成膜用材料及成膜用材料的推定方法

专利名称：：成膜用材料及成膜用材料的推定方法
技术领域：
：本发明涉及用成膜装置成膜的成膜用材料，其推定方法和解析方法以及成膜方法。
背景技术：
：使规定材料的原料气化后成膜规定材料层的方法，被广泛应用于半导体材料或平板显示器装置、其他的电子装置中。作为这种电子装置的一例，以下以有机EL显示装置为例进行说明。具有充分亮度且寿命达到数万小时以上的有机EL显示装置，采用的是自发光型元件，即有机EL元件，由于有机EL显示装置的背照灯等外部元件少，因此可以制成很薄，是理想的平面显示装置。构成这种有机EL显示装置的有机EL元件，从作为显示装置的特性来看，要求其具有大型画面的同时，元件的寿命长，画面内的发光亮度及元件寿命没有不均，另外没有黑斑等代表性缺陷。为了满足上述要求，有机EL膜的成膜技术极其重要。例如，作为在20英寸左右的大型基板中，用于均匀成膜有机EL膜的成膜装置，采用的是特许文献l(特开2004-79904号公报)中记载的装置等。特许文献l的成膜装置，通过将设置在装置内的喷射器内部的配管构成优化配置为树状，使原料气体与载气一起，同样分散在基板上，从而达到确保大型基板中膜厚的均一性。近来，对这样的有机EL装置，也要求实现大型化，即达到20英寸以上。然而，为了满足这样的要求，必须克服发光效率差及寿命短等有机EL装置特有的各种缺点。这里将构成有机EL装置的包含发光层的各种有机EL膜与形成在其他的显示装置上的膜进行比较，因其厚度极薄，仅有数十nm，所以需要在分子单位进行成膜的技术，并且高精度地迸行分子单位的成膜也极其重要。作为也可以适用于20英寸以上的大型化的成膜装置，本发明的发明人员，在特愿2005-110760(先行申请l)中，提出了一种成膜装置，其特征在于，能够均匀且迅速地对形成有机EL装置的各种有机EL原料进行成膜。提出的成膜装置具备使同一有机EL原料蒸发、气化的2个原料容器；将该有机EL原料吹到基板上的吹出容器；连接这些原料容器和吹出容器的配管系统(即，流通路径)。这种情况下，将有机EL原料从一侧的原料容器供给到吹出容器时，在成膜开始前、成膜时以及成膜停止时切换包含多个阀门及孔口(Orifice)的配管系统，同时对配管系统的温度进行控制。在此构成中，在进行成膜以外的时间内，在使残留在配管系统内的气体迅速排出的同时，使气体通入另一侧的原料容器中。在先行申请1所示的成膜装置中，不仅可以防止残留在配管系统中的气体造成的污染，而且能够在成膜开始前、成膜时以及成膜停止时迅速地进行状态迁移。由于先行申请1涉及的成膜装置能够防止残留在配管系统中的有机EL原料造成的污染，因此可以显著改善有机EL装置的亮度及寿命。然而，采用先行申请1所示的构成时，需要进一步改善形成有机EL装置的有机EL材料的利用效率，且为了进一步实现有机EL装置的大型化，不仅需要进一步改善有机EL元件的亮度，还需要实现有机EL元件的长寿命化。另外，在先行申请1所示的成膜装置中，成膜时气化的有机EL材料被从一侧的原料容器吹送到吹出容器中，但在成膜以外的时间内，气化的有机EL材料被从一侧的原料容器排出到外部。如此可知，仅在成膜时有机EL材料才能够得到有效利用，而在成膜以外的时间内，有机EL材料并未得到有效利用，因此，该成膜装置还存在有机EL材料的利用效率差的缺点。这里对作为目标的有机EL装置的特性及构造进行说明。首先，希望实现的有机EL装置，不仅要具有一万小时以上的使用寿命，还应具有1001m/W以上的发光效率。另外，对本发明涉及的有机EL装置进行概略说明时，具有如下的构造在玻璃基板上具备由透明导电膜形成的阳极和与该阳极对向设置的、由Li/Ag等形成的阴极；在阳极和阴极之间，配置有多个层，例如7层或5层的有机层。这里，有机层例如自阴极一侧起，由电子注入层、电子输送层、发光层、空穴输送层以及空穴注入层形成；发光层例如由红色发光层、绿色发光层及蓝色发光层构成。如此，通过将红色发光层、绿色发光层及蓝色发光层形成积层构造，可以高效率地发出白光。另外，在上述的有机层中，特别是形成发光层的红色发光层、绿色发光层及蓝色发光层，均具有20nm左右的厚度，且电子输送层及空穴输送层也具有50nm左右的厚度。如此，与其他的半导体装置的各种膜的厚度相比，有机EL装置的有机层的厚度极薄，将来还有可能进一步降低这些有机膜的厚度。这种情况下，因为为了形成有机层，即使是分子单位的污染也是不允许的，所以要高精度地被覆、形成极薄的有机层，必须具备在分子单位形成有机层原料的超精细技术。特许文献1:特开2004-79904号公报可是，在现在已经实用化的有机EL装置的制造中，采用的是在10E-4(10的负4次方)至10E-5(10的负5次方)Torr的压力下，将有机EL材料加热到20030(TC，使该材料蒸发，将飞散的材料堆积在基板上的蒸着法。用于这些有机EL装置的有机EL材料的组成和特性等尚未充分公开，且对该有机EL材料进行分析也是困难的，因此，仅依靠生产厂家的规格进行实验或研究。然而，在不能特定成膜用的有机EL材料时，存在不能特定是否能够进行目标成膜的情况，从而对实验及研究造成妨碍。另外，在先行申请1所示的用载气输送蒸发的有机EL材料，在基板上进行成膜的成膜装置中，也存在根本没有对什么样的材料适于该装置进行分析的情况。
发明内容本发明的目的在于，提供一种求出由实验数据对成膜用材料的特性进行规定的参数值的解析方法，和通过该参数对成膜用材料进行推定的推定方法，以及利用该参数的成膜方法。本发明的另外的目的在于，提供一种由参数值决定的成膜用材料。根据本发明的第1方式，可以获得一种成膜用材料，是蒸发量V(%)可以用下述公式表示的成膜用材料，V二(Ko/P)Xe摇(其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)其特征在于，可以通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值进行特定。根据本发明的第2方式，可以获得一种成膜用材料，其特征在于，在第1方式中，在将压力P设为一定的状态下，所述活性化能量Ea可以由表示使温度T变化时的载气中的材料浓度的特性获得，且，所述常数Ko由特定温度下的特定的材料浓度决定。根据本发明的第3方式，可以获得一种成膜用材料，其特征在于，在第1或第2方式中，所述常数Ko位于5.700X1014(%'Torr)~6.220X1014(%*丁017)的范围。