专利名称：压电致动器的驱动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及压电致动器(piezoelectric actuator)的驱动器，以及更具体地说，涉及用于切换和驱动机械移动直接或间接安装在驱动器上的多个机构部件的每一个的多个压电致动器的压电致动器的驱动器中的改进。
背景技术：
通常，如图7A所示，以如下方式构成压电致动器1，将薄压电片(thin piezoelectric sheet)5和7附着到矩形导电板3的相对表面，以及将电极5a和7a置于每个压电片5和7中不与板3接触的相对表面上，板3用作公用电极，其中，电极5a和7a连接到正极端子P1和负极端子P2，板3连接到公用端子P3，以及当以开端形状在板3的纵向方向上支撑一端(图中的左端)时，另一端(图中的右端)形成为开端。注意压电致动器1的支撑件在图7中未示出(见图8)。
在由此构成的压电致动器1中，例如，当通过短路(压电片5的电极5a和板3之间)的两个端子，将正电势+施加到正极端子P1和公用端子P3时，根据电压片5和7的极化方向，板3被弯曲使得如图7A的虚线所示，以向上方向移动开端。
同时，当例如，通过短路(板3和另一压电片7的电极7a之间)的两个端子，将负电势-施加到公用端子P3和负极端子P2时，如图中的一点点划线所示，以向下方向移动开端。
因此，通过利用由于这种压电现象的弯曲运动，将压电致动器1用作各种驱动源，诸如编织机的编织针的选针驱动器。
具体地，如图8所示，以彼此分开预定间隔彼此平行，在长而窄的绝缘盒形外壳9中的侧壁9a上，排列上述多个压电致动器1(如该图中，划分成1a、1b、1c、1e、1f、1g和1h所示)，以及以开端形状支持一端，并通过某一动作，将另一端作为开端插入在外壳9中与侧壁9a相对的侧壁9b上形成的操作孔11中。然后，通过某一动作，将作为固定到另一端的机械部件的操作片13从操作孔11凸出。
由外壳9支撑的所有多个压电致动器1a至1h(包括操作片13)是相同的致动器，以及图9是从外壳9的侧壁9b侧所看，特别是从操作片13的尖端侧所看的外壳9的视图。
当通过控制器17，将正/负直流驱动电压从电源部15施加到多个压电致动器1a至1h时，弯曲压电致动器1a至1h的每一个并移动从外壳9的操作孔11凸出的操作片13。这有助于通过操作片13，移动未示出的选针杆(lever)(机械部件)。
因此，当控制器17切换和选择施加到多个压电致动器1a至1h的驱动电压时，压电致动器1a至1h能用作例如编织机的编织针的选针驱动器。
根据这种压电致动器的一般专利文献包括专利文献1(日本专利公开No.5-302251)。
另外，给出了如图10所示的结构，作为通过控制器17，有选择地控制施加到多个压电致动器1a至1h的驱动电压的结构的例子。
具体地，对应于多个压电致动器1a至1h，放置分别串联连接的光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6、Q7和Q8。晶体管Q1的集电极通过电阻器R1，从正极端馈线19连接到光电晶体管Q2，以及另一晶体管Q2的发射极通过电阻器R2连接到负极端馈线21。
压电致动器1a中的正极端P1连接到正极端馈线19，负极端P2连接到负极端馈线21，以及光电晶体管Q1和Q2的接合点连接到压电致动器1a的公用端P3。
类似地，光电晶体管Q3至Q8也通过电阻器R3至R8，连接到正极端和负极端馈线19和21，以及压电致动器1b至1d也连接到光电晶体管Q3至Q8的接合点以及正极端和负极端馈线19和21。
另外，在串联连接的光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6以及Q7和Q8的附近并与之对应，放置串联连接的发光二极管D1和D2、D3和D4、D5和D6，以及D7和D8。
通过由切换控制部23有选择地激励，使发光二极管D1至D8发光，以及由此形成上述压电致动器的驱动器。
