固体电解电容器的制作方法

专利名称：：固体电解电容器的制作方法
技术领域：
：本发明涉及具备被巻绕的电容器元件的固体电解电容器。技术背景公知一种将钽(Ta)、铌(Nb)、铝(Al)等具有可阀作用的金属用作电极的电容器。电解电容器和其他的电容器相比，因为既是小型又是大容量所以被广泛地应用。在电解电容器中，特别是以聚吡咯系、聚噻吩系、聚呋喃系、聚苯胺系等的导电性高分子或者TCNQ(7、7、8、8-亍卜，、>7乂年/^乂夕y)配位化合物等用作其电解质的巻绕式固体电容器。为了寻求达到不对固体电解电容器进行大型化而进一步大容量化的目的，提出一种通过在阴极的表面形成由氮化钛等金属氮化物构成的被膜、从而提高静电电容的方法。在此，对以往的巻绕式固体电解电容器中的被巻绕的电容器元件进行说明。图5是示意性地表示以往的巻绕式铝固体电解电容器中的被巻绕的电容器元件的结构的一例的立体图。另外，在图5中，为了明示被巻绕的电容器元件的内部层叠结构，示出解开了终端部的巻绕的状态。电容器元件l包括进行了蚀刻处理(电解研磨处理)和合成处理并作为阳极2的铝箔；进行了蚀刻处理并作为阴极3的铝箔；作为硬质被膜8的TiN蒸镀膜；防止铝箔2和铝箔3接触的分隔纸4a、4b;形成在铝箔2和分隔纸4b之间以及TiN蒸镀膜和分隔纸4a之间并作为固体电解质层的聚噻吩系导电性高分子层(未图示)。电容器元件l还包括保持巻绕状态的嵌入纸带5;分别连接阳极2和阳极3的阳极用引线接头端子6a和阴极用引线接头端子6b;分别连接阳极用引线标记端子6a和阴极用引线接头端子6b的阳极用引线7a和阴极用引线7b。电容器元件1是经过以下过程来制造的。在铝箔上进行蚀刻处理(电解研磨处理)和合成处理后制造阳极2。制造了阳极2后，在阳极2上设置阳极用引线接头6a。还有，在铝箔上进行蚀刻处理后制造阴极3。制造了阴极3后，作为硬质被膜8，在阴极3的表面上形成TiN蒸镀膜。然后，在阴极3上设置阴极用引线接头6b。依次层叠分隔纸4a、阴极2、分隔纸4b以及形成了硬质被膜8的阴极3后，将该层叠体巻绕成圆柱状，并用嵌入纸带5进行固定。接着，在含有40质量％60质量％的对甲苯磺酸亚铁的乙醇溶液(氧化剂溶液)中混入了3、4-亚乙基二氧噻吩的调制液中浸渍被巻绕的层叠体。接着，加热被巻绕的层叠体使3、4-亚乙基二氧噻吩热聚合。由此，在铝箔2和分隔纸4b之间以及硬质被膜8和分隔纸4b之间形成聚噻吩系导电性高分子层(固体电解质层)。最后，将阳极用引线7a连接到阳极用引线接头6a，将阴极用引线7a连接到阳极用引线接头6b。在上述的电容器元件1中，有以下问题。在形成电容器元件1时的层叠体的巻绕过程中，因为在作为硬质被膜8而形成了氮化钛蒸镀膜的阴极3上施加拉力或扭力等应力，故氮化钛蒸镀膜发生裂纹，结果增加了电容器元件l的漏电流。另外，在形成作为固体电解质层的聚噻吩系导电性高分子层时的层叠体浸渍在调制液的过程中，氮化钛蒸镀膜被调制液浸蚀，结果增加了电容器元件1的漏电流。作为解决上述问题的方法，提出以下方法取代由TiN蒸镀膜等单金属化合物构成的硬质被膜，在阴极的表面上形成由氮化铝钛(TiAIN)等复合金属化合物构成的硬质被膜，以抑制硬质被膜的浸蚀或裂纹所引起的电容器元件的漏电流增加(参见下述专利文献l)。专利文献l:日本特开2004-221512号公报在阴极的表面上形成由氮化铝钛(TiAIN)等复合金属化合物构成的硬质被膜时，由复合金属化合物构成的硬质被膜的硬度比由单金属化合物构成的硬质被膜的硬度大。因此，不易发生硬质被膜的裂纹和硬质被膜的浸蚀。由此，可以抑制电容器元件的漏电流的增加。可是，如果硬质被膜的硬度变大，则和构成阴极的铝箔的硬度差比以往的硬度差还大。由此，阴极和硬质被膜的密接性降低，因为形成电容器之际巻绕时施加的应力，硬质被膜容易从阴极剥离。其结果是，电容器的漏电流增加。
