专利名称：具有压电致动器的磁头滑块的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于磁盘驱动器的磁头滑块。
为了减小磁头滑块的浮动量，需要减小磁盘表面的表面粗糙度。在迄今为止仍广泛应用的接触-开始-停止(CSS)系统中，磁头滑块的浮动表面和磁盘在磁盘的旋转停止时相互接触，并且在磁盘旋转时，通过伴随磁盘旋转所产生的气流的作用而使磁头滑块浮动。因此，在CSS系统的磁盘驱动器中，如果减小磁盘的表面粗糙度，在磁头滑块的浮动表面(空气支承面)和磁盘表面之间的接触面积在磁盘的旋转停止时被扩大，从而当磁盘驱动器开始旋转时磁头滑块和磁盘之间有发生静磨擦的危险。
在CSS系统的磁盘驱动器中，为了消除静磨擦问题，已提出用激光构造磁盘CSS区域的技术和向滑块浮动表面提供多个衬垫(凸台)的技术。另一方面，由于便携式个人计算机如笔记本式个人计算机频繁搬动，因此要求它们具有很高的防撞击性能。所以，一般采用装-卸系统的磁盘驱动器，在此系统中磁头滑块在断电和睡眠模式时从磁盘表面退出而在使用时加装到磁盘表面上位置。
在装-卸系统的磁盘驱动器中，当计算机断电或为睡眠模式时，在悬架的末端部分上设置的角形部分搭在斜面部件的斜面(倾斜部分)上，此斜面部件在磁盘介质外缘部分上形成，由此使在磁盘上以微小间隙浮动的磁头滑块从磁盘上位置移开。这样，当计算机发生撞击时，有可能防止磁头滑块撞击在磁盘上而损害磁盘。
用于具有装-卸机构的磁盘驱动器中的磁头滑块要求具有很高的可靠性，以便不仅当磁头滑块在磁盘上浮动时而且当磁头滑块加装到磁盘上位置时，防止磁头滑块接触或碰撞到磁盘上。为了减小磁头滑块和磁盘的浮动间隙，最近在磁盘驱动器中经常使用负压磁头滑块。例如，日本专利特开2000-173217公开一种浮动量低、浮动量变化小且刚性高的负压磁头滑块。
对于一种减小磁头浮动量和降低磁空间的现有技术，日本专利特开平2000-348321公开一种在
图1所示磁头滑块的背面中嵌入压电元件的常规技术。图2是图1所示现有技术实例的操作说明。如图1所示，磁头滑块具有空气流入端2a和空气流出端2b，在空气流出端2b附近设置电磁转换器4。
层片状压电致动器6嵌入在磁头滑块2的背面2c的空气流出端一侧上。编号8指压电致动器6的电极，电压V施加在相邻的电极8之间。如图2所示，当电压V施加在相邻的电极8之间时，压电致动器6沿箭头10方向位移。编号11指磁空间的方向，12指转换器位移方向。编号14代表在空气流出端一侧上的空气支承面(ABS)，16指记录介质。
如图2所示，在磁头滑块2中，压电致动器6的位移方向10是记录介质16的旋转方向，通过压电致动器6的位移，使滑块2偏转来调节浮动量，从而，电磁转换器4的位移方向12随压电致动器6的位移量变化。随着压电致动器6被驱动，电磁转换器4倾斜，从而出现问题电磁转换器4未达到滑块2的最低点并且浮动量没有象预期的那样被扩大，而且还有记录和/或再现的时间变化(抖动)被扩大的问题。
另外，压电致动器6的伸长导致空气流出端一侧的ABS 14偏转，从而使电磁转换器4接近于记录介质16。然而，还有后述问题空气流出端一侧的ABS 14产生的正压增大并且浮动量有些加大。为了解决这些问题，日本专利特开2000-348321提议磁头滑块包括滑块主体、固定到滑块主体的压电元件、以及具有固定到压电元件上的电磁转换器的部件。然而，此种磁头滑块结构复杂并且难以制造。
根据本发明的一方面，提供一种具有面向磁盘的表面、空气流入端和空气流出端的磁头滑块，其中，所述磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有第一空气支承面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上且在不含空气流出端附近区域的区域上安装的压电致动器。