在图10中，通过光电晶体管Q1至Q8、发光二极管D1至D8以及切换控制部23形成上述控制器17。
注意在图10中，发光二极管D1至D8通过来自切换控制部23的一条线路连接。然而，实际上，通过对应于发光二极管D1至D8的单个布线连接发光二极管D1至D8。在图8中简化该布线以便易于理解。
因此，例如，当在例如选针驱动器中使用压电致动器的驱动器，以及导通控制多个压电致动器1a至1d中的压电致动器1a时，通过由切换控制部23选择仅发光二极管D1的导电控制，在向上方向上移动开端。同时，通过选择仅发光二极管D2的导电控制，在向下方向下移动尖端。
类似地，在其他压电致动器1b至1h中，仅通过发光二极管D3或D4、D5或D6以及D7或D8的任何一个的导电控制，移动尖端，以及在特定导通控制(on control)周期已过去后，同时断开控制所有压电致动器1a至1h。
另外，在上述压电致动器的驱动器中，如图7B所示，压电片5和7充当一种电容器C1和C2。因此，即使当驱动电压施加到每个压电致动器1a至1h的压电片5和7上以便导通控制多个压电致动器1a至1h时，防止在导通控制周期上流动任何大的电流。因此，认定易于实现整个设备的功率节省。
另外，在由此构成的压电致动器的驱动器中，在光电晶体管Q1至Q8以及正极端和负极端馈线19和21之间连接的电阻器R1至R8具有限流功能以抑制驱动电流流过光电晶体管Q1至Q8，以便不由于当光电晶体管中的一个切换到光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6以及Q7和Q8中的另一个时产生的增加的驱动电流而增加整个驱动器的功耗，从而使光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6以及Q7和Q8暂时导电或发生快速电流变化，导致大的驱动电流。
然而，在上述压电致动器的驱动器中，禁止在其导通控制周期期间大的驱动电流流过构成多个压电致动器1a至1h的压电片5和7。然而，在压电片5和7中，即，在每个压电致动器1a至1h中，等效地形成电容器C1和C2。另外，这种电容器的电容具有约150至600nF的大值，因此，正好在压电致动器1a至1h的导通控制后，大的驱动电流易于流过压电片5和7。
因此，当导通控制压电致动器1a至1b的任何一个时，当成双地导通控制压电致动器1a至1h的另一个时，频繁地发生流过大的驱动电流，以便易于提高整个驱动器的功耗。
为了避免上述情形，需要通过处理，诸如使馈线的布线厚来对付驱动电流的增加，导致易于增加成本。
本发明人仔细研究了压电致动器1a至1h及其功能和等效电路。因此，本发明人集中在压电致动器1a至1h具有与电容器等效的功能这一点上，以及另外，压电致动器1a至1h的每一个并联电连接，以及放电断开控制的压电致动器1a至1h的压电片5和7。由此完成本发明。
为了解决上述问题，提供本发明，以及本发明的目的是提供能通过在用于驱动多个致动器的驱动中的导通/断开切换控制期间，极大地减小驱动电流来抑制整个设备功耗为低的压电致动器的驱动器。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提供多个致动器，其中，第一和第二压电片附着到插入第一和第二压电片之间的板的相对表面上，包括多个致动器，机械地移动直接或间接连接到每个压电致动器的机械部件；正极端馈线，直接或间接连接到第一压电片附着到板侧的相对侧；
负极端馈线，直接或间接地连接到第二压电片附着到板侧的相对侧；控制器，通过将正极端或负极端馈线连接到第一或第二压电片的板侧，有选择地将正或负驱动电压施加到第一和第二压电片，使得导通控制和充电压电片。
另外，控制器具有下述功能断开控制施加到被选择导通控制的压电致动器的第一或第二压电片的驱动电压，以及与此同时，导通控制将施加到下一个将被选择导通控制的压电致动器的第一或第二压电片的驱动电压，使得充电下一个导通控制的压电致动器的压电片。
图1是表示与根据本发明的压电致动器的驱动器有关的实施例的电路框图。
图2是说明根据本发明的压电致动器的驱动器的切换操作的波形图。