发明内容本发明正是为了解决上述课题而提出的，其目的在于在作为形成于并与固体电解质层接触的硬质被膜而设置由复合金属化合物构成的硬质被膜的固体电容器中，抑制硬质被膜的剥离，并抑制伴随着剥离的漏电流的增加。为了达到上述目的，本发明中的技术方案1所记载的发明是一种固体电解电容器，其具备由以下部分巻绕而成的电容器元件，即阳极；与上述阳极对置配置并由铝构成的阴极；形成于上述阴极的表面的硬质被膜；设置于上述硬质被膜和上述阳极之间的分离器；上述两电极和上述分离器之间还存在有固体电解质层；其特征在于，还包括形成于在上述阴极和上述硬质被膜之间的中间层，上述硬质被膜由铝和钛以及至少一种非金属元素的化合物构成，上述中间层包含从由铝和钛构成的金属元素组中选择出的至少一种元素。『中间层』可以是由一种物质构成的一层膜(以下也称为『单层膜』)，也可以是物质的构成沿着制膜方向(阴极表面的垂直方向)变化的膜(以下称为『物质变化膜』)，还可以是由互不相同的物质构成并被层叠的多层膜(以下称为『层叠膜』)。『硬质被膜』是形成在阴极上的最上层，与固体电解质层接触。另外，中间层由不同于硬质被膜的物质构成。在此，『不同于硬质被膜的物质』是指不包括构成硬质被膜的多种元素中的特定的元素的物质；包括与构成硬质被膜的多种元素不同的元素的物质；虽然仅包含构成硬质被膜的所有种类的元素但那些元素的组成比不同的物质。在中间层是物质变化膜时，是指构成垂直于制膜方向的任意平面内的中间层的物质和构成硬质被膜的物质不同。另外，在中间层是层叠膜时，是指构成层叠膜的各层由不同于硬质被膜的物质构成。如果为上述构成，则因为硬质被膜由包括铝和钛的化合物(复合金属化合物)构成，所以硬度比中间层还要高。通过在硬质被膜和阴极之间介入包括至少一种构成硬质被膜的金属元素的中间层，从而可以提高阴极和硬质被膜的密接性。其结果是，可以抑制硬质被膜相对于阴极的剥离，还6可以抑制漏电流的增大。另外，所谓硬质被膜相对于阴极的剥离是指阴极和中间层的剥离以及中间层和硬质被膜的剥离。技术方案2所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述中间层是由一种物质构成的单层膜，上述中间层的硬度比上述硬质被膜的硬度还小。如果是该构成，则可以利用中间层的形状变化来缓和制造过程的巻绕时施加在硬质被膜上的应力。由此，可以很好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。技术方案3所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述中间层包括由相互不同的物质构成的多层膜，上述多层膜各自的硬度比上述硬质被膜的硬度还小。如果是该构成，则可以利用构成中间层的多层膜的形状变化，阶段性地缓和巻绕时施加在硬质被膜上的应力。因此，不会在中间层产生裂纹，可以良好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。技术方案4所记载的发明的特征在于，在技术方案3所记载的发明中，构成上述多层膜的每一层的物质的硬度超过构成上述阴极的物质的硬度，且低于构成上述硬质被膜的化合物的硬度，上述多层膜按照从上述阴极侧向上述硬质被膜侧的硬度上升顺序倾斜。根据该构成，可以提高中间层和阴极的密接性、中间层内部的各膜的密接性以及中间层和硬质被膜的密接性。由此，可以更好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。技术方案5所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，构成上述硬质被膜的上述化合物包括从由碳、氮、硼以及氧构成的组中选择出的至少一种非金属元素。