根据本发明的第4方式，可以获得一种成膜用材料，其特征在于，在第1或第2方式中，所述常数Ko位于2.600X10"(。/。'Torr)3.640X10"(%'Torr)的范围。根据本发明的第5方式，可以获得一种推定方法，是对未知的成膜用材料进行推定的推定方法，其特征在于，由载气中的材料浓度的测定结果，获得表示该未知材料的蒸发量V(M)的下述公式中的活性化能量Ea，V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常数(M'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)，再者，从特定温度下的特定的材料浓度，算出所述常数Ko，从算出的常数Ko的值，推定未知的成膜用材料。根据本发明的第6方式，可以获得一种成膜用材料，其特征在于，将温度设定为250°C~500°C;将气氛中的材料浓度设为0.1%~10%;将压力设为10的负3次方Torr以上，具有满足用气氛中的材料浓度V(。/。)表示蒸发量的下述公式的活性化能量Ea及常数Ko。V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)在此，将温度设为25(TC以上，是因为要求该温度达到材料有效气化所需温度之上，将温度设为50(TC以下，是因为不存在能够承受该温度以上温度的供给、控制系统。另外，将浓度设为0.1%的原因在于，如果浓度在该浓度以下时，不能进行经济性成膜。优选将温度设为30(TC45(rC。优选将上述成膜用材料用于气化后通过载气进行输送的用途。根据本发明的第7方式，可以获得一种成膜方法，其特征在于，使上述的成膜用材料在载气中蒸发到0.1%~10%的浓度，将所述载气输送到基板附近，在所述基板上形成所述成膜用材料的膜。根据本发明的第8方式，可以获得一种成膜用材料的解析方法，是在气化机构内将成膜用材料气化后，用载气将其输送到基板附近，在基板上进行成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，测定将气化成膜用材料的温度设为一定时的气化机构内的压力和载气内的成膜用材料的浓度的关系，进行第1判定，即用x表示压力的倒数，用y表示浓度时，x和y实质上是否具有比例关系；将气化机构内的压力设为一定，测定浓度和温度的关系，将温度的倒数设为x，将浓度的对数设为y时，进行第2判定，即表示x-y平面内的浓度和温度之间的关系的曲线的斜率，是否不依存于压力而实质上保持一定，当第1判定及第2判定均为肯定时，成膜用材料在载气内的浓度可以用下述公式表示V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)。根据本发明的第9方式，可以获得一种成膜用材料的解析方法，是在气化机构内将成膜用材料气化后，用载气将其输送到基板附近，在基板上进行成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，载气内的成膜用材料的浓度用下述公式表示V二(Ko/P)Xe碰(其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)，通过将气化机构内的压力设为一定时的对成膜用材料进行气化的温度和浓度之间的关系，可以确定定上述公式的Ea,由Ea值和气化机构内的压力和浓度算出Ko。根据本发明的第10方式，可以获得一种成膜方法，是在气化机构内对成膜用材料进行气化，通过载气将气化后的成膜材料输送到基板附近，在基板上进行成膜的成膜方法，其特征在于，将气化机构内的压力设为P,将气化成膜用材料时的温度设为T，将载气内的成膜用材料的浓度设为V时，P、T、V的任何l个值，可以由其他2个值和下述公式决定V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常数(。/。.Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)。以下，对成膜有机EL膜的成膜装置的一例进行说明，但本发明并不限定于此，当然可以适用于各种成膜装置。在本发明中，可以提供一种适用于使用载气进行成膜的成膜用材料。另外，还可以提供由实验数据求出对成膜用材料的特性进行规定的参数值的解析方法，和通过该参数对成膜用材料进行推定的推定方法，以及利用该参数的成膜方法。图1是表示釆用本发明的材料成膜时的优选成膜装置的一例的概略构成图。图2是表示釆用本发明的材料成膜时的优选成膜装置的其他例的概略构成图。图3是表示对图1及图2所示的成膜装置的配管系统、切换器以及成膜部进行更具体说明的图。图4是表示釆用本发明的材料进行成膜时的优选成膜装置的其他例的要部的立体图。图5是表示图4的成膜装置的成膜部的图。图6是表示图4的成膜装置中的切换时间等的时间图。图7是表示使用本发明的材料时的实验结果的图。图8是表示本发明的有机EL原料(H材料)的蒸发活动的温度依存性的图，这里表示的是将压力保持为一定的状态下的温度依存性。图9是表示本发明的有机EL原料(H材料)的蒸发活动的压力依存性的图，这里表示的是将温度保持为一定的状态下的压力依存性。图10是表示使用本发明的材料时的特性，这里是表示载气中的有机EL原料(H材料)浓度的压力依存性和温度的关联图。图11与图10同样，表示使用本发明的材料时的特性，这里是表示载气中的有机EL原料(H材料)浓度的温度依存性和压力的关联图。图12是表示表示本发明的有机EL原料(C材料)的蒸发活动的压力依存性的图，这里表示的是将温度保持为一定的状态下的压力依存性。图13是表示表示本发明的材料的特性，这里是表示载气中的有机EL原料(C材料)浓度的压力依存性和温度的关联图。图14与图13同样，表示本发明的原料的特性，这里是表示载气中的有机EL原料(C材料)浓度的温度依存性和压力的关联图。具体实施方式图1所示为本发明的第1实施方式的成膜装置的概图。图示的成膜装置具备有机EL源部20，第1及第2成膜部26、27，以及切换部29(切换机构)，该有机EL源部20具备多个有机EL源，该切换部29用于将来自有机EL源部20的气化了的有机EL材料选择性地供给到第1或第2成膜部26、27。切换部29由配管、孔口、质量流量控制器(流量控制系统)以及多个阀门等构成。