一种掩模边界检测方法、计算机可读存储介质及系统与流程

文档序号:22074896发布日期:2020-09-01 19:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩模边界检测方法,用于拼接后掩模边界一致性的检测,其特征在于:该方法包括步骤:

步骤s1,获取掩模版图中的目标图形图层、主图形图层及辅助图形图层,并对掩模版图进行划分;

步骤s2,检测辅助图形图层中的辅助图形在划分处的一致性;及

步骤s3,检测主图形图层中的主图形在划分处的一致性。

2.如权利要求1所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:步骤s3包括扩步骤s31,检测主图形图层中的主图形与掩模边界线是否存在交点;步骤s32,若步骤s31中检测到存在交点,则检测主图形与掩模边界线相交的角度方向;及步骤s33,当角度方向不同时,检测目标图形与掩模边界线交点处是否有人为放置的断点,若无人为放置的断点,则直接判断主图形在该处掩模边界不具有一致性,反之则判断具有一致性。

3.如权利要求2所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:步骤s33包括步骤s331,以交点为中心延伸一长方形空间;步骤s332,在长方形空间内搜寻目标图形与掩模边界线相交处是否存在人为设置的断点,当不存在断点时则判断该主图形在掩模边界不具有一致性,反之则判断具有一致性。

4.如权利要求1所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:步骤s2包括步骤s21,检测辅助图形图层中的辅助图形与掩模边界线是否存在相交;步骤s22,若步骤s21中检测到存在交点,则检测辅助图形与掩模边界线相交的角度方向;及步骤s23,根据角度方向相同或相反,判断出辅助图形在掩模边界具有一致性或不具有一致性。

5.如权利要求4所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:所述角度方向为辅助图形及主图形与掩模边界线相交的交点所成角度的方向。

6.如权利要求1所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:步骤s1包括步骤s11,分别读取目标图形图层、主图形图层及辅助图形图层;及步骤s12,将掩模版图进行切割,以形成多个小正方形版块。

7.如权利要求1所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:所述掩模边界检测方法还包括步骤s4,获取掩模版图中不具有一致性的主图形及辅助图形的位置。

8.如权利要求7所述的一种掩模边界检测方法,其特征在于:步骤s4包括步骤s41,在掩模版图上建立平面坐标系;及步骤s42,根据步骤s1-s3检测的结果,对应坐标系的位置,以获取全部不具有一致性的图形处于坐标系中的位置。

9.一种计算机可读存储介质,其特征在于:所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序,其中,所述计算机程序被设置为运行时执行所述权利要求1-8中任一项中所述异物检测方法。

10.一种掩模边界测系统,其特征在于:所述掩模边界检测系统包括:

划分模块,用于获取掩模版图中的目标图形图层、主图形图层及辅助图形图层,并对掩模版图进行划分;

检测模块,用于检测辅助图形图层及主图形图层在划分处的一致性。


技术总结
本发明提供一种掩模边界检测方法,用于拼接后掩模边界一致性的检测,其特征在于:该方法包括步骤:步骤S1,获取掩模版图中的目标图形图层、主图形图层及辅助图形图层,并对掩模版图进行划分;步骤S2,检测辅助图形图层中的辅助图形在划分处的一致性;及步骤S3,检测主图形图层中的主图形在划分处的一致性。本发明还提供一种计算机可读存储介质。本发明还提供一种掩模边界检测系统。

技术研发人员:陈运;廖丹丹;张生睿;方伟
受保护的技术使用者:深圳晶源信息技术有限公司
技术研发日:2019.02.22
技术公布日:2020.09.01
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