优选地，所述磁头滑块进一步包括在空气流出端附近在面向磁盘的表面上设置的后轨道，此轨道具有第二空气支承面。所述转换器设置在所述后轨道的空气流出端部分上。优选地，所述磁头滑块具有沿磁头滑块宽度方向延伸的凹口，此凹口设置在所述磁头滑块背面中安装有所述压电致动器的部分上。
为了减小磁头滑块的重量，所述压电致动器嵌入在所述磁头滑块中，以使所述压电致动器的表面与所述磁头滑块的背面齐平。优选地，所述第一空气支承面包括互相间隔开的左侧空气支承面和右侧空气支承面。所述压电致动器包括设置得与所述左侧空气支承面相对的左侧压电致动器和设置得与所述右侧空气支承面相对的右侧压电致动器。
根据本发明的另一方面，提供一种具有面向磁盘的表面、空气流入端和空气流出端的磁头滑块，其中，所述磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有第一空气支承面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面整个区域上安装的压电致动器，所述压电致动器在空气流出端附近具有不起作用部分。
根据本发明的又一方面，提供一种磁盘驱动器，其中包括具有基座的壳体；具有转换器、空气流入端、空气流出端和面向磁盘的表面的负压磁头滑块，所述转换器用于在具有多个磁道的磁盘上读/写数据；以及用于移动所述负压磁头滑块经过磁盘磁道的致动器，其中，所述致动器包括可旋转地装配在基座上的致动器臂；具有固定到所述致动器臂末端部分的基座端部的悬架；以及所述负压磁头滑块安装在所述悬架末端部分上；同时所述负压磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有空气支承面；在空气流出端附近设置的所述转换器；在空气被所述前轨道压缩时膨胀而产生负压的凹槽；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上且在不含空气流出端附近区域的区域上安装的压电致动器；以及，通过所述压电致动器，所述前轨道及其相邻部分向着记录介质或远离记录介质变形，从而调节在空气支承面上产生的正压，因而可调节所述磁头滑块的浮动量。
通过分析以下描述和后附权利要求并结合示出本发明一些优选实施例的附图，本发明及其实现方式的以上的和其它的目的、特点和优点将更清楚。
图10为本发明第三实施例的透视图；图11为沿图10中直线XI-XI剖分的横截面视图；图12为本发明第四实施例的透视图；图13为沿图12中直线XIII-XIII剖分的横截面视图；图14为本发明第五实施例的透视图；图15为沿图14中直线XV-XV剖分的横截面视图；图16为本发明第六实施例的透视图；图17为沿图16中直线XVII-XVII剖分的横截面视图；图18为本发明第七实施例的透视图；以及图19为沿图18中直线XIX-XIX剖分的横截面视图。
编号34指由致动器臂组件36和磁路38组成的旋转致动器。轴40固定到基座24上，致动器臂组件36可旋转地安装到轴40上。致动器臂组件36包括通过一对轴承而可旋转地安装到轴40上的多个致动器体42、从致动器体42沿一个方向延伸的多个致动器臂44、以及每一个都固定到每个致动器臂44末端部分的磁头组件46。每个磁头组件46都包括具有用于在磁盘28上读/写数据的磁头元件(转换器)的磁头滑块48、以及在其末端部分支撑磁头滑块48并且具有固定到致动器臂44的基座端部的悬架(负载杆)50。
线圈51被支撑在轴40的与致动器臂44相反的一侧上，并且线圈51插入到磁路38的间隙中，从而构成音圈电机(VCM)52。编号54指用于向转换器提供写信号并从转换器拾取读信号的挠性印刷电路板(FPC)，而且此挠性印刷电路板的一端固定到致动器体42的一侧面。
斜面部件56固定到与磁盘28外缘相邻的基座24上。如图4A和4B所示，斜面部件56包括与滑块数量相对应的多个斜面(倾斜部分)60以及多个停泊部分62，设置在磁头组件46末端的角形部分66稳定地停泊在停泊部分62。在斜面部件56的一侧面上设置用于防止卸载的磁头滑块相互干扰的凸台64。编号58指用于在卸载情形下锁住致动器34的突出部分59的闩锁机构。