切换部29以这种关系，受到控制装置(未图示)的控制，该控制装置对配管、孔口、流量控制系统、阀门进行控制。具体地说，图示的有机EL源部20，具备对应应该堆积的有机EL膜的数量的、收纳了有机EL原料的容器部(以下称为"原料容器部")。例如，当应该堆积到玻璃基板上的有机EL原料为3种时，有机EL源部20包含分别收纳有该3种有机EL原料的3个原料容器部。当要堆积更多的有机EL原料时，可以设置对应该原料的数量的收纳有机EL原料的原料容器部。例如当应该堆积的有机EL膜由电子输送层、红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、电子块层以及空穴输送层构成时，可以在有机EL源部20上设置收纳用于形成各层的原料的6个原料容器部。再者，在有机EL源部20的各个原料容器部201上，并非仅具备用于收纳有机EL原料，使该有机EL原料蒸发的蒸发工具(即蒸发皿)，还具备对该蒸发工具内的该有机EL原料进行加热的加热器。另外，在各原料容器部201的蒸发工具中，经阀门、流量控制系统以及配管系统，导入氩气、氙气、氪气等载气。此处，将载气导入到各原料容器部201中，并通过加热器进行加热，结果蒸发工具中的有机EL材料被气化。因此，各原料容器部201具有将有机EL材料气化的气化机构的功能。在图中为了简化说明，在有机EL源部20上仅表示单一的原料容器部201，但实际在有机EL源部20还具备与其他的有机EL材料对应的原料容器部。如此，各原料容器部201作为对有机EL原料进行气化的气化机构进行工作。另一方面，对应图示的原料容器部201设置切换部29，其他的原料容器部也设有同样的切换部。这里为了简化而进行省略。在切换部29上连接有载气用配管系统31(配管、阀门、流量控制系统、孔口等)，该载气用配管系统31将与氩气、氙气、氪气等载气同种的气体供给到切换部29。对应第1及第2成膜部26、27分别各自连接有该载气用配管系统31。这些载气用配管系统31，不经气化机构，作为将载气供给到气体放出机构的载气供给机构进行工作。在图示的切换部29的内部具备配管系统，该配管系统包含配管、阀门、孔口、流量控制系统等，将载气及气化了的有机EL原料选择性地供给到第l及第2成膜部26、27。第1及第2成膜部26、27具有相互同一的构成，且如后所述，经具有具备相互同一的配管线路长的部分的配管系统331、332，和切换部29连接。图示的第l及第2成膜部26、27，将其作为将在图示的原料容器部201中被气化的有机EL原料吹出、堆积的部分进行说明。然而，在第1及第2成膜部26、27上分别堆积多个有机EL原料时，实际上有必要在多个原料容器部和第1及第2成膜部26、27之间设有多个切换器，并设置经这些切换器，将多个原料容器部和第1及第2成膜部26、27连接到一起的配管系统(气体流通路径)。第1及第2成膜部26、27分别具备吹出容器和输送装置，进行将气化的包含有机EL原料的载气从吹出容器放出到玻璃基板上而堆积有机EL膜的作业。该吹出容器具有将包含被气化的有机EL原料的载气均匀地吹出到玻璃基板上的构成；该输送装置用于对将温度保持为一定的台座上的玻璃基板进行输送的输送装置。因此，吹出容器可以称为气体放出机构。由此可知，在图示的成膜装置中，对应l个气化机构，具备多个气体放出机构。此外，在吹出容器上还具有用于将来自配管系统331、332的有机EL材料均匀分散而设置的供给口和将来自该供给口的有机EL材料导引到玻璃基板等上的过滤器。另外，以可以用陶瓷或者金属板上形成有微孔的喷淋板(ShowerPlate)置换过滤器。以下，对图l所示的成膜装置的动作进行说明。首先，通过在原料容器部201进行加热，使有机EL原料(有机EL分子)气化。在此状态下，通过切换部29选择第1成膜部26时，有机EL原料以气化的状态从原料容器部201通过切换部29的配管系统，与载气一起经配管系统331被供给到第1成膜部26。当将有机EL原料供给到第1成膜部26的期间，连接在第2成膜部27上的配管系统32被关闭。当在第1成膜部26内进行成膜时，玻璃基板被供给到第2成膜部27的入口处，第2成膜部27处于成膜待机状态。在第1成膜部26内，当有机EL原料的堆积完成时，在切换器29的作用下，切换配管系统，来自原料容器部201的有机EL原料经配管系统332被供给到第2成膜部27。当在第2成膜部27内进行成膜时，在第1成膜部26内成膜完成后的玻璃基板，通过输送装置被导引到为了成膜另外的有机EL原料而设在第1成膜部26内的另外的吹出容器中，进行另外的有机EL原料的成膜。换言之，即在不同的时间将各自不同的基板供给到对应一个气化机构的多个气体放出机构。以下，采用同样的方法，以切换器29规定的时间，相互切换、控制第1及第2成膜部26、27，通过依次切换堆积的有机EL原料，将有机EL装置需要的有机EL膜堆积在平行流动的玻璃基板上。切换器29和第2成膜部27之间的配管系统332，具有与切换器29和第1成膜部26之间的配管系统331相同的长度，且为了在同一条件下进行成膜，这些配管系统被构成为树状。再者，配管系统331、332被控制为以相同的流量将有机EL原料供给到第1及第2成膜部26、27。结果，在第1及第2成膜部26、27中，可以在同一条件下选择性地进行同一有机EL原料的成膜。因此，根据该构成可以在一方的成膜部26或27中的成膜完成时，在完全相同的条件下，在另一方的成膜部26或27中也可以进行成膜。再者，在一方的成膜部26或27中成膜完成后的玻璃基板进行移动时，切换到另一方的成膜部26或27，在与一方的成膜部相同的条件下，有机EL原料被供给到切换后的成膜部。因此，图l所示的成膜装置，可以同时、并列地在多个玻璃基板上依次形成有机EL材料膜，并且可以避免浪费来自原料容器部201的有机EL原料，从而大幅改善有机EL原料的利用效率。图2是表示本发明的第2方式的成膜装置的概念图，在图示例中，来自有机EL源部的有机EL原料，经切换器29分别供给到3个成膜部，即第1~第3成膜部2628，在这一点上，与仅供给到2个成膜部26、27的图1的成膜装置不同。在图示例中，第3成膜部经配管系统333连接在切换器29上，该配管系统333与其他的配管系统331、332同样受到控制。不管怎样，在图2所示的成膜装置中，来自各原料容器部201的气化的有机EL原料经切换器29被供给到第1第3成膜部26~28。