根据该构成，硬质被膜成为介电常数大且硬度大的物质。由此，可以提高电容器电容，并且可以抑制制造过程中的硬质被膜的侵蚀。技术方案6所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述中间层由铝、钛、或从铝及钛构成的组中选择出的至少一种金属元素、和由碳、氮、硼元素以及氧构成的组中选择出的至少一种非金属元素的化合物构成。根据该构成，因为可以很好地提高中间层和阴极的密接性以及中间层和硬质被膜的密接性，所以可以更好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。技术方案7所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述中间层仅由构成上述硬质被膜的多种元素中的一部分元素构成。根据该构成，因为构成硬质被膜的物质的晶格常数和构成中间层的物质的晶格常数相近，所以那些界面上的结合力变大，且密接性提高。由此，可以很好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。作为上述构成，例如在构成硬质被膜的物质是Tia25A1。.75N时，可以举例说明构成中间层的物质是Al、Ti、A1N、TiN或者Tio.5Alo.sN的情况。另外，在中间层是层叠层，构成硬质被膜的物质例如是Ti。.25Al。.7sN时，可以举例说明构成中间层的多层膜的各物质是A1、Ti、A1N、TiN或者TiQ.5A1Q.5N的任意一种的情况。技术方案8所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，构成上述硬质被膜的上述化合物是氮化铝钛。根据该构成，可以很好地抑制硬质被膜的裂纹的发生等。还有，可以很好地抑制制造过程中的侵蚀。这是因为如果硬质被膜是氮化铝钛，则与是和氮以外的非金属元素的化合物时相比，硬度更大。技术方案9所记载的发明的特征在于，在技术方案8所记载的发明中，上述中间层由氮化钛构成。根据该构成，可以更好地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。这是因为构成中间层的氮化钛的硬度比构成硬质被膜的氮化铝钛的硬度还小，并且中间层的晶格常数和硬质被膜的晶格常数相近，可以用中间层来缓和巻绕时施加在硬质被膜上的应力，并且中间层和硬质被膜的界面的结合力变大，可以提高密接性。技术方案10所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述阴极由从铝、钽、以及铌构成的组中选择出至少一种元素构成。根据该构成，因为阳极具有可阀作用，所以成为高性能的固体电解电容器。技术方案11所记载的发明的特征在于，在技术方案1所记载的发明中，上述固体电解质层由聚噻吩系导电性高分子和聚呋喃导电性高分子以及聚吡咯导电性高分子、聚苯胺系导电性高分子或者TCNQ配位化合物构成。根据该构成，因为固体电解质的导电性变高，所以ESR特性(等效串联电阻特性)提高。因此，成为高性能的固体电解电容器。(其他构成)[关于阳极]作为构成阳极的物质，只要是具有可阀作用的金属即可。作为可阀作用的金属，举出例如铝、钽以及铌。优选通过电解研磨处理、化学研磨处理等使阳极的表面粗糙化。这是因为这种情况下有效表面积增加、则电容器电容也增加。还有，在阳极的表面上进行阳极氧化等合成处理。[关于阴极〗优选通过电解研磨处理、化学研磨处理等使阴极的表面粗糙化。这种情况下，有效表面积增加，还利用粗糙化引起的固着效果(anchoreffect)，提高阴极和中间层之间的密接性。由此，可以间接地抑制硬质被膜相对于阴极的剥离。