用于将基板引入处理室的系统和方法

专利名称：用于将基板引入处理室的系统和方法
技术领域：
本发明涉及基板处理系统，特别涉及用在基板处理系统中以 方便传送基板的监视系统。
背景技术：
平板显示器可包括液晶显示器、等离子显示板、有机发光二 极管以及其它类似器件。这些平板显示器可以利用包括处理室、 加载锁定真空室和传送室的真空处理设备来制造。
处理室处理基板的表面，例如，通过在真空中使用等离子、 热能或类似物而进行蚀刻处理。加载锁定真空室从外侧接收未处 理基板，并将处理后的基板排放到外侧，同时在大气状态和真空 状态之间进行交替。当将基板引入处理室和由处理室排放时，传 送室可以用作中间保持地点。为此，传送室可以布置在处理室和 加载锁定真空室之间。正确排序和传送基板进出处理室，对于确 保正确处理基板和防止基板在传送过程中受损是重要的。


下面将参照附图描述本发明的实施方式，在附图中以相同的 附图标记表示类似的元件。在附图中
图1A和1B是代表性处理室的剖视图，其中图1A示出了抬
升销的升高状态，图1B示出了抬升销的降低状态；
图2A和2B是图1A和IB中所示代表性处理室中安置的基板 的俯视图，其中图2A示出了基板的破裂状态，图2B示出了基板 的错误加载状态；
图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图4是处理室的剖视图，根据这里在广泛意义上描述的第一 实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置可被采用于此；
图5是图4中的部分'A'的放大图6是根据这里在广泛意义上描述的第二实施方式的利用抬 升销判断是否存在基板的装置的局部剖视图7是根据这里在广泛意义上描述的第三实施方式的利用抬 升销判断是否存在基板的装置的局部剖视图8是根据这里在广泛意义上描述的一个实施方式的通过利 用抬升销判断是否存在基板的装置来引入基板并且检测所引入基 板状态的方法的流程图9是处理室的剖视图，其中根据这里在广泛意义上描述的 第四实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置可被采用于 此；
图10A和10B是图9中的部分'B'的放大图，其中图10A示 出了抬升销不发生位移的状态，图10B示出了抬升销发生位移的 状态；
图11是根据这里在广泛意义上描述的第五实施方式的利用抬 升销判断是否存在基板的装置的剖视图12A-12D是代表性位移检测装置的剖视图，其可被用在图 9所示的利用抬升销判断是否存在基板的装置中； 图13A-13D是各种位移检测装置的剖视图，它们可被用在图 11所示的利用抬升销判断是否存在基板的装置中；
图14是用于通过图9或图11中所示的利用抬升销判断是否 存在基板的装置来引入基板并且检测所引入基板状态的方法的流 程图15是平板显示器制造设备的剖视图，其中，根据这里在广 泛意义上描述的第六实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置可被 采用于此；
图16是图15所示的闸门阀检测装置的放大图17是图15所示的闸门阀检测装置的沿着箭头A'所示的方 向所作的剖视图18是根据这里在广泛意义上描述的第七实施方式的用于判 断闸门阀开闭的装置的局部剖视图19是根据这里在广泛意义上描述的第八实施方式的用于判 断闸门阀开闭的装置的局部剖视图20是根据这里在广泛意义上描述的第九实施方式的用于判 断闸门阀开闭的装置的局部剖视图；以及
图21是代表性传送机器人的透视图。
具体实施例方式
下面参看本发明的各种实施方式，它们的例子显示在附图中。 尽可能地在所有附图和说明书中用相同的附图标记表示相同或相 似的部件。
图1A和1B是代表性实施方式的处理室的剖视图。处理室可