图3是表示图1及图2所示的成膜装置的一部分，这里与成膜部26内的一部分的构成一起，表示有机EL源部20、切换器29以及单一的成膜部26之间的连接关系。图3所示的成膜部26，具有将包含有机EL原料(分子)的载气吹出到成膜部26内的吹出容器261及支承玻璃基板30的台座262，将该台座262设为在搭载有玻璃基板30的状态下，可以沿着与图3的纸面垂直的方向移动。另外，在此例中，在吹出容器261内设置6张气体分散板263，并在与玻璃基板30对向的位置上，设置由金属或陶瓷形成的过滤器(或喷淋板)264。与气体分散板对应设有供给口，两者被配置为同一方向(在图3中为纸面上下方向)的一列。另外，过滤器264具有在供给口和气体分散板的配置方向上延伸的形状。此外，图示的成膜部26内的压力被保持为530mTorr，且台座262的温度被维持为室温。优选为过滤器264由多孔质的陶瓷构成。一般情况下，使用由多孔质的陶瓷构成的过滤器264时，可以以规定的角度将由气体或液体组成的流体均匀地供给到大面积的基板上。另一方面，图示的有机EL源部20的特征在于具有单一的原料容器部201，图示的原料容器部201连接在上游侧配管和下游侧配管上，上游侧配管是用于将载气导入原料容器部201的配管，如图所示，包含流量控制系统(FCS1)以及设在该流量控制系统(FCS1)前后的阀门V3、V4。下游侧配管构成切换器29的一部分。另外，原料容器部201被上下延伸的隔壁202划分为上游侧领域和下游侧领域，在隔壁202的下部上设有填充了有机EL原料的蒸发部203。再者，如前所述，在原料容器部201上设有加热器(未图示)。在此构成中，通过上游侧配管被导入的载气自原料容器部201的上游侧领域被导入到蒸发部203内，在加热器的加热作用下，在蒸发部203内被气化的有机EL原料(分子)和载气一起，经原料容器部201的下游侧领域，被导出到下游侧配管。与图1及图2同样，在原料容器部201上连接有切换器29。图3所示的切换器29，具有连接多个成膜部26、27等和有机EL源部(即原料容器部201)的配管系统及将载气供给到成膜部26的配管系统。具体地说，就是连接原料容器部201和成膜部26的吹出容器261的切换器29的配管系统，包括第1配管系统和第2配管系统，该第1配管系统包含阀门V5、V6以及孔口PRF1，一直延伸到与设在吹出容器261上的4张气体分散板263对应的供给口为止；该第2配管系统将设在外部的氙气、氩气等的载气源(未图示)直接导引到吹出容器261的2张气体分散板263上。其中，第2配管系统经阀门V1、流量控制系统FCS2以及孔口0RF2，延伸到与吹出容器261的气体分散板263对应的供给口。再者，在第1配管系统的ORF1和阀门V6之间，连接有将与载气同种的气体从外部导入的第3配管系统，该第3配管系统包含阀门V2、流量控制系统FCS3以及阀门V7。另外，在第1配管系统的阀门V5和V6之间，连接有将气化的有机EL原料供给到其他的成膜部(例如图1的27)的第4配管系统，该4配管系统包含陶门V8。此外，图示的孔口0RF1、2、3具备孔口和阀门，作为对气体压力进行调整控制的气体压力调整部进行工作。因此可知，图示的成膜装置具有在气化机构和吹出容器之间设有气体压力调整部的构成，气体压力调整部和吹出容器的供给口被配管连接。在将包含有机EL原料(分子)的载气供给到吹出容器261的第1配管系统中，如果将从孔口0RF1到吹出容器261的供给口之间的配管长度设为全部相同的话，可以使该有机EL原料(分子)均匀且同时到达玻璃基板30上。这种关系下，在图示例中，将吹出容器261内的有机EL分子气体供给口的数量设为2"个，用分支为2"个的配管连接这些供给口和孔口ORFl(n为自然数)。再者，通过将多个成膜部中的从孔口0RF1到吹出容器261的供给口之间的配管长度设为相等，可以在相同条件下，在多个成膜部上均匀地形成有机EL原料的膜。另外，仅有载气被供给到设在图3的上下两端部上的气体分散板263。再者，为了不使有机EL原料(分子)析出、附着在形成配管系统的管壁上，从原料容器部201到吹出容器261为止的第1配管系统的温度，被设定为高于有机EL原料供给中的原料容器部201的温度。在此，参考图1及图3，对成膜装置的动作进行说明。首先，图示的成膜装置的动作，与各成膜部26、27相关，可以分为成膜开始前、成膜时以及成膜停止后的动作。这里将成膜开始前、成膜时以及成膜停止后的动作分别作为模式1、模式2以及模式3进行说明。在成膜部26相关的成膜开始前的模式1中，阀门V1、V2、V3、V4、V7处于开启状态，阀门V6处于关闭状态，阀门V5、V8处于开启状态。因此，在模式1中，载气被从阀门VI经流量控制系统FCS1及孔口0RF2供给到吹出容器261，另一方面，载气被从阀门V2经流量控制系统FCS3、阀门V7以及孔口ORF1流入吹出容器261。这种状态下，吹出容器261内的压力以及玻璃基板30上的压力被控制到规定的压力。此时例如可以将吹出容器261内的压力控制为10Torr，将玻璃基板上的压力控制为lmTorr。再者，在模式l的状态下，因为阀门V3、V4处于开启状态，被导入到供给有机EL分子的原料容器部201中的载气，以阀门V3、流量控制系统FCS1、阀门V4的路径，被导入原料容器部201，由于阀门V6处于关闭状态，有机EL原料不被供给到成膜部26，而是经处于开启状态的阀门V5、V8被供给到其他的成膜部(例如27)。当然，在成膜装置整体的成膜开始前的模式中，阀门V5、V8也被设为关闭状态，有机EL原料也不能从原料容器部201供给到成膜部26、27，仅可以通过设在两成膜部上的配管系统，向其供给与载气同种的气体。在图3中，在成膜开始时，第1成膜部26的状态由模式1过渡到成膜时的模式2。在成膜时的模式2中，阀门V2、V7及V8处于关闭状态，阀门V1、V3、V4、V5、V6处于幵启状态。结果载气经阀门V1、流量控制系统FCS2以及孔口ORF2，被供给到吹出容器261的上下的供给口，并且在原料容器部201中气化的有机EL分子气体，通过以阀门V3、流量控制系统FCS1、阀门V4的路径被导入的载气，以阀门5、阀门6以及孔口0RF1的路径，被供给到吹出容器261的4个供给口。在该模式2中，与经阀门V2、流量控制系统FCS3、阀门V7以及孔口ORF1供给的载气同种的气体(流量f,)被停止。