图示情形是磁头滑块48从磁盘28上位置退出的卸载情形，磁头组件46的角形部分66停泊在斜面部件56的停泊部分62上，并且致动器34的突出部分59被闩锁机构58锁住。当在此情形下打开计算机电源或解除睡眠模式时，闩锁机构58首先释放，致动器34逆时钟旋转并且角形部分66从斜面60滑下，从而磁头滑块48加装到磁盘28上位置。
当计算机电源关闭或开启睡眠模式时，未示出的控制装置，如安装在磁盘驱动器的主印刷线路板上的MPU，控制致动器34以使每个磁头滑块48旋转出磁盘28的外缘。通过这样，磁头组件46的角形部分66爬上斜面部件56的斜面60，停泊在停泊部分62中。在此情形下，致动器34的突出部分59被闩锁机构58锁住。
参照图5，示出根据本发明第一实施例的负压磁头滑块48的透视图。图6为沿图5中直线VI-VI剖分的横截面视图。磁头滑块48为长方体形，并且具有空气流入端48a和空气流出端48b。磁头滑块48的大小例如为1.25mm×1mm并且厚度为0.3mm。磁头滑块48的材料是Al2O3-TiC，而且通过在晶片上形成大量的电磁转换元件(电磁转换器)、把此晶片切割成条状并加工条的侧面形成轨道表面而制造磁头滑块48。使用光刻法技术形成轨道表面。
磁头滑块48是负压磁头滑块，并且包括设置在空气流入端48a一侧的前轨道70以及设置在空气流出端48b一侧的中后轨道72。通过预定的台阶，在前轨道70的顶部表面上设置空气支承面(ABS)74和比空气支承面(ABS)74低的阶梯表面76。相似地，通过预定的台阶，在中后轨道72上设置空气支承面78和比空气支承面78低的阶梯表面80。在中后轨道72的空气流出端部分上设置电磁转换元件82。
在前轨道70沿滑块宽度方向的两侧上设置延伸向下游侧的一对侧轨道84、86。侧轨道84、86的顶面88、90的高度与前轨道70的阶梯表面76的高度相同。在前轨道70的下游侧上设置凹槽92。凹槽92从空气支承面74算起的深度为大约1.4μm，而空气支承面74和阶梯表面76之间台阶的深度为大约0.2μm。相似地，空气支承面78和中后轨道72的阶梯表面80之间台阶的深度为大约0.2μm。
压电致动器94安装在磁头滑块背面不含空气流出端48b附近区域的位置上。例如，压电致动器94由铅的锆酸钛酸盐(PZT)组成。层叠多个PZT未加工片，在未加工片之间嵌入多个电极96，通过压缩和同时加热把未加工片整体粘合在一起。然后，焙烧整体层叠的未加工片，从而制造压电致动器94。
当在相邻电极96之间施加电压V时，压电致动器94沿与驱动电场正交的箭头95方向收缩。当在相邻电极96之间施加电压-V时，压电致动器94沿与箭头95相反的方向延伸。压电致动器94为双晶型压电致动器。压电致动器94还可使用钛酸钡(BaTiO3)或钛酸铅(PbTiO3)等来取代PZT而制造。
磁头滑块48在其背面安装到悬架50上。当磁盘旋转并且沿磁盘表面产生气流时，气流撞击空气支承面74和阶梯表面76之间的台阶以及空气支承面78和阶梯表面80之间的台阶，然后作用在空气支承面74、78上。结果，在空气支承面74、78上产生使磁头滑块48从磁盘表面浮动的浮力。在阶梯表面76、80上也产生浮力，但没有那么大。在此磁头滑块48中，在空气支承面74上产生较大的浮力，结果，磁头滑块48保持倾斜的姿势并且在浮动时倾角为α。在此，倾角为α是磁头滑块48沿气流流动方向的倾斜角。
由于凹槽92在前轨道70的下游侧上设置，因此流经空气支承面74的气流，在流经前轨道70的同时，在凹槽92部分沿与磁盘表面正交的方向蔓延开来，结果，在凹槽92部分产生负压。负压平衡上述浮力(正压)，从而确定磁头滑块48的浮动量。进而，在根据本实施例的磁头滑块48中，压电致动器94安装在磁头滑块48的背面上。因此，当在压电致动器94的相邻电极96之间施加电压V时，压电致动器94沿图5中箭头95方向收缩，导致磁头滑块48产生图7中虚线所示的变形。