图3是本发明的压电致动器的示意等效电路图。
图4是用于说明本发明的压电致动器的操作的电路图。
图5是用于说明本发明的压电致动器的操作的视图。
图6是表示与根据本发明的压电致动器的驱动器有关的其他实施例的电路框图。
图7是表示压电致动器的一般构成的截面图A和等效电路图B。
图8是表示应用压电致动器的构成例子的截面图。
图9是图8的主要部分的侧视图。
图10是表示传统的压电致动器的驱动器的电路框图。
具体实施例方式
下面，将参考本发明的附图，说明本发明的实施例。注意为与传统的例子中相同的部件指定相同的标记，而不用进一步说明。
图1是表示与根据本发明的压电致动器的驱动器有关的实施例的框图。
在图1中，多个压电致动器1a、1b、1c、1d、1e、1f、1g和1h的每一个由导电板3以及附着到导电板3的相对表面的压电片(第一压电片)5和压电片(第二压电片7)组成，如图7A所示，其中，在相对面上提供电极5a和7a，而不接触每个压电片5和7的板3，以及板3用作每个压电片5和7的公用电极。
压电片5和7的电极5a和7a连接到正极端P1和负极端P2，以及板3连接到公用端P3，以便以开端形状，如图8所示，由盒状外壳9(在图中未示出)支撑。
注意在图1中，未示出压电致动器1a至1h，然而，用与图7的压电致动器1相同的方式形成它们。
如图8所示，正极端馈线19和负极端馈线21从电源部15延伸，用作提供约+50V至+100V的正DC电源和约-50V至-100V的负DC电源。因此，分别在其中间插入和串联连接用于限流的公用电阻器Ra和Rb。
对应于压电致动器1a至1h，放置发射极和集电极相互串联的光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6以及Q7和Q8。
每个光电晶体管Q1、Q3、Q5和Q7的每个集电极直接连接到公用电阻器Ra的电源部侧的正极端馈线19，而不通过公用电阻器Ra。
光电晶体管Q2、Q4、Q6和Q8的每个发射极连接到公用电阻器Rb的电源部侧的负极端馈线21。
光电晶体管Q1和Q2、Q3和Q4、Q5和Q6以及Q7和Q8的接合点连接到压电致动器1a、1b、1c至1h的公用端P3。
压电致动器1a、1b、1c至1h的正极端P1连接到电源部相反侧正极端馈线19的公用电阻器Ra的端子Sa。同时，压电致动器1a、1b、1c至1h的负极端P2连接到电源部相反侧的公用电阻器Rb的端子Sb上。
图1中的指定标记Ca1和Ca2对应于在压电致动器1a中形成的等效电容器(对应于图7B中的C1和C2)。对指定标记Cb1、Cb2、Cc1、Cc2和Ch1、Ch2，同样如此。
在正向方向上，串联连接发光二极管D1和D2、D3和D4、D5和D6以及D7和D8。因此，分别彼此相邻地放置发光二极管D1和光电晶体管Q1、发光二极管D2和光电晶体管Q2、发光二极管D3和光电晶体管Q3、发光二极管D4和光电晶体管Q4、发光二极管D5和光电晶体管Q5、发光二极管D6和光电晶体管Q6、发光二极管D7和光电晶体管Q7以及发光二极管D8和光电晶体管Q8。
发光二极管D1和D2、D3和D4、D5和D6以及D7和D8连接到切换控制部25。因此，通过该切换控制部25切换和操作发光二极管D1至D8的任何一个以便发光。
本发明的特征在于通过切换控制部25，顺序地有选择地导电控制多个发光二极管D1至D8的定时。
具体地，如图2所示，切换控制部25通过切换控制多个压电致动器1a至1h，用这种方式，通过向其施加驱动电压，导通控制压电致动器1a，并在先前设置的特定流逝时间周期后，通过断开施加到经受导通控制的压电片的驱动电压，断开控制压电致动器1a(更恰当地说，压电片5和7)，与此同时，通过施加驱动电压，导通控制下一压电致动器1b，然后，与此同时，断开控制施加到压电致动器1b的驱动电压，以及与此同时，通过施加驱动电压，导通控制另一个下一压电致动器1c，此后向前，顺序地重复驱动电压的控制。