另一方面，为了将吹出容器261内的压力和腔内压力保持为一定，优选使将有机EL分子供给到吹出容器261的来自原料容器部201的载气流量，原则上与上述流量f,一致。即在模式1中，优选为阀门V5、V6以及孔口0RF1的路径中的输送气体流量，与和经阔门V2、流量控制系统FCS3、阀门V7以及孔口0RF1的路径供给的载气同种的气体流量f,相等。其次，参考图3对第1成膜部26相关的成膜停止时的模式3进行说明。从模式2的状态转换到模式3的状态时，将阀门V6设为关闭状态，将阀门V5、V8设为开启状态，同时将阀门V2、V7设为开启状态。即在模式3中，阀门V1、V2、V3、V4、V5、V7、V8处于开启状态，另一方面阀门V6处于关闭状态，来自原料容器部201的有机EL原料被供给到其他的成膜部(例如27)。如此，在模式3中，因为阀门V5、V8处于开启状态，包含有机EL分子的载气，以模式2中的流量f,被从原料容器部201—侧通到其他的成膜部。另一方面，通过使阀门V2、V7处于开启状态，使与载气同种的气体，以模式1中的流量&经孔口0RF1通到第1成膜部26的吹出容器261内。在与载气同种的气体的作用下，从在模式2中处于关闭状态的阀门6到吹出容器261为止的配管中的有机EL分子被吹出。因此，在成膜部26中，成膜停止时的有机EL分子的中断极其迅速。图4是表示本发明的其他实施方式的成膜装置系统的要部的立体图。在该实施例中，与图l的实施例同样，设置2台成膜部，但各成膜部26、27分别具备6个吹出容器。在图4中，对于和图1及图3的实施例对应的部分标注相同的参考数字。用图5对成膜部进行详细说明。如图4所示，在第1成膜部阵列(腔CHM1)中，延伸6个吹出容器，该6个吹出容器分别具有与玻璃基板的宽度相等的长度，且在它们在长度方向上被整列配置为相互平行邻接，玻璃基板30以规定的速度，在被配置在与上述长度方向相交的方向上的吹出容器群上方移动。第2成膜部排列(腔CHM2)也具有同样的构成，另外的玻璃基板30以与第1矩阵上不同的时间被供给到第2成膜部排列上，配置在两个矩阵上的吹出容器形成一对，以不同的时间将包含原料的载气从相同的原料供给部供给到吹出容器。当包含原料的载气被选择性地供给到一对吹出容器中的一方时，其上存在玻璃基板，此时包含原料的载气不被供给到一对吹出容器中的另一方，其上也不存在玻璃基板。使玻璃基板的供给、移动和向吹出容器对中的那一方供给包含原料的载气，与选择联动进行，经常使包含原料的载气供给到吹出容器对中的一方，且使其上存在基板，而决定时间。参考图5，对图4的实施方式的成膜装置系统的单一的成膜部阵列(腔)进行说明。图5所示为在玻璃等的基板30上依次形成有机EL膜而制造有机EL装置所用的单一成膜部阵列，这里在基板上依次形成6层膜。这种情况席，可以使用尺寸从730X920(mm)到3000X5000(mm)的基板。图示的成膜部具备被隔壁17划分而成的6个吹出容器26-1-26-6，以层叠的顺序，分别将包含有机EL材料的载气吹向上方的玻璃基板。这6个吹出容器26-1~26-6的内部的过滤器或喷淋板的延伸方向，被整列为相对于玻璃基板的输送方向相互平行。玻璃基板30-1、30-2以一定的间隔，从左向右通过6个吹出容器的上部，在各吹出容器26-1~26-6上，通过由各吹出部向图的上方喷出的有机EL原料形成有机EL膜。此时，在基板30-1、30-2和隔壁之间，以及基板30-l、30-2和吹出容器26-1~26-6之间保持规定的距离，基板30-l、30-2和隔壁之间的距离小于基板30-1、30-2和吹出容器26-l26-6之间的距离。从各吹出部向上方喷出的气体，经由吹出容器的侧壁和隔壁内面之间的空隙，沿着箭头所示的方向被排向下方。各吹出容器上连接有图3、图4所示的配管系统。因此，图5所示的成膜部排列(腔)，通过各配管系统被与未图示的其他的成膜部排列连接，通过各个切换器，分别对多个成膜部排列的各配管系统进行控制，可以并列处理2列的玻璃基板。在图5的实施例中，玻璃基板30-l、30-2的尺寸为2160mmX2540mm，沿着长度方向前进。吹出容器在玻璃基板前进方向上的吹出口的宽度为50mm，与其垂直方向上的吹出口的长度为2170mm，吹出容器的侧壁的宽度(厚度)为15mm，吹出容器的侧壁的表面和其两侧的隔壁的内面之间的间隔为30mm，因此，相邻隔壁的内面间的间隔为140mm，隔壁的厚度为15mm，成膜部排列(腔)在基板前进方向上的长度为945mm。将吹出容器顶面-基板间的距离设为20mm，将隔壁-基板间的距离设为2mm，将隔壁及吹出容器的温度分别设为350~450°C。成膜气氛压力为30mTorr，从吹出部喷出的含有原料的载气的吹出风速为3m/sec，含有原料的载气以0.1秒到达基板。从吹出部喷出的含有原料的载气的吹出流量以室温大气压换算为317cc/min，当把基板的送给速度设为1.0cm/sec时，基板通过1个吹出容器的时间为264秒，基板通过6个吹出容器的时间为341.5秒，有机EL原料的使用效率达到90%。参考图6可知，上方的图表，是表示分别配置在两个成膜部排列(腔)上的成对的吹出容器之间的切换循环的时间图，各吹出容器每264秒进行气体供给的切换。下方的时间图表示各个腔中的动作的循环，如上所述，在各腔中以341.5秒进行6层成膜，以其后的186.5秒迸行将完成成膜的基板从该腔内送出以及将新基板导入到该腔内的动作。合计5"秒完成1个循环。即以l个循环528秒(8分48秒)完成2张基板的6层成膜。返回到图3-5，将所有的吹出容器设为具有完全相同的构造，并且将其与图3所述的各自相同的配管系统连接，将流通的载气流量也设为相同。这种情况下，也可以对应有机EL分子的特性设定各吹出容器的温度。另外，优选通过原料容器部的温度控制成膜速度、厚度。另外，优选吹出容器由不锈钢制成，将各吹出容器的吹出部作为不锈钢过滤器，焊接到本体上。此外，优选用Al203等的催化剂效果低的钝态膜被覆吹出容器内面的全部。另外，具备多个成膜部的、进行参考图3说明的控制的本发明的成膜装置，无论是在成膜时及成膜停止时的任何一种模式中，因为向各成膜部通入流量完全相同的载气，所以Bl以将构成各成膜部的各吹出容器内的压力保持为一定。这种情况意味着可以防止吹出容器间的交叉污染。