专利名称：防震系统的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种防震系统，特别是有关于一种用于保护半导体制造设备的防震系统。
背景技术：
图1显示一种现有用于保护半导体制造设备的防震结构，其是将机台10锁固于底座(base)20之上，并将底座20利用粘着剂21加强固定于基础面30之上。
当地震来袭时，因底座20无法吸收地震力，故地震力将完全传递至机台10，而造成机台10的损坏。因此，机台10中设置感测器会在感测到地震的来袭时，停止机台10中的制程动作，以避免造成产品的毁坏。
然而，因为底座20无法吸收震动，因此，当中大型地震来袭时，昂贵而精密的机台很有可能会被震坏而造成庞大的损失。
美国早期公开第20030122681号专利申请案揭露一种装置与方法，当振动(由地震或其他震动所引起)传递至机台10时，机台10中的控制器会自动关闭机台10，以避免造成产品的毁坏。只是产品在机台10被关闭之前可能早已损坏。
总之，目前确实需要一种能有效防止地震力损伤机台的防震系统。
发明内容
本发明是为了解决上述现有技术的问题，而提供一种防震系统，用以降低一机台所吸收的震动。此防震系统包括一第一可动装置，设于机台与一基础面之间，当基础面承受一震动力时，第一可动装置容许机台于基础面上滑动，以防止震动力传递至机台。
本发明所述的防震系统，更包括一阻尼器，设于该机台上，以吸收该震动力。
本发明所述的防震系统，更包括一弹簧，设于该机台上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
本发明所述的防震系统，该第一可动装置为一磁铁。
本发明所述的防震系统，更包括一第二可动装置，设于该机台之上，以限制该机台的滑动路径。
本发明所述的防震系统，该第一可动装置为一电磁铁。
本发明所述的防震系统，更包括一防震控制器，该防震控制器与该机台的一机台控制器相耦接，当该机台控制器因为该机台的不正常震动而停止该机台的运作时，该防震控制器停止该第一可动装置的电源供应，以容许该机台滑动。
本发明所述的防震系统，该机台为长方体，具有平行且相对的二长侧面以及二短侧面。
本发明所述的防震系统，更包括多个阻尼器，以垂直该等长侧面的方式设于该等长侧面之上，以吸收该震动力。
本发明所述的防震系统，更包括多个弹簧，以垂直该等长侧面的方式设于该等长侧面之上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
本发明所述的防震系统，该第一可动装置为一电磁铁。
本发明所述的防震系统，更包括一防震控制器，该防震控制器与该机台的一机台控制器相耦接，当该机台控制器因为该机台的不正常震动而停止该机台的运作时，该防震控制器停止该第一可动装置的电源供应，以容许该机台滑动。
本发明所述的防震系统，更包括一第二可动装置，设于该机台的该等短侧面之上，以限制该机台的滑动路径。
本发明还提供一种防震系统，所述防震系统包括一第一可动装置，设于一机台与一基础面之间，当该基础面承受一震动力时，该第一可动装置容许该机台于该基础面上滑动，以防止该震动力从该基础面传递至该机台；一底座，设于该第一可动装置与该机台之间，以吸收该震动力。
本发明所述的防震系统，更包括一阻尼器，设于该底座上，以吸收该震动力。
本发明所述的防震系统，更包括一弹簧，设于该底座上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
本发明所述的防震系统，更包括一第二可动装置，设于该底座之上，以限制该机台的滑动路径。
本发明的防震系统可以有效的防止地震力传递至机台，因此可避免机台于地震时损伤。且由于本发明具有弹簧、阻尼器等装置，可限制机台在地震时的位移量。
图1是显示现有的防震结构；图2是显示本发明的防震系统的侧视剖面图；图3是显示本发明的防震系统的俯视图；图4是显示本发明的防震系统的电路方块图；图5是显示本发明的防震系统设置于厂房之中的情形；图6是显示本发明的防震系统设置于地板下方的情形。
具体实施例方式
参照图2，本发明的防震系统包括底座20、第一可动装置110、阻尼器120以及固定结构150。机台10设于底座20之上。第一可动装置110设于底座20与基础面30之间。阻尼器120设于底座20与固定结构150之间。