图1中的指定标记27表示由上述光电晶体管Q1至Q8、发光二极管D1至D8以及切换控制部25构成的控制器27。在控制器27中，如上所述，切换控制部25具有顺序地有选择地切换和控制每个压电致动器1a至1h的压电片5和7的功能，以便从馈线19和21施加驱动电压。
在图3中示出了上述压电致动器1a至1h的等效电容器Ca1至Ch2以及控制器27的连接结构。
在图1中，通过来自切换控制部25的一条线路连接发光二极管D1至D8。然而，实际上，通过单个布线连接发光二极管D1至D8，以便对应发光二极管D1和D2、D3和D4、D5和D6以及D7和D8。因此，用如图10相同的方式，选择发光二极管D1至D8的任何一个以允许发光控制。
因此，具体地，当通过开关控制部25的操作仅有选择地导通控制发光二极管D1时，通过从发光二极管D1接收光，导通操作光电晶体管Q1，以及通过正驱动电压，短路压电致动器1a的压电片5(在图1中未示出，此后类似不示出)。
同时，将正负驱动电压施加到压电致动器1a(在图1中未示出，此后类似不示出)的压电片7的两侧，由此充电电容器Ca2，以及在向上方向上移动压电致动器1a的开端(操作片13)。
然后，通过切换控制部，断开控制发光二极管D1，断开操作光电晶体管Q1，以及放电压电致动器1a的压电片7，以及使其开端(操作片13)回复到初始位置。
当仅有选择地导电控制发光二极管D2时，通过从发光二极管D2接收光，导通操作光电晶体管Q2，以及通过负驱动电压，短路压电致动器1a的压电片7。
同时，将正负驱动电压施加到压电致动器1a的压电片5的两侧，充电电容器Ca1，以及在向下方向上移动其开端(操作片13)。
然后，通过发光二极管D2的断开控制，断开操作光电晶体管Q2，以及使其开端(操作片13)回复到初始位置，同时放电压电致动器1a的压电片5。
接着，将描述例如，当按此顺序导通控制压电致动器1a至1h时，由此构成的压电致动器的驱动器的操作。
当开关控制部25有选择地导电控制仅发光二极管D1时，导通操作光电晶体管Q1以及通过公用电阻器Ra，将正极端驱动电压从馈线19施加到压电致动器1a，由此通过正驱动电压，短路压电致动器1a的压电片5。
同时，将正负驱动电压施加到电压致动器1a的压电片7的两侧，由此充电电容器Ca2。
切换控制部25用来在驱动压电致动器1a的流逝时间周期后，断开控制发光二极管D1，以及与此同时，通过有选择地导电控制仅发光二极管D3，导通操作光电晶体管Q3。
因此，与压电致动器1a的断开控制有关，放电压电致动器1a的电容器Ca2，以及同时，通过正驱动电压，短路压电致动器1b的压电片5，充电电容器Cb2，由此将正负驱动电压施加到压电致动器1b的压电片7的两侧。
此时，如图3所示，充电压电片7(电容器Cb2)，同时主要来自压电致动器1a(电容器Ca2)的放电电流I通过负极端馈线21，流向压电致动器1b的压电片7(电容器Cb2)。此后向前，从下一致动器1c至1h顺序地重复。
具体地，导通控制压电致动器1a以便充电电容器Ca2，以及断开控制压电致动器1a以便放电电容器Ca2来产生放电电流I。因此，通过该放电电流I，充电下一导通控制的压电致动器1b的电容器Cb2。
然后，通过来自正好在导通操作前断开操作的压电致动器1a的电容器Ca2的放电电流，顺序地充电将导通控制的压电致动器1a至1h。
为此，在导通/断开切换控制期间，使流过公用电阻器Ra和Rb的电流接近“0”或极其小，从而导通/断开切换不太需要来自正或负极端馈线19和21的电源。
此后，通过使用公式等等，考虑由来自压电致动器1a至1h的任何一个的电容器Ca1至Ch2的放电电流来充电压电致动器1a至1h的任何另一个的电容器Ca1至Ch2，是不太需要来自正或负极端馈线19和21的电源的原因。
为简化该考虑，如图4所示，考虑仅驱动图1中的压电致动器1a和1b的两片结构。
其中，将压电致动器1a的电容器Ca1和Ca2以及有选择地导通/断开控制电容器Ca1和Ca2的光电晶体管Q1和Q2定义为沟道CH1，以及将压电致动器1b的电容器Cb1和Cb2以及有选择地导通/断开控制电容器Cb1和Cb2的光电晶体管Q3和Q4定义为沟道CH2。