[关于硬质被膜]优选硬质被膜由铝(Al)和钛(Ti)等必需的金属成分和从氮(N);碳(C);硼(B)及氧中选出的一种以上的非金属成分的化合物构成，且其硬度较高。更优选的是，构成硬质被膜的物质是铝和钛的氮化物、碳化物、碳氮化物、硼化物、氮碳化物、碳氮氧化物。更优选的是，构成硬质被膜的物质是氮化铝钛。另外，在构成硬质被膜的化合物中，作为金属成分，也可以含有铝以及钛以外的金属元素。还有，作为非金属成分，也可以含有氮(N)、碳、硼以及氧以外的非金属元素。作为硬质被膜的形成方法，可以釆用真空蒸镀法、PVD法、CVD法等。作为PVD法举出例如离子镀膜法以及溅射法。还有，作为CVD法，举出例如热CVD法、等离子CVD法、光CVD法、激光CVD法。在为了提高耐磨耗性以及耐热性而形成铝原子比较高的硬质被膜的过程中，优选采用PVD法。还有，从生产率的观点出发，如果用PVD法来形成硬质被膜的话，则因为可以提高生产率，所以是优选的。更优选的是，作为PVD法，采用AIP法(弧光离子镀膜)法和反应性溅射法。[关于中间层]为了缓和制造过程中的巻绕时的应力，优选中间层的膜厚为O.lpm以上，但为0.3pm以上是更优选的。另一方面，如果中间层的膜厚过厚，则在电容器元件的巻绕时在中间层易发生裂纹，无法实现长寿命化。因此，优选中间层的膜厚为20)im以下，更优选的是10nm以下。在中间层的形成过程中，可以采用与硬质被膜的情况同样的形成方法。在中间层为层叠膜时，让膜材料、膜材料的供给量、制膜温度、制膜速度等制膜条件变化，依次层叠各膜。还有，在中间层为物质变化膜时，使制膜条件按时变化，连续地进行膜构成元素的堆积。[关于固体电解质层]作为固体电解质，优选聚噻吩系导电性高分子、聚呋喃系导电性高分子、聚吡咯系导电性高分子、聚苯胺系导电性高分子、TCNQ配位化合物，但本发明并未限于此。发明的效果根据本发明，通过提高硬质被膜与构成阴极的铝箔的密接性，从而可以抑制硬质被膜的剥离，其结果是，可以抑制电容器元件的漏电流的增加。还有，与以往的固体电解电容器相比，可以进一步提高大容量化、低LC、耐热化。图1是示意性地表示本发明的固体电解电容器中的电容器元件的一例的立体图。图2是示意性地表示本发明的固体电解电容器的一例的剖面图。图3是示意性地表示本发明的固体电解电容器中的阴极侧的结构体的一例的剖面图。图4是用于说明划痕试验的说明图。图5是示意性地表示现有的固体电解电容器中的电容器元件的立体图。图中l一本发明的电容器元件，2—铝箔(阳极)，3—铝箔(阴极)，4a—分离器，4b—分离器，5—嵌入纸带，6a—阳极用引线接头端子，6b一阳极用引线接头端子，7a—阴极用引线，7b—阳极用引线，8—硬质被膜，9一铝壳体，10—密封用橡胶衬垫，ll一盖板，12a—阳极端子，12b一阴极端子，13—阴极结构体，14一金刚石刀具，18—TiN膜(中间层)，28—TiAiN(硬质被膜)。具体实施方式以下详细说明本发明，但本发明对以下的最佳方式没有任何的限定，在不变更其主旨的范围内可以进行适当的变更后实施。图1是示意性地表示本发明的固体电解电容器中的电容器元件的一例的立体图。图2是示意性地表示本发明的固体电解电容器的一例的剖面图。图3是示意性地表示阴极一侧的剖面图。另外，图1中为了明示被巻绕的电容器元件的内部层叠结构而示出解开终端部的巻绕的状态。在以下的描述中，参照图4和图5，对本发明的固体电解电容器进行说明。本方式的固体电解电容器如图2所示，包括以下部分铝壳体9;配置于铝壳体9内部的电容器元件1;将电容器元件1密封在铝壳体9内部的密封用橡胶衬垫10;被固定在铝壳体内，并覆盖密封用橡胶衬垫10的上方的盖板11;分别连接电容器元件1的阳极用引线接头端子6a和阴极用引线接头端子6b，并贯穿盖板而露出到表面的阳极端子12a和阴极端子12b。电容器元件1如图1所示，包括分离器4a、阳极2、分离器4b以及阴极侧层叠体13。