随着磁头滑块48以此方式变形，在前侧空气支承面(前ABS)74上产生的正压减小，并且磁头滑块48的浮动量减小。因此，电磁转换元件82和记录介质28之间的磁空间减小，从而可增强电磁转换元件82的再现输出。当在压电致动器94的相邻电极96之间施加电压-V时，压电致动器94沿与箭头95相反的方向延伸，从而磁头滑块48沿与虚线所示偏转方向相反的方向偏转，即向着记录介质28一侧偏转。结果，在前ABS 74上产生的正压增加，并且磁头滑块48的浮动量增大。因而，在根据本实施例的磁头滑块48中，通过调节主要在前ABS 74上产生的正压(用于使滑块48从记录介质28浮动的压力)而控制磁头滑块48的浮动量。
由于在记录介质(磁盘)28外缘侧上的圆周速度大于在内圆周上的圆周速度，因此，磁头滑块48在外缘侧上的浮动量更大。因而，当前ABS 74因压电致动器94而从记录介质28位移开时，随着接近外缘，所产生的正压减少以减小浮动量，由此在内圆周和外缘上的浮动量可保持不变。在磁头滑块48的浮动量不变的区域中，记录密度均匀。因此，区位记录变得容易，并且记录密度增加。而且，在电磁转换元件82的再现输出较低且易于发生读错误的区域中，通过驱动压电致动器94而减小磁头滑块48的浮动量，从而增加再现输出并可防止读错误。
图8为根据本发明第二实施例的磁头滑块48A的透视图，图9则是沿图8中直线IX-IX剖分的横截面视图。在根据本实施例的磁头滑块48A中，在安装有压电致动器94的磁头滑块背面部分上设置沿滑块宽度方向延伸的凹口98。本实施例其它配置与图5和6中所示第一实施例的相同。因而，通过在磁头滑块背面上设置凹口98，有可能限定主要希望发生偏转的部分并且增大偏转量。或者，有可能用低电压获得所需要的偏转量。
图10为根据本发明第三实施例的磁头滑块48B的透视图，图11则是沿图10中直线XI-XI剖分的横截面视图。在根据本实施例的磁头滑块48B中，压电致动器94嵌入在磁头滑块48B中，以使压电致动器94的表面与磁头滑块背面齐平。这样，可抑制磁头滑块48B因安装压电致动器94而导致质量增加。
参照图12，示出根据本发明第四实施例的磁头滑块48C的透视图。图13则是沿图12中直线XIII-XIII剖分的横截面视图。在根据本实施例的磁头滑块48C中，在滑块背面上安装两个压电致动器94a、94b。左侧压电致动器94a设置得与左侧空气支承面74相对，右侧压电致动器94b设置得与右侧空气支承面74相对。
以与上述第一至第三实施例相同的方式，每个压电致动器94a、94b都具有多个电极96，并且通过在相邻电极之间施加预定的电压，压电致动器94a、94b沿与驱动电场正交的方向延伸和收缩。由于在各个前ABS 74的背面上布置独立的压电致动器94a、94b，因此在各个前ABS 74周围的偏转量之间有差异，从而有可能控制磁头滑块48C的转动方向，并更细微地控制浮动姿势。
图14为根据本发明第五实施例的磁头滑块48D的透视图，图15则是沿图14中直线XV-XV剖分的横截面视图。根据本实施例的磁头滑块48D包括在滑块背面设置的沿滑块宽度方向延伸的凹口98、以及在每个空气支承面74沿滑块宽度方向上的内侧设置的一对狭缝100。每个狭缝100在从面向磁盘的表面到背面的区域上并在距空气流入端48a预定距离处延伸。本实施例其它配置与图12和13中所示第四实施例的相同。由于根据本实施例的磁头滑块48D具有凹口98和一对狭缝100，因此有可能限定主要希望发生偏转的部分并且增大偏转量。或者，有可能用低驱动电压获得所需要的偏转量。
图16为根据本发明第六实施例的磁头滑块48E的透视图，图17则是沿图16中直线XVII-XVII剖分的横截面视图。在根据本实施例的磁头滑块48E中，以与根据图10和11所示第三实施例的磁头滑块48B相同的方式，每个压电致动器94a、94b都嵌入在磁头滑块中，以使每个压电致动器94a、94b的表面与磁头滑块背面齐平。通过因此嵌入每个压电致动器94a、94b，可抑制磁头滑块48E因安装压电致动器94a、94b而导致质量增加。