独立地提供这些沟道CH1和CH2，以及导通操作光电晶体管Q1或Q2，或光电晶体管Q3或Q4的任何一个，以及这种情况下的能量平衡如下所示。
具体地，通过从来自电源E的“输入能量”减去“电阻器Ra和Rb处的耗散能量”和“由于保持能量极性的偏移的耗散能量”获得的能量成为电容器Ca1至Cb2中的电容器保持能量。
在压电致动器1a的单片结构的情况下，如果考虑光电晶体管Q1和Q2的操作，图4中的电流路径如图5A所示，其中电流i用公式1表示。
i=2ERe-tCR]]>电阻器Ra和Rb处的能量耗散量用公式2表示。
Wu+Wd＝2∫i2Rdt＝4CE2从电源E输入的能量的量用公式3表示。
2E∫idt＝4CE2另外，在压电致动器1a和1b的两片结构的情况下，当考虑其中允许电流i在相同方向流动的光电晶体管Q1和Q3的操作时，图4的电流路径如图5B中所示，以及用公式4表示电流i。
i=ERe-t2CR]]>电阻器Ra和Rb处的能量耗散量用公式5表示。
Wu+Wd＝2∫2i2Rdt＝8CE2从电源E输入的能量的量用公式6表示。
2E∫(2i)dt＝8CE2另外，在压电致动器1a和1b的两片结构的情况下，当考虑其中允许电流i在相反方向流动的光电晶体管Q1至Q4的操作时，电流路径如图5C所示，以及用公式7表示电流i。
i＝δ(t)(1C∫idt=2E]]>脉冲)电流i不流过电阻器Ra和Rb。
因此，电阻器Ra和Rb处的能量耗散量接近“0”，以及从电源E输入的能量的量用公式8表示。
2E∫(2i)dt＝2E·2·2CE＝8CE2如上所述，从使用公式的考虑，发现在压电致动器1a和1b的导通/断开切换控制期间的能量直接在压电致动器1a和1b之间移动，而不通过电阻器Ra和Rb。对压电致动器1a至1h，同样如此。
因此，增加在导通/断开切换控制期间，压电致动器1a和1b之间的能量移动，从而提高瞬态特性和提高整个设备的导通/断开切换性能，另外，极大地降低了电阻器Ra和Rb处的能量耗散量(热量生成量)，并能降低整个设备的功耗。
用这种方式，本发明的压电致动器的驱动器具有多个压电致动器1a至1h，每一个由板3和附着到插入压电片5和7之间的该板的相对面的压电片5、7组成，以及还具有控制器27，用来通过将每个压电致动器1a至1h的压电片5和7的板3的相对表面的电极5a和7a连接到正极端或负极端馈线19和21，有选择地导通控制它们中的一个，以及在这种情况下，通过从板3侧的正极端或负极端馈线19或21，将驱动电压施加到选择以便导通控制的压电致动器1a至1h的任何一个的压电片5和7，充电压电片5和7。
另外，控制器27具有下述功能断开控制施加到被选择导通控制的压电致动器1a至1h的任何一个的压电片5和7的驱动电压，与此同时，通过接通施加到其上的驱动电压，充电下一个将导通控制的1a至1h的任何另一个的压电片5和7。
因此，例如，当压电致动器1a经受导通控制以便充电电容器Ca2，以及压电致动器1a经受断开控制以便放电电容器Ca2时，放电电流流过，并且通过该放电电流，充电下一个将导通控制的压电致动器1b的电容器Cb2。
通过来自正好在导通控制前断开控制的压电致动器1a至1h的任何一个的电容器Ca1至Ch2的任何一个的放电电流，顺序地充电将导通控制的压电致动器1a至1h的任何一个。因此，不需要从正极或负极端馈线19和21提供太多倾向于在导通/断开切换时增加的充电电流。
因此，在驱动多个压电致动器1a至1h的驱动器中，能极大地减小在压电致动器1a至1h的导通/断开控制期间的驱动电流，因此，能使整个设备的功耗抑制到很低。
另外，能将每个压电致动器1a至1h插入的用于限流的电阻器R1至R8减少为公用电阻器Ra和Rb。此外，能以低成本使用具有小尺寸的电阻器R1至R8并简化布线，实现成本降低和提高生产率。注意通过省略用于限流的电阻器Ra和Rb，也能减少部件数量。