底座20可以是(例如)金属制品，而第一可动装置110可以为一磁铁(特别是一电磁铁)，用以吸附于底座20之上。
在正常操作的情况下(未发生震动时)，第一可动装置110将机台10固定于基础面30上的一固定位置。当基础面30承受一震动力时，第一可动装置110将释放机台10，并容许机台10于基础面30的X轴上滑动，以防止震动力传递至机台10。同时，由于机台10的滑动，机台10推动阻尼器120，使得部分的震动力被阻尼器120所吸收。
请参照图3，本发明的防震系统更包括弹簧130以及第二可动装置140。弹簧130设于底座20与固定结构150之间。第二可动装置140设于底座20之上。在本实施例中，第二可动装置140为滚轮，可沿沟槽141滚动而限制机台10的滑动路径。
当基础面30承受一震动力时，第二可动装置140限制机台10的滑动路径，使机台10于基础面30的X轴上滑动。同时，机台10推动阻尼器120以及弹簧130。阻尼器120可吸收部分的震动力。弹簧130可防止机台10过度压缩阻尼器120而发生碰撞的情形，且利用弹簧130的弹力，可使机台10于X轴上充分的往复运动，因而使大部分的地震力被阻尼器120所吸收。
参照图4，本发明的防震系统更包括一防震控制器100，防震控制器100与机台10的机台控制器11相耦接。当机台控制器11因为机台10的不正常震动而停止机台10的运作时，防震控制器100关闭第一可动装置(为电磁铁时)的电源101，以释放并容许机台10滑动。
上述的底座20可被省略，而第一可动装置110、第二可动装置140、阻尼器120以及弹簧130可直接设于机台10之上，以简化防震系统。
本发明的防震系统可以有效的防止地震力传递至机台，因此可避免机台于地震时损伤。且由于本发明具有弹簧、阻尼器等装置，可使机台在地震后复位。
应用实施例参照图5，其显示本发明的防震系统应用于厂房40之中时的情形。在图5中，机台10旁设有阻尼器120、弹簧130、第二可动装置140、沟槽141以及固定结构150。
以下说明应用于厂房的防震系统的细部结构。
参照图2，本发明的防震系统包括底座20、第一可动装置110、阻尼器120以及固定结构150。机台10设于底座20之上。第一可动装置110设于底座20与基础面30之间。阻尼器120设于底座20与固定结构150之间。
底座20可以是(例如)金属制品，而第一可动装置110可以为一磁铁(特别是一电磁铁)，用以吸附于底座20之上。
在正常操作的情况下(未发生震动时)，第一可动装置110将机台10固定于基础面30上的一固定位置。当基础面30承受一震动力时，第一可动装置110将释放机台10，并容许机台10于基础面30的X轴上滑动，以防止震动力传递至机台10。同时，由于机台10的滑动，机台10推动阻尼器120，使得部分的震动力被阻尼器120所吸收。
请参照图3，本发明的防震系统更包括弹簧130以及第二可动装置140。弹簧130设于底座20与固定结构150之间。第二可动装置140设于底座20之上。在本实施例中，第二可动装置140为滚轮，可沿沟槽141滚动而限制机台10的滑动路径。
当基础面30承受一震动力时，第二可动装置140限制机台10的滑动路径，使机台10于基础面30的X轴上滑动。同时，机台10推动阻尼器120以及弹簧130。阻尼器120可吸收部分的震动力。弹簧130可防止机台10过度压缩阻尼器120而发生碰撞的情形，且利用弹簧130的弹力，可使机台10于X轴上充分的往复运动，因而使大部分的地震力被阻尼器120所吸收。
参照图4，本发明的防震系统更包括一防震控制器100，防震控制器100与机台10的机台控制器11相耦接。当机台控制器11因为机台10的不正常震动而停止机台10的运作时，防震控制器100关闭第一可动装置(为电磁铁时)的电源101，以释放并容许机台10滑动。
上述的底座20可被省略，而第一可动装置110、第二可动装置140、阻尼器120以及弹簧130可直接设于机台10之上，以简化防震系统。
参照图5，机台10为长方体，其具有平行且相对的二长侧面以及二短侧面。阻尼器120以及弹簧130以垂直该等长侧面的方式设于机台10的长侧面之上。第二可动装置140设于机台10的短侧面之上。当震动发生时，机台10将于固定结构150之间有限度的滑动，因此并不会彼此碰撞。
参照图6，当防震系统实际应用于厂房之中时，第一可动装置110、第二可动装置140、阻尼器120、弹簧130、沟槽141、固定结构150以及基础面30可设于地板50之下。地板50与底座20之间具有一间隙d，以容许机台10在X轴上的滑动。
