专利名称：支撑架的制作方法
技术领域：
本发明提供一种支撑物品，特别是一种用来支撑曝光机的光轴传输管路的支撑架。
背景技术：
目前应用于晶圆厂的高能曝光机，多半是将光源产生器等附属机台与步进机(stepper)、扫描机(scanner)等主机工作机台分开置放，以避免工作人员或主机工作机台遭受到光源产生器所产生的高温、微粒(particles)、噪音(noise)、震动(vibration)及高能辐射的影响，造成损害，而且因主机工作机台必需放置在无尘室，以避免污染微粒，确保工艺良品率，然而无尘室的建构成本昂贵，故现行的规划方式大多是将曝光机的光源产生器与主机工作机台分开置放于不同楼层，以节省较多空间来放置更多主机工作机台，进而大幅降低厂务营运的成本。此外，分开楼层放置的光源产生器与主机工作机台间，除放置光轴传输管路与传递透镜组(lens)外，仍会夹杂放置许多其它传输管路造成管路重迭的现象，因此，在曝光机的应用方面，即需一支撑架，用以支撑设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台间的光轴传输管路并固定及置放机台本身的电器线路与其它传输管路。
请参考图1，图1为传统曝光机装设位置的示意图。如图1所示，光源产生器110与主机工作机台120分别放置于第一楼层130与第二楼层131，光源产生器110经由一光轴传输管路140及透镜组(未图示)传输激光等曝光光源至主机工作机台120，以供给主机工作机台120足够的曝光能量。而置于第一楼层130的光源产生器110与置于第二楼层131的曝光主机工作机台120之间，除放置光轴传输管路140外，仍设置有许多机台本身的电器线路150、151与其它传输管路(图未示)。传统支撑曝光机的结构即利用一支撑板160与多个嵌合组件161、162，来支撑、固定及置放光轴传输管路140、机台本身的电器线路150、151与其它传输管路。
然而，因上述的支撑板160与多个嵌合组件161、162大多是在厂房建构完成的后才再架设上去，且置放光源产生器110与主机工作机台120两楼层间又具有会影响支撑板160架构的其它传输管路，因此造成传统技术的支撑结构有支撑效果不佳与装设不易等缺点，在有如地震、人为碰触、施工等外在因素所造成的震动情况下，非常容易受外力而发生偏移或扭曲，影响光轴传输管路140及透镜组的设定位置，使得进入主机工作机台120的曝光光源有光轴偏移的现象产生，造成光源曝光强度及均匀性不佳，进而影响半导体产品的线宽(critical dimension，CD)及产能(throughput)。
发明内容
因此，本发明的主要目的在于提供一种支撑架，用以支撑曝光机的光源产生器与主机工作机台间的光轴传输管路，以解决上述传统技术支撑光轴传输管路效果不佳的问题。
而本发明的又一目的在于实时检测光轴的偏移，一但当光轴产生偏移时，便可迅速发出一警告信号，用以警告工作人员注意调整或直接暂停半导体工艺，以避免制造出品质不佳的产品。
依据本发明的目的，本发明公开一用来支撑曝光机的光轴传输管路的支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的H型钢，用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于H型钢的第一部位的支撑组件，一设于H型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于H型钢的第三部位的信号接收器，用来检测光轴的偏移。
由于本发明利用H型钢作为支撑架，因此具有刚性强、体积小、材料规格容易取得、安装容易、且固定效果好等优点，故能有效避免因外在震动造成的支撑效果不佳而引起光轴偏移，进而确保曝光光源能稳定地进入主机工作机台。再者，本发明更利用信号发射器与信号接收器来对支撑架的结构位置进行一检测机制，以在一发生光轴偏移的时候，便能立即产生一警告信号予工作人员或直接暂停曝光工艺，进而避免因光轴偏移而制造出品质不佳的产品，造成不必要的损失。此外，因本发明的H型钢拆装容易、组合机动性高，故可减低管路重迭机会，以大幅节省移动管路的时间。
为使更进一步了解本发明的特征及技术内容，以下即借由一实施方式来详细说明本发明。然而，以下所附的优选实施方式及附图仅供参考及说明之用，而非用来限制本发明的范围。
图1为传统曝光机装设位置的示意图。
图2为本发明的支撑架的立体示意图。
图3为如图2所示的支撑架的侧视图。
图4为本发明的支撑架的应用示意图。
图5为本发明的支撑架的前视图。
符号说明
具体实施方式