参照图18，示出根据本发明第七实施例的磁头滑块48F的透视图。图19则是沿图18中直线XIX-XIX剖分的横截面视图。在上述第一至第六实施例中，压电致动器94安装在不含空气流出端48b附近区域的磁头滑块背面区域上。在根据本实施例的磁头滑块48F中，压电致动器102安装在滑块背面的整个区域上。压电致动器102包括嵌有多个电极96的有源部分(位移部分)102a和不设置电极的不起作用部分102b。静止部分102b布置在空气流出端48b附近。
通过因此在滑块背面的整个区域上安装压电致动器102，有利于磁头滑块48F和悬架50的连接。本实施例的操作与根据上述第一实施例的磁头滑块48的操作相同。尽管在上述实施例中已描述其中安装双晶型压电致动器作为压电致动器的实例，但也可安装单晶型或独晶型压电致动器。进一步地，致动器并不局限于压电致动器，也可使用电致伸缩致动器、磁致伸缩致动器以及石英共振器等。
根据本发明，如以上所述，在空气流入端一侧的空气支承面的周围部分因压电致动器而变形，从而，作用在磁头滑块上的正压和负压的平衡被改变，并且可控制磁头滑块的浮动量。通过这样的控制来减小浮动量，可提高电磁转换器和记录介质之间的电磁转换效率。因此，即使在电磁转换器的再现输出较低且易于发生读错误时，也可通过驱动压电致动器而降低磁头滑块的浮动量，从而，可提高再现输出和防止读错误。
另外，在记录介质外缘上的圆周速度大于内圆周上的圆周速度，并且在外缘上磁头滑块的浮动量更大。因而，当前侧空气支承面因压电致动器而沿从记录介质离开的方向位移时，随着接近外缘，所产生的正压减小从而可减小磁头滑块的浮动量，并因此在记录介质的内圆周和外缘上浮动量可保持不变。在磁头滑块的浮动量不变的区域中，记录密度均匀，从而有利于区位记录，并且记录密度增加。
可校正因空气支承面加工的偏差而引起的磁头滑块浮动量的偏差。进一步地，可校正磁头滑块浮动量因应用场合不同(高度不同)而引起的变化。通过独立改变前轨道的右侧空气支承面和左侧空气支承面，还可校正磁头滑块的转动方向。而且，在磁头滑块与磁盘静磨擦时，通过用压电致动器改变空气支承面而消除静磨擦。
权利要求
1.一种具有面向磁盘的表面、空气流入端和空气流出端的磁头滑块，其中，所述磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有第一空气支承面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上且在不合空气流出端附近区域的区域上安装的压电致动器。
2.如权利要求1所述的磁头滑块，进一步包括在空气流出端附近在面向磁盘的表面上设置的后轨道，此轨道具有第二空气支承面，其中所述转换器设置在所述后轨道的空气流出端部分上。
3.如权利要求1所述的磁头滑块，其中，进一步包括沿磁头滑块宽度方向延伸的凹口，此凹口设置在所述磁头滑块背面中安装有所述压电致动器的部分上。
4.如权利要求1所述的磁头滑块，其中，所述压电致动器嵌入在所述磁头滑块中，以使所述压电致动器的表面与所述磁头滑块的背面齐平。
5.如权利要求1所述的磁头滑块，其中所述第一空气支承面包括互相间隔开的左侧空气支承面和右侧空气支承面；以及所述压电致动器包括设置得与所述左侧空气支承面相对的左侧压电致动器和设置得与所述右侧空气支承面相对的右侧压电致动器。
6.如权利要求5所述的磁头滑块，其中，进一步包括沿磁头滑块宽度方向延伸的凹口，此凹口设置在所述磁头滑块背面中安装有所述压电致动器的部分上。
7.如权利要求6所述的磁头滑块，其中，进一步包括第一狭缝，此狭缝在从面向磁盘的表面到滑块背面的范围上、在所述左侧空气支承面相对于宽度方向的内侧在距空气流入端的预定长度上设置；以及第二狭缝，此狭缝在从面向磁盘的表面到滑块背面的范围上、在所述右侧空气支承面相对于宽度方向的内侧在距空气流入端的预定长度上设置。
