隔膜34的耐久性降低。另一方面，若减低扭矩值，则隔膜34的形状会成为平缓的山形状，因此阀30的行程量及气体流量减少，隔膜34的耐久性增加。

隔膜尺寸403表示隔膜34的尺寸。隔膜34的尺寸会因制造批次而有些许的误差，因此分类为按照尺寸a-c的顺序而尺寸逐渐增大。另外，隔膜34的尺寸越大则隔膜34的形状越成为平缓的山形状，因此阀30的行程量及气体流量减少。另一方面，隔膜34的尺寸越小则隔膜34的形状越成为陡峭的山形状，因此阀30的行程量及气体流量增加。

隔膜硬度404表示隔膜34的硬度(维氏硬度)。隔膜34的硬度会因制造批次而有些许的误差，因此分类为按照硬度a-c的顺序而硬度逐渐变硬。另外，隔膜34的硬度越硬则隔膜34的形状越成为陡峭的山形状，因此阀30的行程量及气体流量增加。另一方面，隔膜34的硬度越软则隔膜34的形状越成为平缓的山形状，因此阀30的行程量及气体流量减少。隔膜34的硬度相当于阀体的物性值。

隔膜位移量405表示阀30的隔膜34入位至阀座为止的距离，即阀30的行程量。隔膜位移量405对于确定所使用的阀30的cv值而言是重要的项目。另外，隔膜位移量405越大则隔膜34的形状越成为陡峭的山形状，因此气体流量会增大，隔膜位移量405越小则隔膜34的形状越成为平缓的山形状，因此气体流量会减少。

温度范围406表示制造阀30时的周围的温度范围。

工具407表示将阀盖33旋入本体31时所使用的扳手的种类。

泄漏试验方法408表示阀30制成后进行的泄漏试验的方法。泄漏试验根据阀30中流动的气体种类而变更。例如，与对于有氮流动的阀30进行的泄漏试验相比，对于有甲硅烷(sih4)流动的阀30进行更严格的试验。泄漏试验的方法相当于泄漏检测方法。

累积信息表500是储存过去在信息处理装置1中与已创建指示信息的阀相关的使用信息表100、规格信息表200、合适规格信息表300、及制造条件表400的表，在进行后述的指示信息创建处理后，存储已被使用的表。

通信部13与相机2及显示设备3进行通信，接收从相机2发送的影片，将来自cpu11的显示控制部11g的信息向显示设备3发送。

cpu11具有分析部11a、规格比较部11b、规格更新部11c、制造条件创建部11d、制造条件更新部11e、指示信息创建部11f、及显示控制部11g。

分析部11a分析使用信息表100中存储的使用信息，基于规格信息表200中存储的规格信息及累积信息表500中存储的累积信息，创建合适的规格信息。例如，也可将使用信息表100中存储的使用信息的各项目和该阀30的规格信息的各项目进行比较，针对匹配的项目则将该规格作为合适规格使用，针对不匹配的项目则将变更成匹配后的规格作为合适规格。

此外，在累积信息中，针对具有和该阀30同样规格的阀，当使用信息的开闭频率105未高于或未大幅低于规格信息的上限开闭频率205时，也可不基于使用信息的开闭频率105而创建合适规格信息的上限开闭频率305。此外，也可设计成从累积信息的合适规格信息将与使用信息的所有项目匹配的规格提取为合适的规格。

阀30行程量越小则隔膜34的位移量越小并且反复应力越小，因此能够增加耐久性、即增加可使用的开闭次数。但是，若减小阀30的行程量，则压力损失大而无法确保流量，耐久性和流量处于相反的关系。

具体而言，将图4的使用信息的各项目102～108和图5的规格信息的各项目202～208进行比较。由于使用信息的项目103、107～108和规格信息的项目203、207～208匹配，因此将该规格作为合适规格使用。另一方面，使用信息的项目102、104～106和规格信息的项目202、204～206的项目不匹配，因此将变更成匹配后的规格作为合适规格使用。由此，创建图6所示的合适规格信息。分析部11a相当于合适规格创建装置。

规格比较部11b将在规格信息表200中存储的规格信息和在合适规格信息表300中存储的合适规格信息进行比较。例如，将在规格信息表200中存储的项目203～208和在合适规格信息表300中存储的项目303～308进行比较，判断是否全部一致。

规格更新部11c基于规格比较部11b所做的比较结果，在规格信息中将与合适规格信息不同的项目的信息更新成合适规格信息的项目的信息。例如，在图5、6中，关于在规格信息表200中存储的规格信息和在合适规格信息表300中存储的合适规格信息，流体温度范围204、304、上限开闭频率205、305、上限流量206、306不同。因此，将规格信息的流体温度范围204、上限开闭频率205、及上限流量206的信息更新成合适规格信息的流体温度范围304、上限开闭频率305、及上限流量306的信息。

制造条件创建部11d基于被更新后的、在规格信息表200中存储的规格信息创建阀30的制造条件。具体而言，针对和在制造条件表400中存储的制造条件相同的项目(扭矩值、隔膜尺寸等)来创建。例如，由于气体种类302为sih4，因此泄漏试验方法408会选择更严格的试验方法。此外，当上限开闭频率205通过规格信息的更新而被变更的情况下，隔膜34的耐久性会有影响，因此设定适当的扭矩值402的值、或选择适当的隔膜尺寸403及隔膜硬度404。此外，当上限流量206被变更的情况下，变更隔膜34的位移量，因此设定适当的扭矩值402的值、或选择适当的隔膜尺寸403及隔膜硬度404。