在分离器4a和阳极2之间以及分离器4b和阴极侧层叠体13之间，形成有固体电解质层(未图示)。电容器元件1被巻绕，并用嵌入纸带5进行固定。阴极侧层叠体13如图1和图3所示，包括-阴极3、形于成阴极3表面的中间层18和形成于中间层18表面的硬质被膜28。还有，阳极用引线接头端子6a被连接到阳极2，阳极用引线6b被连接到阳极用引线接头端子6b。另一方面，阴极用引线接头端子6b被连接到阴极3，阴极用引线7b被连接到阴极用引线接头端子6b。另外，阳极用引线7a的前端部和阴极用引线7b的前端部分别是图2中的阳极端子12a和阴极端子12b。本方式的固体电解电容器经过以下的过程来制作。在铝箔上进行蚀刻处理(电解研磨处理)和合成处理后，制作阳极2。制作了阳极2后，将阳极用引线接头6a连接到阳极2。还有，在未进行蚀刻处理(电解研磨处理)的光滑的铝箔(阴极)3的表面上应用AIP法，如图3所示那样形成膜厚0.5pm的TiN膜(中间层)18。进而，应用AIP法，在TiN膜18的表面上如图3所示那样形成膜厚lpm的TiAlN膜(硬质被膜)28。然后，将阴极用引线接头6a连接到光滑的铝箔3上。依次层叠了分隔纸4a、阳极2、分隔纸4b、形成了TiAlN膜28以及TiN膜18的阴极3后，将该层叠体巻绕成圆柱状后，用纸带5固定。在被巻绕的层叠体上进行切口合成和28(TC的热处理。热处理后，将被巻绕的层叠体浸渍调制液中，该调制液是在含有60质量％对甲苯磺酸亚铁的乙醇溶液(氧化剂溶液)中混入3、4-亚乙基二氧噻吩而调制成的调制液。接着，加热被巻绕的层叠体，使3、4-亚乙基二氧噻吩热聚合。由此，在铝箔2和分隔纸4b之间以及TiAlN膜19和分隔纸4b之间形成作为固体电解质层的聚噻吩系导电性高分子层(未图示)。接着，将阳极用引线7a连接到阳极用引线接头端子6a，将阴极用引线7a连接到阴极用弓i线接头端子6b。接着，如图5所示，将密封用橡胶衬垫10插入电容器元件1中，收纳固定在铝壳体9内后，通过对铝壳体9的开口部进行横向拉深和巻边(ciM)而进行密封，并进行蚀刻处理。然后，将塑料制的盖板ll插入到电容器元件1的巻边面，并对电容器元件1的阳极用引线7a和阴极用引线7b进行冲压加工和弯曲加工，形成阳极端子12a和阴极端子12b。经过以上的过程完成固体电解电容器。实施例(实施例1)和以实施上述发明的最佳方式说明过的固体电解电容器一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样的制成的固体电解电容器在以下的描述中称为『本发明电容器Al』。本发明电容器Al的额定电压为6.3V，额定电容为220nF，外形为直径6.3mm、高度6,0mm的圆柱形状。另夕卜，下述的实施例24以及比较例12中说明的各固体电解电容器的额定电压、额定电容以及外形和本发明电容器Al—样。还有，另外制作构成与被用于本发明电容器A1中的的阴极侧层叠体同样的20个层叠体。在此，所谓阴极侧层叠体是指由硬质被膜、中间层和阴极构成的3层结构的层叠(实施例2)除了将被电解研磨处理过的铝箔作为阴极使用的特征以外，和上述实施例1的情况一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样制成的固体电解电容器在以下的描述中称为『本发明电容器A2』。还有，另外制作20个具有与本发明电容器A2中的阴极侧层叠体同样构成的层叠体。(实施例3)除了以下特征以外，即将被电解研磨处理过的铝箔作为阴极使用，作为硬质被膜形成膜厚0.6pm的TiAlN膜，作为中间层形成膜厚0.5)am的氮化钛(TiN)，和上述的实施例1的情况一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样的制成的固体电解电容器在以下的描述中称为『本发明电容器A3』。