包括室ll，其在侧壁中具有闸门缝(gateslit) llg，以使得基板可 以被引入室11或从室11排出，安装于室11的上部区域中的上侧 电极组件12，安置在上侧电极组件12下面的下侧电极组件13， 安装于下侧电极组件13中的多个抬升销14，以及同时升降所述多 个抬升销14的抬升机构15。如有必要，闸门缝和闸门阀也可以配 备给传送室和/或加载锁定真空室。
闸门缝llg可以通过闸门阀llv而被开闭。待处理基板可以 布置在下侧电极组件13的上表面或"台面"上。抬升机构15可包 括销板16，其上固定着相应抬升销14的下端，以及以滚珠丝杠驱 动方式升降销板16的滚珠丝杠17和电机18。
为将基板引入处理室，在加载锁定真空室(未示出)中处于 待用状态的传送机器人(未示出)可被致动。基板可以被保持在 下侧电极组件13 (以下称作"台面")上方，如显示于图1A，并且 抬升销14可以通过抬升机构15而被抬升。然后，当抬升销14被 充分抬升后，传送机器人可以将基板安置在升高的抬升销14上并 移出室ll，并且抬升销14可以被降低。如显示于图1B， 一旦被 完全降低，抬升销14即完全撤入台面13中并且不再突伸到台面 13的上表面上方，而基板由台面13支撑。
当基板的表面处理完成后，抬升销14可以被抬升以从台面13 升高基板，传送机器人的臂可以移动到基板下面的位置。之后， 随着抬升销14下降，基板可以在传送机器人移出室11时支靠在 传送机器人的臂上，以从室11排放基板。在如前所述的处理室中， 连续引入基板容易持续进行，除非处理过程被手工中断。因此， 如果基板被引入室11中以便处理，并且另一基板己经安置在室11 处，则传送机器人的臂和先前引入的基板可能相互干涉，有可能 损坏一或两个基板。
为了解决这一问题，室11可包括检测窗(未示出)，以允许 从外侧观察室11的内部。然而，室11的内部可能照明不佳，或 未照明，因此可能难以确实地证实基板是否存在于室11中。另外， 每次为将被引入室11的新基板实施视频检测室11的内部以检査 基板是否存在是耗时的并且可能导致制造过程缓慢。
如果不执行视频检测，或检测不精确，基板可能会在破裂状
态下被引入室ll，如显示于图2A,或者，取决于传送机器人的状 态，所引入的基板可能被错误地加载，如显示于图2B。如果破裂 或错位的基板被引入室11，处理操作可能被实施于最终被废弃的 基板。
图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图，所述设 备可包括加载锁定真空室(load lock chamber) 1，具有闸门缝22 和闸门阀24的处理室(process chamber) 2，传送室3，传送机器 人4，和导向件5。传送机器人4可包括机器人本体42，其在驱动 装置产生的驱动力作用下沿着导向件5移动，以及手部44，其配 备给机器人本体42，以接收将被传送的基板。
为将基板引入处理室2以便处理，闸门阀24可以被打开以敞 开闸门缝22。传送机器人4可以被加载锁定真空室1中的基板加 载并沿着导向件5朝向处理室2移动，并且可以通过闸门缝22进 入处理室2。然后，传送机器人4可以卸载基板并且返回至传送室 3。在处理过程中，闸门阀24和闸门缝22可以保持关闭。
如前所述，当将基板引入处理室2时，闸门阀24需要被打开 以敞开闸门缝22。然而，如果闸门阀24由于例如故障或误操作而 保持关闭，则由于如前所述设备的构造和检测能力，这种状态可 能不被识别出来。因此，通过传送机器人4而被传送进入处理室2 的基板可能碰撞到闸门阀24，有可能损坏基板、传送机器人4和/
或闸门阀24。
为解决这些问题，如显示于图4和5，处理室可包括室51， 其可以提供真空空间以用于基板的表面处理，分别可以彼此面对 面地安装在室51内的上侧区域和下侧区域的上侧电极组件52和 下侧电极组件53，可以通过下侧电极组件53竖直升降的多个抬升 销54，可以同时升高和同时降低所述多个抬升销54的销抬升机构 55，以及利用抬升销54和相关的销抬升机构55来判断基板是否 已经存在于室51中的装置60。室51可以具有位于其一个侧壁中 的闸门缝51g，基板可以通过该闸门缝被引入室51或从室51排出。 闸门缝51g可以通过闸门阀51v而被开闭。波纹管59可以在室51 和销抬升机构55的一部分之间包围抬升销54，以在室51中维持 真空状态。