制造条件更新部11e基于通过制造条件创建部11d而创建的制造条件，更新在制造条件表400中存储的制造条件。制造条件创建部11d与制造条件更新部11e相当于制造条件确定装置。

指示信息创建部11f基于通过制造条件更新部11e更新的制造条件，来创建在制造阀30时用于在显示设备3显示的指示信息。例如，基于制造条件表400的扭矩值402，创建用于将扭矩值「6.0」显示于显示设备3的指示信息，基于隔膜尺寸403，创建用于将「尺寸a」显示于显示设备3的指示信息等。

显示控制部11g基于从相机2接收的影片判断阀30的制造工序，根据制造工序而将指示信息创建部11f所创建的指示信息发送至显示设备3。

具备上述结构的本实施方式的信息处理装置1按照以下说明的步骤进行指示信息创建处理。

图8是表示信息创建处理的步骤的流程图。

信息处理装置1的cpu11所执行的指示信息创建处理例如是通过用户执行存储于存储部12中的有关指示信息创建处理的程序而开始的。

首先，分析部11a分析图4所示的使用信息表100中存储的使用信息，将图6所示的合适的规格信息存储于合适规格信息表300(步骤s1)。

规格比较部11b将在规格信息表200中存储的规格信息和在合适规格信息表300中存储的合适规格信息进行比较(步骤s2)。具体而言，将在规格信息表200中存储的项目203～208和在合适规格信息表300中存储的项目303～308进行比较，判断是否全部一致。

在全部一致的情况下(步骤s2中“是”的情况)，规格比较部11b结束指示信息创建处理。另一方面，在有不一致的项目的情况下(步骤s2中“否”的情况)，规格比较部11b进入步骤s3。

规格更新部11c基于步骤s2中规格比较部11b所做的比较结果，在规格信息中将和合适规格信息不同的项目的信息更新成合适规格信息的项目的信息(步骤s3)。

制造条件创建部11d基于在更新后的规格信息表200中存储的规格信息创建阀30的制造条件(步骤s4)。

制造条件更新部11e基于通过制造条件创建部11d而创建的制造条件，更新在制造条件表400中存储的制造条件(步骤s5)。

指示信息创建部11f基于通过制造条件更新部11e更新的制造条件，创建在制造阀30时用于在显示设备3显示的指示信息(步骤s6)。

此外，本实施方式的设备更换方法中，基于通过制造条件更新部11e更新的制造条件来制造阀，用制造出的阀更换获得使用信息的流体控制装置20的阀30。由此，能够一直提供具有和半导体工艺相应的适当的规格的阀。

如上所述，根据信息处理装置1，分析部11a基于阀30的使用信息，创建表示适合阀30的合适规格的合适规格信息，规格比较部11b将合适规格信息和表示预定规格的规格信息进行比较，规格更新部11c基于规格比较部11b所做的比较结果，更新阀30的规格信息，制造条件创建装置(制造条件创建部11d、制造条件更新部11e)基于通过规格更新部11c更新的规格信息，创建阀30的制造条件，指示信息创建部11f基于通过制造条件确定装置确定的制造条件，来创建用于在显示设备3显示的有关阀的制造的指示信息。

根据该结构，创建用于制造阀的制造条件，该阀具有与阀30的使用状态相应的合适规格，基于该制造条件，创建用于在显示设备3显示的有关阀的制造的指示信息。因此，当有和阀30相同的阀的订单时，能够容易地制造具有和半导体工艺相应的适当规格的各种阀。由此，能够防止阀的超规格，并能够抑制阀的高价化。因此，如果是重复订货或同工艺的阀，则用户可得到适于自身使用环境的规格的阀。

此外，分析部11a基于表示预定规格的规格信息和/或累积信息创建合适规格信息。由此，当有和阀30相同的阀的订单的情况下，能够容易地制造具有和半导体工艺相应的、更适当的规格的各种阀。

此外，根据上述制造辅助系统10，由于具备信息处理装置1、及显示通过指示信息创建部11f而创建的指示信息的显示设备3，因此作业者能够一边看着显示设备3一边容易地制造各种阀。

另外，本发明不限定于上述的实施例。本领域的技术人员能够在本发明的范围内进行各种追加或变更等。

例如，在上述实施方式中将设备设为阀30，但也可以是其他的流体控制设备。

此外，相机2与显示设备3也可以是一体构成的平板终端4(图1)，例如也可在作业者与阀30之间配置平板终端4，将相机2拍摄的影片显示于显示设备3来进行制造辅助。另外，信息处理装置1、相机2、及显示设备3也可以一体构成。

此外，如图9所示，相机2与显示设备3也可以是一体构成的头戴式显示器5。

附图标记说明

1-信息处理装置；2-相机；3-显示装置；4-平板终端；5-头戴式显示器；10-制造辅助系统；11-cpu；11a-解析部；11b-规格比较部；11c-规格更新部；11d-制造条件创建部；11e-制造条件更新部；11f-指示信息创建部；12-存储部；100-使用信息表；200-规格信息表；300-合适规格信息表；400-制造条件表；500；累计信息表；30-阀。