将6层所有的吹出容器设为同一尺寸，将吹出的载气流量也设为相同时，各层的期望膜厚度相同的情况下(在红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、电子块层，膜厚各为2010nrn)，可以将载气中的有机EL原料分子浓度设为相同，但对于膜的厚度大的层(在电子输送层、空穴输送层膜厚各为50nm)，需要与膜厚成比例，提高载气中包含的有机原料分子的浓度。存在困难时，对于膜厚大的层，需要釆取将吹出容器设为多个，或者增大吹出容器的开口宽度，或者增加载气的流量等对策。再者，如前所述，具备多个成膜部，并且通过时序性地切换该多个成膜部的模式，可以迅速地在有机EL装置上形成需要的多个膜，可以大幅改善吞吐能力，并且可以改善有机EL原料的利用效率。例如，通过将6层的有机EL材料膜切换到3台的成膜部进行成膜，当制造有机EL装置时，每隔6分钟左右就可以制成有机EL装置，此时的有机EL原料的利用效率可以提高到82%。如图4~图6所示，使用2台的成膜部排列进行成膜时，可以每隔8分钟左右进行6层成膜，材料的利用效率达到90%。这里将来自原料容器部的气化的有机EL原料在载气中的浓度(concentmtkm)保持为一定，对于制造具有目标特性的有机EL装置是极其重要的。换言之，有机EL原料在载气中的浓度在短时间内发生变化时，以分子单位长时间地将有机EL材料堆积到玻璃基板等上是不可能的。有机EL原料在载气中的浓度一定时，可以如下所述规定其必要浓度。首先，将6层的有机EL材料的分子量设为500时，各材料膜的单分子层的膜厚为0.7nm,其分子数为每平方厘米2.0X10E14(10的14次方)个。当把红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、电子块层的膜厚各设为20nm时，各层所需材料的分子数为每平方厘米大约6X10E15(10的15次方)个，因为在电子输送层、空穴输送层中膜厚各为50nm，各层所需的分子数为每平方厘米1.4X10E16(10的16次方)。将吹到玻璃基板上的载气流密度设为每平方厘米2.58X10E-3(10的负3次方)cc/sec时，吹到玻璃基板表面上的气体数密度变为每平方厘米6.96X10E16(10的16次方)分子/sec。在上述例中，因为玻璃基板以1.0cm/sec的速度从宽5cm的吹出口上方通过，所以向基板的各部分吹附气体的时间变为5秒，包含有机EL分子的载气流的5秒钟的气体分子数变为每平方厘米3.48X10E17(lt)的17次方)个。因为红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、电子块层中仅含有每平方厘米大约6X10E15(10的15次方)个该气体流中必要的有机EL分子；电子输送层、空穴输送层中仅含有每平方厘米1.4X10E16(10的16次方)的该气体流中必要的有机EL分子，因此，对于红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、电子块层，需要使载气中含有的有机EL原料分子的浓度达到大约1.7%，对于电子输送层、空穴输送层，需要使载气中含有的有机EL原料分子的浓度达到大约4%。这些浓度是可以通过将各种材料在500'C以下的温度下进行加热而能够充分达到的浓度。各层所需的浓度，可以通过变化吹附到玻璃基板上的载气流的流速、流量、密度、玻璃基板的移动速度、吹出部开口的宽度等设为不同的值。另外，载气中的有机EL原料分子的浓度，可以通过使该原料蒸发的加热温度和蒸发部的压力等进行控制。其结果，根据本成膜装置系统，可以极高精度且高速地对规定膜厚的成膜进行控制。图7所示为用Ar作为载气，用已知的有机EL原料作为H材料时的浓度。在图7中，曲线C1表示将200mg的H材料填充的蒸发皿中，在250。C的温度下保持5分钟后，加热到47(TC(右刻度)使H材料气化时的载气中的H材料浓度变化(左刻度)。再者，实验是在保持到75Torr压力下的原料容器部内，设置蒸发皿，供给10sccm流量的载气而进行的。从该图可知，可以将9000ppm以上的浓度维持100分钟以上。如此可以在成膜装置内，长时间地均匀形成极薄的H材料膜。图8是表示有机EL原料(此处为H材料)的蒸发活动的温度依存性的图，即在将原料容器部的压力保持为一定的状态(即30Torr)下，使H材料气化的温度在43(TC45(TC的范围内变化时的H材料的浓度变化。在本例中，表示的是向蒸发皿中填充200mg的H材料，以10sccm的流量供给载气时的情况。图8所示的曲线C3表示在保持为30Torr压力的状态下，蒸发皿被加热到43(TC时的特性，可以长时间地保持5000ppm左右的浓度，即，直到填充的有机EL原料变无为止，几乎可以保持一定的浓度。另外，曲线C4表示在保持在30Torr压力的状态下加热到44(TC时的浓度变化，即使在这种情况下，也可以将9000ppm的浓度维持2小时以上的时间。再者，曲线C5表示在30Torr压力的状态下加热到450'C时的浓度变化，可以达到13000ppm的浓度，可以将该浓度保持到实质上填充的有机EL原料实质上被蒸发皿全部气化为止。图9所示为有机EL原料即H材料的蒸发活动的压力依存特性。在本例中，蒸发皿被保持在44(TC的温度，以10sccm的流量向该蒸发皿供给作为载气的Ar。此外，与图7及图8同样，向蒸发皿中填充200mg的H材料。曲线C6、C7及C8分别表示将原料容器部(蒸发皿的气氛)保持在75Torr、30Torr及20Torr的状态时的H材料的蒸发特性。从这些曲线C6C8也可以明知，随着压力变小，载气中的H材料的浓度变高，另外，无论在何种情况下，都可以将载气中的H材料的浓度保持为一定。图10所示为将蒸发皿的温度设为一定的状态下H材料的浓度和压力的关系。此外，在图10中用于参考，取上刻度为Torr，下刻度为1/P(l/Torr)。在图10中，特性C9表示将H材料加热到43(TC时的压力和载气中的H材料的浓度的关系，同样，特性C10及C11分别表示将H材料加热到440。C及460。C时的特性。这里，用y表示图IO的纵轴的浓度，用x表示横轴的下刻度的(1/P)时，特性C9可以用y二16.991x—0.0264的直线进行近似，同样，特性C10及Cll可以分别通过y=24.943x+0.1053的直线及y=59.833x+0.0314的直线进行近似。对于任何的温度，都可以认为表示特性的直线中的y切片小，它们的直线表示x和y的比例关系。