还有，另外制作20个具有与本发明电容器A3中的阴极侧层叠体同样构成的层叠体。(实施例4)除了将被电解研磨处理过的铝箔作为阴极使用、作为硬质被膜形成膜厚lpm的TiAlN膜、作为中间层形成了膜厚0.02pm的氮化钛(TiN)等特征以外，和上述的实施例1的情况一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样制成的固体电解电容器在以下的描述中称为『本发明电容器A4』。还有，另外制作20个具有与本发明电容器A4中的阴极侧层叠体同样构成的层叠体。(比较例1)为了和上述的实施例14进行比较，除了不形成中间层以外，和上述的实施例1的情况一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样制称的固体电解电容器在以下的描述中称为『比较电容器XI』。还有，另外制作20个具有与比较电容器X1中的阴极侧层叠体同样构成的层叠体。另夕卜，比较电容器X1中的阴极侧层叠体和本发明电容器A1A4不同，不具有中间层，是由硬质被膜和阴极构成的2层结构的层叠体。为了和上述实施例14进行比较，除了将被电解研磨处理过的铝箔作为阴极使用、不形成硬质被膜和中间层以外，和上述的实施例1的情况一样，制作了20个固体电解电容器。另外，将这样制成的固体电解电容器13在以下的描述称为『比较电容器X2』。(试验)对于上述的本发明电容器A1A4和比较电容器XI和X2在以下的条件下，作为电气特性的测定，进行了有效电容(Cap)、漏电流(LC)以及电容变化率的(AC/C)的测定。在有效的测定过程中，测定了施加了频率120Hz(赫兹)交流电时的电容器电容。在漏电流(LC)的测定过程中，施加了额定电压后放置60小时，测定放置后的漏电流。电容变化率是把初始电容设为Ci，将施加了额定电压后经过了1000小时的电容设为Cf，用(Cf-Ci)/CiX100求得的百分比(％)。另外，在电容变化率的测定过程中，在将电容器温度保持于105'C的状态下进行。还有，对于具有与本发明电容器A1A4和比较电容器X1中的阴极侧层叠体同样结构的阴极侧层叠体而言，作为耐剥离特性的测定，进行了划痕试验临界负荷的测定。所谓"划痕试验临界负荷"如图4所示，是指使楔形的金刚石刀具14接触阴极侧层叠体13，并在使负荷变化的同时进行以恒定速度(2mm/sec)拉伸操作之际被膜剥离的最小负荷。测定的结果全部表示在表2中。另外，表2中的各电气特性值对于上述的本发明电容器A1A4和比较电容器X1和X2而言，表示的是各20个的电容器的平均值。同样，对于剥离特性而言，表示的也是各20个阴极侧层叠体的平均值。根据划痕试验的临界负荷的结果可知本发明电容器A1A4与没有中间层的比较电容器X1相比，可以提高硬质被膜与阴极的密接性。还有，如从LC测定的结果知道的那样，漏电流可以大幅降低了。另外，如果对本发明电容器A2和本发明电容器A4进行比较，可知漏电流根据中间层的膜厚而变化，如果中间层的膜厚为0.02,，则不能用中间层充分缓和制造过程中的巻绕时的应力。因此，优选中间层的膜厚为0.1(am以上。在上述的实施例中，对构成硬质被膜的物质为TiAlN、构成中间层的物质是Tin的情况进行了说明，但即使使用其它物质也能得到同样的效果。在上述的实施例中，对固体电解质层是聚噻吩系导电性高分子的情况进行了说明，但即使使用聚呋喃系、聚吡咯系、聚苯胺系等其它的导电性高分子也能得到同样的效果。在上述实施例中，对阳极是铝箔的情况进行了说明，但即使釆用钽、铌等具有可阀作用的金属也能得到同样的效果。上述实施例的说明只是为了说明本发明，并不应该理解为对技术方案范围所记载的发明进行限定，或者是縮小范围。