本发明的防震系统可以有效的防止地震力传递至机台，因此可避免机台于地震时损伤。且由于本发明具有弹簧、阻尼器等装置，可使机台在地震后复位。
以上所述仅为本发明较佳实施例，然其并非用以限定本发明的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本发明的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。
附图中符号的简单说明如下10机台11机台控制器20底座21粘着剂30基础面40厂房50地板100防震控制器110第一可动装置101第一可动装置的电源120阻尼器130弹簧140第二可动装置141沟槽150固定结构d间隙
权利要求
1.一种防震系统，其特征在于所述防震系统包括一第一可动装置，设于一机台与一基础面之间，当该基础面承受一震动力时，该第一可动装置容许该机台于该基础面上滑动，以防止该震动力从该基础面传递至该机台。
2.根据权利要求1所述的防震系统，其特征在于更包括一阻尼器，设于该机台上，以吸收该震动力。
3.根据权利要求1所述的防震系统，其特征在于更包括一弹簧，设于该机台上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
4.根据权利要求1所述的防震系统，其特征在于该第一可动装置为一磁铁。
5.根据权利要求4所述的防震系统，其特征在于更包括一第二可动装置，设于该机台之上，以限制该机台的滑动路径。
6.根据权利要求4所述的防震系统，其特征在于该第一可动装置为一电磁铁。
7.根据权利要求6所述的防震系统，其特征在于更包括一防震控制器，该防震控制器与该机台的一机台控制器相耦接，当该机台控制器因为该机台的不正常震动而停止该机台的运作时，该防震控制器停止该第一可动装置的电源供应，以容许该机台滑动。
8.根据权利要求1所述的防震系统，其特征在于该机台为长方体，具有平行且相对的二长侧面以及二短侧面。
9.根据权利要求8所述的防震系统，其特征在于更包括多个阻尼器，以垂直该长侧面的方式设于该长侧面之上，以吸收该震动力。
10.根据权利要求8所述的防震系统，其特征在于更包括多个弹簧，以垂直该长侧面的方式设于该长侧面之上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
11.根据权利要求8所述的防震系统，其特征在于该第一可动装置为一电磁铁。
12.根据权利要求11所述的防震系统，其特征在于更包括一防震控制器，该防震控制器与该机台的一机台控制器相耦接，当该机台控制器因为该机台的不正常震动而停止该机台的运作时，该防震控制器停止该第一可动装置的电源供应，以容许该机台滑动。
13.根据权利要求8所述的防震系统，其特征在于更包括一第二可动装置，设于该机台的该短侧面之上，以限制该机台的滑动路径。
14.一种防震系统，其特征在于所述防震系统包括一第一可动装置，设于一机台与一基础面之间，当该基础面承受一震动力时，该第一可动装置容许该机台于该基础面上滑动，以防止该震动力从该基础面传递至该机台；一底座，设于该第一可动装置与该机台之间，以吸收该震动力。
15.根据权利要求14所述的防震系统，其特征在于更包括一阻尼器，设于该底座上，以吸收该震动力。
16.根据权利要求14所述的防震系统，其特征在于更包括一弹簧，设于该底座上，以限制该机台在承受该震动力时的位移量。
17.根据权利要求14所述的防震系统，其特征在于更包括一第二可动装置，设于该底座之上，以限制该机台的滑动路径。
全文摘要
本发明提供一种防震系统，包括一第一可动装置，设于一机台与一基础面之间，当基础面承受一震动力时，第一可动装置容许机台于基础面上滑动，以防止震动力传递至机台。本发明的防震系统可以有效的防止地震力传递至机台，因此可避免机台于地震时损伤。且由于本发明具有弹簧、阻尼器等装置，可限制机台在地震时的位移量。
文档编号H01L21/00GK1769738SQ200510102998
公开日2006年5月10日 申请日期2005年9月16日 优先权日2004年9月16日
发明者邱瑜燕, 彭瑞君, 易伟立, 姚昭智 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司