在本发明中，断开控制压电致动器1a至1h的任何一个以便产生放电电流，以及通过来自电容器的该放电电流，导通控制下一个将驱动的压电致动器1a至1h的任何另一个。因此，最好下一个将导通控制的压电致动器1a至1h的任何另一个的导通按制定时与经受导通控制的压电致动器1a至1h的任何一个的断开控制同时或恰在其后。在转变中，在充电到某种程序之后使压电致动器1a至1h经受导通控制，该效应被减半。
最好，本发明的控制器27具有导通控制下一个将驱动的压电致动器1a至1h的任何另一个的压电片5和7的功能，使得在断开控制施加到压电致动器1a至1h的任何一个的压电片5和7的驱动电压的定时，施加驱动电压。
随便提一下，如图6所示，根据本发明的压电致动器的驱动器也可以通过电源部相反侧的公用电阻器Ra的端子Sa，将光电晶体管Q1、Q3、Q5和Q7连接到正极侧馈线19，或通过电源部相反侧的公用电阻器Rb的端子Sb，将光电晶体管Q2、Q4、Q6和Q8连接到负极端馈线21来构成。其他结构与图1相同，并能获得相同的效果。
如上所述，当通过电源部侧的公用电阻器Ra和Rb，将光电晶体管Q1至Q8连接到正极端和负极端馈线19和21时，在光电晶体管Q1至Q8(压电致动器1a至1h)的导通/断开切换控制期间，减少电源电压的波动对光电晶体管Q1至Q8的影响，以及最好易于实现稳定的操作。
任意地构成每个上述压电致动器1a至1h，例如，可以仅由压电板3和5组成，或可以具有多个压电板3和5以及板3可以是层压的，以及支撑体不限于图8的上述外壳9的结构。
本发明用于顺序地切换和控制直接从正极端或负极端馈线19和21，直接或间接连接的压电片，或顺序地控制和切换电容器Ca1、Cb1、Cc1和Ch1或电容器Ca2、Cb2、Cc2和Ch2的结构。
根据本发明，用于从馈线到多个压电致动器1a至1h切换驱动电源的控制器27的切换机构不限于上述发光二极管D1至D8和光电晶体管Q1至Q8的组合，而是可以通过用于导通和断开电源的晶体管的无触点开关，以及切换控制部25可以根据切换机构形成。
注意，当发光二极管D1至D8与光电晶体管Q1至Q8结合时，很容易形成馈线19，21和控制器17侧之间的绝缘状态，以及由此实现稳定操作。
根据本发明的压电致动器的驱动器不限于用于驱动如上所述的编织机的编织针的驱动器，而能用作机械地移动直接或间接地连接到多个具有压电片的压电致动器的机械部件的驱动源，诸如打印机中的喷墨驱动源和点线驱动源。
权利要求
1.一种用于由多个压电致动器构成的压电致动器的驱动器，其中，第一和第二压电片分别附着到插入所述第一和第二压电片之间的板的相对表面上，该驱动器包括多个致动器，机械地移动直接或间接地连接到每个压电致动器的机械部件；正极端馈线，直接或间接地连接到所述第一压电片附着到所述板侧的相对侧；负极端馈线，直接或间接地连接到所述第二压电片附着到所述板侧的相对侧；控制器，通过将所述正极端或负极端馈线连接到所述第一或第二压电片的板侧而将驱动电压施加到所述第一和第二压电片，有选择地导通控制和充电所述第一或第二压电片，其中，所述控制器具有下述功能断开控制施加到被选择导通控制的每个压电致动器的所述第一或第二压电片的驱动电压，以及与此同时，导通控制下一个将导通控制的任何另一个压电致动器的所述第一或第二压电片以便向其施加驱动电压，使得这样下一个导通控制的压电致动器的压电片被充电。
全文摘要
一种在导通/断开切换控制期间，通过极大减小的驱动电流驱动压电致动器的驱动器。降低了驱动器的功耗。每个压电致动器(1a至1h)由板和附着到板的相对表面的压电片组成。正电源线(19)或负电源线(21)连接到每个压电片附着到板侧的相对侧。控制器(27)有选择地将正或负驱动电压施加到压电片来执行导通/断开控制。此后，控制器27断开施加到经受导通控制的压电片的驱动电压，并接通至下一个将驱动的压电致动器(1a至1h)的压电片的驱动电压。
文档编号H01L41/09GK1726634SQ20038010630
公开日2006年1月25日 申请日期2003年12月11日 优先权日2002年12月16日
发明者渡边和久, 榎本启, 榎本宽, 金井茂, 高根俊章 申请人:Wac 资料服务株式会社, 中央电子工业株式会社