另外，本发明的各部分构成不限于上述实施例，当然可以在技术方案所记载的技术范围内进行各种变形。(工业上的可利用性)本发明例如可以作为移动电话、笔记本电脑、PDA等电子设备的的印刷布线基板中的表面安装用电子零件等来使用。<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>权利要求1.一种固体电解电容器，其包括被卷绕而成的电容器元件，该电容器元件具备阳极；与所述阳极对置配置并由铝构成的阴极；形成于所述阴极的表面上的硬质被膜；设置在所述硬质被膜和所述阳极之间的分离器；形成于所述分离器和所述阳极之间以及所述分离器和所述硬质被膜之间的固体电解质层，该固体电解电容器还具备形成于所述阴极和所述硬质被膜之间的中间层，所述硬质被膜由铝及钛和至少一种非金属元素的化合物构成，所述中间层包含从铝和钛构成的组中选择出的至少一种元素。2.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述中间层是由一种物质构成的单层膜，所述中间层的硬度比所述硬质被膜的硬度还小。3.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述中间层是由相互各异的物质构成的多层膜所组成的层叠膜，所述多层膜的每一层的硬度都比所述硬质被膜的硬度小。4.根据权利要求3所述的固体电解电容器，其特征在于，所述多层膜的每一层的硬度远远超过所述阴极的硬度，且小于所述硬质被膜的硬度，所述多层膜按照硬度上升的顺序从所述阴极侧向所述硬质被膜侧倾斜层叠。5.根据权利要求1所述的固体电解电容器，其特征在于，构成所述硬质被膜的所述化合物含有从由碳、氮、硼以及氧构成的组中选择出的至少一种非金属元素。6.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述中间层由铝、钛、或者从由铝和钛构成的组中选择出的至少一种金属元素、和从由碳、氮、硼以及氧构成的组中选择出的至少一种非金属元素的化合物构成。7.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述中间层仅由构成所述硬质被膜的多种元素中的一种元素构成。8.根据权利要求5所述的固体电解电容器，其特征在于，构成所述硬质被膜的所述化合物是氮化铝钛。9.根据权利要求8所述的固体电解电容器，其特征在于，构成所述中间层的所述物质是氮化钛。10.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述阳极由从铝、钽以及铌构成的组中选择出的至少一种元素构成。11.根据权利要求l所述的固体电解电容器，其特征在于，所述固体电解质层由聚噻吩系导电性高分子、聚呋喃系导电性高分子、聚吡咯系导电性高分子、聚苯胺系导电性高分子或TCNQ配位化合物构成。全文摘要本发明提供一种固体电解电容器，其构成为包括被卷绕而成的电容器元件，该电容器元件具备阳极(2)、由铝构成的阴极(2)、形成在阴极(2)表面上的硬质被膜(28)、分离器(4b)以及固体电解质层，还包括形成于阴极(2)和硬质被膜(28)之间形成的中间层，硬质被膜(28)由铝、钛和至少一种非金属元素的化合物构成，中间层(18)包含从铝和钛构成的金属元素组中选择出的至少一种元素。特别是优选构成固体电解电容器的中间层(18)的物质的硬度比构成硬质被膜(28)的物质的硬度小。因此，在卷绕式固体电解电容器中，可以抑制硬质被膜从阴极剥离而引起的漏电流的增加。文档编号H01G9/028GK101326600SQ20068004588公开日2008年12月17日申请日期2006年11月29日优先权日2005年12月9日发明者吉满聪申请人:三洋电机株式会社;佐贺三洋工业株式会社