此处，相对于绝对温度的倒数(1/T)(10、1/K)，将图10的浓度y的对数Plot时，可以获得图11的特性C12、C13及C14。此处特性C12表示10Torr中的Plot结果，同样，特性C13及C14分别表示MTorr及30Torr中的Plot结果。从图11可知，在x-y面中，表示x和y的关系的曲线的斜率，与压力无关几乎保持一定。通过y二6E+13e-".船x、y二3E十13e.2,983x、y=2E+13e—21'953x进行近似。此处x为可以用绝对温度表示的1/T的值。由上述公式及特性C12-C14可知，特性C12C14的斜率分别表示在10Torr、20Torr及30Torr的一定的压力状态下的活性化能量Ea，其值分别为U93eV、1.894eV及1.892eV。另一方面，H材料的蒸发量，即H材料浓度可以用下述公式(1)表示。V二(Ko/P)Xe德(1)其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、k表示波耳兹曼常数(=8.617Xl(T5eV/K)、Ea表示活性化能量(eV)，用公式(l)表示的H材料浓度，应该与由图ll求得的公式，gPy=6E+13e-21965x、y=3E+13e-2L983x、y二2E+13e—21，相等，所以从公式(l)和由图11获得的公式，通过给出温度及H材料浓度，可以求出常数Ko。相反，通过这些常数Ea、Ko，可以对H材料的蒸发特性进行规定。表1、2及3分别表示10、20及30Torr压力下，10cc/min中的H材料浓度及Ko的值。[表1]10Torr的压力下，10cc/min中的H材料浓度<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[表2]20Torr的压力下，10cc/min中的H材料浓度<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>在表13中，求出了H材料的常数Ko，但材料不明的情况下，可以获得特定温度下的浓度的测定值，再者，如果从图ll所示的有机EL原料浓度的温度依存性可以获得活性化能量Ea的话，通过决定常数Ko的值，将该值与表1~3进行比较，可以特定材料为H材料。同样，对于作为C材料公知的有机EL原料，也进行了与H材料相同的评估，其结果与H材料相同。艮口，图12所示为在将所述的蒸发皿加热到37(TC的状态下，对载气中的C材料浓度的时间性变化进行测定的结果。从图12也可以明知，将C材料加热到370。C，使压力变化时，随着压力变低，可以调高载气中的C材料浓度，且C材料浓度实质上为一定。即，在保持为370。C、75Torr的状态下，可以长时间地保持8000ppm左右的浓度。以下，随着使压力降低到30Torr、20Torr、10Torr，载气中的C材料浓度变高，且高浓度的时间缩短。这意味着通过使压力降低，可以迅速地堆积C材料膜。同样，在加热到33CTC及35(TC的状态下，即使变化压力，也能够获得与图12同样的结果。再者，对于C材料，在将压力保持为一定(例如30Torr)的状态下，使温度在43(TC45(TC之间变化时，也可以获得与H材料相关的图8同样的结果。考虑到这一点，对将C材料的温度设为一定的状态下的压力和浓度的关系进行了测定，如图13所示，结果可以获得表示330°C、35(TC及370"的各温度下的浓度和压力关系的特性Cml、Cm2、Cm3。各特性CmlCm3可以分别通过y=11.51x—0細9、y=19.575x+0,1238及y=51.568x+0.0113进行近似。对于C材料，CmlCm3的所有的y切片小，可以认为x和y具有比例关系。另外，与和H材料关联的图ll相同，对于C材料，也计算将压力设为一定，各压力为10Torr、20Torr、30Torr时的浓度和温度(1/T)(10、1/K)的关系，可以获得相对于10Torr、20Torr及30Torr的各压力的图14所示的特性Cm4、Cm5、Cm6。与H材料的情况相同，可以认为x-y平面中的Cm4Cm6的斜率，不受压力的影响而几乎保持一致。由压力10、20及30Torr中的特性Cm4、Cm5、Cm6，求出活性化能量Ea时，其值为1.253(eV)、1.250(eV)及1.249(eV)。另一方面，通过公式(l)，由压力10Torr中的温度、C材料浓度求出常数Ko时，结果如表4所示。另夕卜，20Torr及30Torr中的温度及C材料浓度求出常数Ko时，结果如表5及表6所示。[表4]10Torr的压力下，10cc/min中的C材料浓度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>20Torr的压力下，10cc/min中的C材料浓度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>30Torr的压力下，10cc/min中的C材料浓度<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>这种情况意味着当温度、浓度、压力已知的情况下，求出决定蒸发量的公式(1)的常数K0，可以由KO值对材料进行特定。换言之，为了进行有效气化及对气体供给进行控制，将温度设为250~500°C，优选设为300~450°C;为了能够进行有效成膜，将浓度设定为0.110%，将压力设为10的负3次方Torr以上，如果是具有满足决定蒸发量的公式(l)的Ea值及常数Ko的材料，意味着可以实际应用于通过载气输送进行的成膜。比较表1~表3和表4~表6可知，在Ko值中H材料和C材料存在很大的差异。即与H材料的Ko值为1014的量级相比，C材料的Ko值为1011的级别。另外，因为可以推测Ko值具有材料固有的值，所以通过各种材料的Ko值可以对材料进行特定。艮P，如表1表3所示，从10Torr到30Torr范围内的H材料的Ko值，分布在5.710X10、。/Q.Torr)6.211X10"(。/。'Torr)的范围。另一方面，如表4表6所示，从10Torr到30Torr范围内的C材料的Ko值，分布在2.670X10"(。/o.Torr)3.635X10"(o/o.Torr)的范围。同样，对于H材料及C材料以外的各种材料，也可以通过Ko值进行特定。