请参考图2、图3与图4，图2为本发明的支撑架250的立体示意图，图3为图2所示的支撑架250的侧视图，图4为本发明的支撑架250的应用示意图。如图2和图3所示，支撑架250包括有多个平行设置的H型钢260、261及支撑组件262～267，其中支撑组件262～267用以使H型钢260、261与楼层固定接合，并支撑H型钢260、261，举例来说，如图4所示，多个支撑组件262～264的一端设于H型钢260的第一部位，例如底端部，另一端设于楼层230的地板上，如此设计使得H型钢260与楼层230可良好地固定接合，并有效地支撑H型钢260。而上述的支撑组件262～267的数量及样式更可视实际需求而为大小形状不一、数量不等的组件，例如可为六个角支撑座，而角支撑座又可为L型的角支撑座或直角三角形的角支撑座，用以固定H型钢260、261于设置楼层230的地板上，而本发明的支撑组件的设置位置当不仅限于上述的位置，亦可设置多个支撑组件(图未示)，用来将H型钢260、261固定于设置楼层的天花板上。
另外，支撑架250可另包括至少一如铆钉或螺丝等的固定组件(图未示)，用以将各H型钢260、261与各支撑组件262～267固定连接，例如可透过铆钉将该H型钢260的底端部分别与支撑组件262～264的一端拴紧，以固定连接H型钢260。
又如图4所示，支撑架250更另可包括至少一个嵌合组件270、271及连接于二H型钢之间的一固定板280、281，以嵌合光轴传输管路240与H型钢260、261，然而本发明的嵌合组件270、271的结构并不仅限于如图4所示的结构。接着，请参考图5，图5为本发明的支撑架的前视图，如图5所示，H型钢260、261上设置有二个固定板280、281，其中固定板280、281可含有多个孔洞，透过嵌合组件270、271选择嵌合固定板280、281上的孔洞，得以让H型钢260、261可以调整彼此之间的距离至适当大小，以避开机台本身的电器线路与其它传输管路，并支撑光轴传输管路240。
此外，如图3所示，本发明另有一信号发射器268设于H型钢261的第二部位以及一与信号发射器268作用的信号接收器269设于H型钢261的第三部位。其中，第二部位与第三部位分别位于H型钢261的上方与下方，作为检测H型钢261的偏移、延展、扭曲等形变，进而得以用来监测固定于H型钢260、261上的光轴传输管路240(如图4所示)所可能产生的偏移。此外，并可使用上述的铆钉或螺丝等固定组件来拴紧信号发射器268与H型钢261或者拴紧信号接收器269与H型钢261。而值得注意的是，本发明的信号发射器268与其相作用的信号接收器269不限于一组，且信号发射器268与信号接收器269所设置的第二部位与第三部位，并不局限位于同一H型钢上，亦可分别各装设于相异的H型钢上，以检测水平位置是否偏移，例如信号发射器268位于H型钢261上而信号接收器269则设于H型钢260同一水平面上。因此，当H型钢261或260因地震或其它外力发生形变或位移时，此时信号接收器269便会因接收不到信号发射器268所发送的讯号而可判知光轴产生偏移，进而由电连接至信号接收器269的一控制单元发出一警告信号，用以警告工作人员来进行检查及校正的动作，或直接传输至一控制讯号至曝光机中来暂停曝光工艺。此外，信号发射器268与信号接收器269更可分别设置于嵌和组件270、271所位在的固定板280、281上，然而，本发明当不限于此。
综上所述，本发明的应用如图4所示，本发明的光源产生器210等附属机台与步进机、扫描机等主机工作机台220分别放置于第一楼层230与第二楼层231，光源产生器210系经由一光轴传输管路240及透镜组(图未示)传输激光等曝光光源至主机工作机台220，以供给主机工作机台220足够的曝光能量。由于置于第一楼层230的光源产生器210与置于第二楼层231的主机工作机台220之间，除放置光轴传输管路240外，仍设置有许多机台本身的电器线路与其它传输管路(图未示)，而本发明的支撑架250由于可以透过选择不同大小的H型钢260、261或透过以嵌合组件270、271分别选择不同固定板280、281之间孔洞的位置等方式，让本发明得以调整H型钢之间的距离至适当大小，以避开其它传输管路的架设。此外，本发明可将机台本身的电器线路与其它传输管路固定在无光轴传输管路240通过的H型钢260、261的其它侧面，以避免其它传输管路影响已精确调校的光轴位置；而前述的曝光光源可为激光源、深紫外光(Deep-UV)、异步辐射X-光、固态激光(Solid-State Laser)、准分子激光等。