8.如权利要求5所述的磁头滑块，其中，所述左侧和右侧压电致动器嵌入在所述磁头滑块中，以使所述左侧压电致动器的表面和所述右侧压电致动器的表面与滑块的背面齐平。
9.如权利要求8所述的磁头滑块，其中进一步包括第一狭缝，此狭缝在从面向磁盘的表面到滑块背面的范围上、在所述左侧空气支承面相对于宽度方向的内侧在距空气流入端的预定长度上设置；以及第二狭缝，此狭缝在从面向磁盘的表面到滑块背面的范围上、在所述右侧空气支承面相对于宽度方向的内侧在距空气流入端的预定长度上设置。
10.一种具有面向磁盘的表面、空气流入端和空气流出端的磁头滑块，其中，所述磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有第一空气支承面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面整个区域上安装的压电致动器，所述压电致动器在空气流出端附近具有不起作用部分。
11.如权利要求10所述的磁头滑块，进一步包括在空气流出端附近在面向磁盘的表面上设置的后轨道，此轨道具有第二空气支承面，其中所述转换器设置在所述后轨道的空气流出端部分上。
12.一种具有面向磁盘的表面、空气流入端和空气流出端的磁头滑块，其中，所述磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有第一空气支承面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在所述磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上安装的压电致动器；其中，所述压电致动器的纵向中心位于相对于所述磁头滑块纵向中心的空气流入端一侧上。
13.如权利要求12所述的磁头滑块，其中，L1＞L2，这里，L1是从所述磁头滑块纵向中心到所述压电致动器的空气流入端部分的长度，并且L2是从所述磁头滑块纵向中心到所述压电致动器的空气流出端部分的长度。
14.一种磁盘驱动器，其中包括具有基座的壳体；具有转换器、空气流入端、空气流出端和面向磁盘的表面的负压磁头滑块，所述转换器用于在具有多个磁道的磁盘上读/写数据；以及用于移动所述负压磁头滑块经过磁盘磁道的致动器；所述致动器包括可旋转地装配在基座上的致动器臂；具有固定到所述致动器臂末端部分的基座端部的悬架；以及所述负压磁头滑块安装在所述悬架末端部分上；所述负压磁头滑块包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有空气支承面；在空气流出端附近设置的所述转换器；在空气被所述前轨道压缩时膨胀而产生负压的凹槽；以及在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上且在不含空气流出端附近区域的区域上安装的压电致动器；通过所述压电致动器，所述前轨道及其相邻部分向着记录介质或远离记录介质变形，从而调节在空气支承面上产生的正压，因而可调节所述磁头滑块的浮动量。
全文摘要
本发明涉及一种具有压电致动器的磁头滑块，包括在空气流入端附近在面向磁盘的表面上设置的前轨道，此轨道具有空气支承面和低于空气支承面的阶梯表面；在空气流出端附近设置的转换器；以及在空气被前轨道压缩时膨胀而产生负压的凹槽。磁头滑块进一步包括在磁头滑块的与面向磁盘的表面相反的背面上且在不含空气流出端附近区域的区域上安装的压电致动器。通过压电致动器，前轨道及其相邻部分向着记录介质或远离记录介质变形，并且调节在空气支承面上产生的正压，从而可调节磁头滑块的浮动量。
文档编号G11B5/60GK1420490SQ02106300
公开日2003年5月28日 申请日期2002年4月10日 优先权日2001年11月16日
发明者岛内岳明, 古石亮介, 今村孝浩 申请人:富士通株式会社