如此可知本发明的特征之一在于通过Ko值对材料进行特定。再者，如果可以获得有机EL原料的参数Ea和Ko，可以使用公式(l)决定制造条件。详细地说，就是一般情况下，制造有机EL装置时，成膜有机EL原料的成膜条件受到各种制约。例如，如果能够确定单位时间的制造量，可以确定单个膜的成膜时间，结果可以确定载气中的有机EL原料的浓度。另外，如果决定有机EL原料，需要不进行分解而使其气化，因此加热温度也受到制约。因为制造装置的能力，使能够达到的真空度受到限制，因此也有受到气化机构内的压力制约的情况。如此，当受到成膜条件的制约时，将受到制约的成膜条件规定在制约内，由规定的成膜条件和公式(l)，可以确定其他的条件。举例进行说明的话，浓度的下限由生产量决定，另外气化温度的上限由有机EL原料的特性决定，此时分别将浓度和温度规定在制约内，代入公式(l)求解，可以获得需要的压力值。产业上的应用可能性根据本发明，可以提供一种适用于用载气进行成膜的成膜用材料。另外，本发明可以由实验数据求出对有机EL原料的特性进行规定的参数，通过该参数推定出有机EL原料，因此对于有机EL原料的实验及研究，是极其有效的。再者，使用该参数，可以决定制造有机EL装置时的条件。本发明并不局限于有机EL原料，还可以适用于其他的各种成膜用材料。权利要求1.一种成膜用材料，是蒸发量V(％)用下述公式表示的成膜用材料，V＝(Ko/P)×e-Ea/kT其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，该成膜用材料的特征在于，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值进行特定。2.根据权利要求1所述的成膜用材料，其特征在于，在将压力P设为一定的状态下，所述活性化能量Ea根据表示使温度T变化时的载气中的材料浓度的特性获得，并且，所述常数Ko根据特定温度的特定的材料浓度决定。3.根据权利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常数Ko在5.700X1014(%'Torr)~6.220X]0"(。/。'Torr)的范围。4.根据权利要求1或2所述的成膜用材料，其特征在于，所述常数Ko在2.600XlO^o/o'TorrH^^X10"(o/。.Torr)的范围。5.—种推定方法，是对未知的成膜用材料进行推定的推定方法，其特征在于，根据载气中的材料浓度的测定结果，获得表示该未知材料的蒸发量V(。/。)的下述公式中的活性化能量Ea，V二(Ko/P)Xe德其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，并且，根据特定温度的特定的材料浓度算出所述常数Ko，根据算出的常数Ko的值推定未知的成膜用材料。6.—种成膜用材料，其特征在于，将温度定为250'C50(TC，将气氛中的浓度定为0.1%~10%，将压力定为10的负3次方Torr以上，并且具有满足用气氛中的材料浓度V(。/。)表示蒸发量的下述公式的活性化能量Ea及常数Ko，V=(Ko/P)Xe-Ea/kT其中，Ko表示常数(。/crTorr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度。7.根据权利要求6所述的成膜用材料，其特征在于，将温度定为300。C450。C。8.根据权利要求6或7所述的成膜用材料，其特征在于，气化并通过载气进行输送。9.一种成膜方法，其特征在于，使权利要求6或7所述的成膜用材料在载气中蒸发到0.1%~10%的浓度，将所述载气输送到基板附近，在所述基板上形成所述成膜用材料的膜。10.—种成膜用材料的解析方法，是用于在气化机构内气化并用载气输送到基板附近在所述基板上成膜的成膜用材料的解析方法，其特征在于，测定在将气化所述成膜用材料的温度定为一定时的所述气化机构内的压力和所述载气内的所述成膜用材料的浓度的关系，进行第1判定，即判定用x表示所述压力的倒数，用y表示所述浓度时，x和y实质上是否具有比例关系，将所述气化机构内的压力定为一定，测定所述浓度和所述温度的关系，在将所述温度的倒数定为x，将所述浓度的对数定为y时，进行第2判定，即判定表示x-y平面内的所述浓度和所述温度的关系的曲线的斜率，是否不依存于所述压力而实质上为一定，在所述第1判定及所述第2判定均为肯定时，所述成膜用材料在所述载气内的浓度可以用下述公式表示V二(Ko/P)Xe摇其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度。11.一种成膜用材料的解析方法，是用于在气化机构内气化并用载气输送到基板附近在所述基板上成膜的成膜用材料的解析方法，在所述载气内的所述成膜用材料的浓度用下述公式表示时，V二(Ko/P)Xe摇其中，Ko表示常数(。/。'Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度，根据将所述气化机构内的压力定为一定时的气化所述成膜用材料的系，确定所述式(l)的Ea，根据该Ea值和所述气化机构内的压力和所述浓度算出Ko。12.—种成膜方法，是在气化机构内气化成膜用材料，通过载气将该气化后的成膜材料输送到基板附近，在该基板上进行成膜的成膜方法，其特征在于，在将所述气化机构内的压力定为P，将气化所述成膜用材料时的温度定为T，将所述载气内的成膜用材料的浓度定为V时，P、T、V中的任1个值，根据其他2个值和下述公式决定，V二(Ko/P)Xe德其中，Ko表示常数(。/。.Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度。全文摘要在对有机EL原料等的成膜用材料进行推定的方法中，通过所述常数Ko的值和所述活性化能量Ea的值，对蒸发量V(％)可以用下述公式V＝(Ko/P)×e^-Ea/kT表示(其中，Ko表示常数(％·Torr)、P表示压力(Torr)、Ea表示活性化能量(eV)、k表示波耳兹曼常数、T表示绝对温度)的成膜用材料进行特定。文档编号H01L51/50GK101258260SQ20068003230公开日2008年9月3日申请日期2006年8月29日优先权日2005年9月6日发明者中山尚三,伊藤日艺,大见忠弘申请人:国立大学法人东北大学