相较于传统的支撑结构，本发明的支撑架利用H型钢作为支撑架，不但具有结构坚固、节省空间、安装容易、固定效果好的优点，并能大幅避免因外在震动所造成的支撑效果不佳而导致进入主机工作机台的光源产生有光轴偏移的缺点。而倘若有震动造成无法避免的光轴偏移时，信号接收器亦可由信号发射器得知光轴产生偏移，进而发出一警告信号，用以警告工作人员或暂停半导体工艺，以避免因光轴偏移而制造出品质不佳的产品，造成不必要的浪费。此外，因H型钢拆装容易、组合机动性高，故可减低与其它管路重迭机会，而在需增加或拆除管路时，因H型钢可被轻易的拆装组合，故需移动的管路可被轻易移动，进而大幅节省移动管路的时间。
以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明权利要求书所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。
权利要求
1.一种支撑架，该支撑架包括有至少一个H型钢，用以支撑位于曝光设备的主机工作机台与附属机台之间的光轴传输管路；至少一个支撑组件，设于该H型钢的第一部位；一信号发射器，设于该H型钢的第二部位；以及一信号接收器，设于该H型钢的第三部位。
2.如权利要求1所述的支撑架，其中该信号接收器相作用于该信号发射器，用来检测该支撑架所发生的形变，以检测该光轴传输管路偏移的现象。
3.如权利要求1所述的支撑架，其中该支撑架另包括有一电连接至该信号接收器的控制单元，且当该信号接收器接收不到该信号发射器所发送的讯号时，该控制单元会发出一警告信号。
4.如权利要求1所述的支撑架，其中该信号发射器与该信号接收器分别位于该H型钢的二端。
5.如权利要求1所述的支撑架，其中该支撑架另包括至少一个嵌合组件，用以将该光轴传输管路固定于该H型钢上。
6.如权利要求5所述的支撑架，其中该支撑架另包括至少一固定板，用以与该嵌合组件嵌合，进而固定支撑该光轴传输管路。
7.如权利要求6所述的支撑架，其中该固定板包括有多个孔洞，且该嵌合组件可选择嵌合该些孔洞而固定于该固定板上。
8.如权利要求1所述的支撑架，其中该支撑组件位于该H型钢的底端部与建筑物的地板相接。
9.如权利要求1所述的支撑架，其中该支撑架另包括至少一个固定组件，用以结合该支撑组件而将该H型钢固定于该第一楼层的地板上。
10.如权利要求9所述的支撑架，其中该固定组件为铆钉或螺丝。
11.如权利要求1所述的支撑架，其中该支撑组件为角支撑座。
12.一种传输管路的支撑架，该支撑架包括有至少两个H型钢；多个支撑组件，设于该H型钢的端部，用以固定该些H型钢；一信号发射器，设于该H型钢的第一部位；与该信号发射器相作用的一信号接收器，设于该H型钢的第二部位；至少一固定板，连接该些H型钢；以及至少一嵌合组件嵌合于该固定板上，用以固定支撑该传输管路。
13.如权利要求12所述的支撑架，其中该信号发射器与信号接收器分别位于该H型钢的二端。
14.如权利要求12所述的支撑架，其中该支撑架另包括有一电连接至该信号接收器的控制单元，且当该信号接收器接收不到该信号发射器所发送的讯号时，该控制单元会发出一警告信号。
15.如权利要求12所述的支撑架，其中该固定板包括有多个孔洞，且该嵌合组件可选择嵌合该些孔洞而固定于该固定板上。
16.如权利要求12所述的支撑架，其中该支撑组件位于该H型钢的底端部与建筑物的地板相接。
17.如权利要求12所述的支撑架，其中该支撑架另包括至少一个固定组件，用以结合该支撑组件而将该H型钢固定于该第一楼层的地板上。
18.如权利要求17所述的支撑架，其中该固定组件为铆钉或螺丝。
19.如权利要求12所述的支撑架，其中该信号发射器与该信号发射器设于不同的该些H型钢上。
20.如权利要求12所述的支撑架，其中该支撑组件为角支撑座。
全文摘要
本发明提供一种支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的H型钢(H－beam)用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于H型钢的第一部位的支撑组件，一设于该H型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于该H型钢的第三部位的信号接收器，用来检测光轴偏移的现象。
文档编号H01L21/00GK1763634SQ200410086159
公开日2006年4月26日 申请日期2004年10月19日 优先权日2004年10月19日
发明者陈茂森, 王宏祺, 郭宗铭 申请人:力晶半导体股份有限公司