一种磁盘驱动器悬臂挠性件以及制造该挠性件的导电回路部分的方法与流程

文档序号:12128448阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种安装在磁盘驱动器悬臂(10,10A)的负载梁(20)上的挠性件(30),其特征在于,

所述挠性件(30)包含:

由不锈钢板形成的金属底座(40);和

沿所述金属底座(40)设置的导电回路部分(41,41'),

所述导电回路部分(41)包含:

电绝缘材料所形成的绝缘层(50),并且所述绝缘层(50)在所述金属底座(40)上形成;以及

在所述绝缘层(50)上形成的导体(55);

所述导体(55)包含:

在第一区域(A1)中形成的薄的导体部(55a),所述薄的导体部(55a)在纵向上构成所述导电回路部分(41)的一部分;和

在第二区域(A2)中形成的厚的导体部(55b),所述厚的导体部(55b)在纵向上构成所述导电回路部分(41)的另一部分,并且所述厚的导体部(55b)的厚度大于所述薄的导体部(55a)的厚度。

2.根据权利要求1所述的挠性件(30),其特征在于:

所述挠性件(30)包含包括凸缘(31)的常平架部(49);并且

所述导电回路部分(41)包括不具有金属底座的沿所述凸缘(31)设置的不受支撑的导电回路部分(41a),所述不受支撑的导电回路部分(41a)包括所述薄的导体部(55a)。

3.根据权利要求1所述的挠性件(30),其特征在于:

所述负载梁(20)包含一对铰链部(21)和(22);并且

所述导电回路部分(41)包括设置在铰链部(21,22)之间的柔性导电回路部分(41b),所述柔性导电回路部分(41b)包括所述薄的导体部(55a)。

4.根据权利要求1所述的挠性件(30),其特征在于:

所述挠性件(30)包含挠性件尾部(30b);

所述挠性件尾部(30b)包括:

在所述金属底座(40)中形成的开口(121);

所述金属底座(40)的弯曲部(122),该弯曲部(122)在开口(121)的厚度方向上被弯曲;以及

跟踪弧形部(123),其在朝向开口(121)的位置的厚度方向上被弯曲;并且

所述跟踪弧形部(123)包括所述厚的导体部(55b)。

5.根据权利要求1所述的挠性件(30),其特征在于:

所述导体(55)包含一末端部分(41c),该末端部分(41c)被连接至电子回路的终端;并且所述末端部分(41c)包括所述厚的导体部(55b)。

6.根据权利要求1所述的挠性件(30),其特征在于:

所述导电回路部分(41')包含在所述导电回路部分(41')的宽度方向上彼此间隔布置的多个导体(55,56,95,96);并且

所述多个导体(55,56,95,96)包括形成在所述导体的一部分中的薄的导体部(55a,56a)和形成在所述导体的剩余部分里的厚的导体部(55b,56b)。

7.一种制造挠性件(30)的导电回路部分(41)的方法,其特征在于,所述挠性件(30)包含金属底座(40),

所述导电回路部分(41)包含在所述金属底座(40)上形成的绝缘层(50),以及在所述绝缘层(50)上形成的导体(55);

所述导体(55)包括在纵向上于所述导体(55)的一部分中形成的薄的导体部(55a)和在纵向上于所述导体(55)的另一部分中形成的厚的导体部(55b);

制造所述导电回路部分(41)的所述方法包括:

第一掩模步骤:在所述绝缘层(50)上形成第一抗蚀剂(61),所述第一抗蚀剂(61)的高度对应于厚的导体部(55b)的厚度,从而形成被所述第一抗蚀剂(61)覆盖的掩模部(62),和薄导体形成空间(63)以及厚导体形成空间(64),所述薄导体形成空间(63)和所述厚导体形成空间(64)均没有被所述第一抗蚀剂(61)覆盖;

第一电镀步骤:采用铜电镀所述薄导体形成空间(63)和所述厚导体形成空间(64)中的每一个,达到所述薄的导体部(55a)的厚度,从而在所述薄导体形成空间(63)和所述厚导体形成空间(64)中形成具有第一厚度(h1)的镀覆层(M1),该第一厚度(h1)小于所述第一抗蚀剂(61)的厚度;

第二掩模步骤:向所述薄导体形成空间(63)的开口(63a)中填充第二抗蚀剂(72),从而覆盖所述薄导体形成空间(63)中的所述镀覆层(M1);

第二电镀步骤:在所述第二掩模步骤之后,在所述镀覆层(M1)之上形成具有第二厚度(h2)的附加的镀覆层(M2),用于所述厚的导体部(55b),而所述镀覆层(M1)处于所述厚导体形成空间(64)中;以及

在所述第二电镀步骤之后的,去除所述第一抗蚀剂(61)和所述第二抗蚀剂(72)的步骤。

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