上侧电极组件52可包括喷头(未示出)用于喷射处理气体， 以用于基板的表面处理。下侧电极组件53可以用作可在其上安置 所引入的基板的卡盘头，因此下侧电极组件53的接收表面可以被 称作"台面"。下侧电极组件53可包括销孔53h，相应抬升销54可 以通过销孔而被抬升和降低。销孔53h可以沿竖直方向延伸，或 沿着与抬升销54的定向相对应的方向延伸。销孔53h可以以规则 的间隔靠近下侧电极组件53 (以下称作"台面")的边缘提供。取 决于抬升销54的数量和位置，以及基板所需的定位、支撑和运动， 销孔53h的数量和位置可以变化。
销抬升机构55可包括销板56，可以在其上固定相应抬升销 54的下端，以及驱动装置，用于升降销板56。图4中所示的驱动 装置包括滚珠丝杠57，其连接着销板56，以及电机58，其用于沿 两个方向(顺时针和逆时针)旋转滚珠丝杠57。其它用于驱动装 置的部件也是可以构想出来的。
用于判断是否存在基板的装置60可包括基板检测装置61，判 断装置62和通知装置63。当抬升销54被升高而从台面53伸出并 且支撑基板时，基板检测装置61可以检测基板负载是否作用在抬 升销54上。基板检测装置61可以以下述方式构造，即当其检测 到基板负载作用在抬升销54上时，相应的检测结果，或检测信号， 从基板检测装置61输出到判断装置62。为了便于基本上立即输出 这样的信号，判断装置62可以电连接至基板检测装置61。
基板检测装置61可包括传感器，其安装在将被带到与基板接 触的抬升销54中的一些或全部的相应上端，并且在基板负载作用 在抬升销54上时将被基板负载致动。当传感器接收基板负载时， 传感器可以由基板负载致动，并且输出相应的检测信号至判断装 置62。例如，推压式开关可以被构造成使得，当推压式开关被推 压时，电连接被机械地建立。作为可选方式，电接触传感器或电 气检测与基板之间接触的电应变仪可以被采用。
判断装置62可以从基板检测装置61也就是传感器接收检测 信号，并因此而判断是否存在基板。判断装置62可包括控制装置， 用于控制平板显示器制造设备的操作。当如前所述判断出基板存 在于室51中时，控制装置可以输出相应的控制信号，从而使得可 电连接至控制装置的通知装置63可被致动。相反，如果判断出没 有基板存在于室51中，则控制装置可以输出相应的控制信号，从 而使得待处理基板可以被引入室51中。通过这种方式，控制装置 可以控制平板显示器制造设备的操作。
在控制装置的控制下，通知装置63可以通知工人基板是否存 在。通知装置63可包括，例如，警示灯63w或监视器，用于视频 通知，扬声器63s或蜂鸣器，用于声频通知，或如有必要，包括 其它装置。类似地，视频通知装置和声频通知装置可以被一起使
用。
警示灯63w的设置数量可以对应于传感器61的数量(抬升销 54的数量，如果每个抬升销54具有一个传感器61的话)，从而使 得，当每个传感器61输出检测信号时，控制装置可以响应于检测 信号而接通相应的警示灯63w。在这一方面，由于传感器61安装 在每个相应抬升销54上的事实，如果室51中基板负载不均匀分 布并且因此不作用在所有抬升销54上，则可以判断出基板局部破 裂，或者在基板负载不作用在所有的抬升销54上的情况下判断出 基板被错误加载。结果，可以确定所引入的基板是否处在正确状 态。
如显示于图6，根据第二实施方式的利用抬升销判断是否存在 基板的装置可包括分别安装在抬升销54下端的基板检测装置 61A，以便被安置在抬升销54与其支撑结构例如销板56之间。作 为可选方式，支撑结构可包括其它构成元件，只要它们沿着基板 负载作用在抬升销54上的作用线安置以支撑抬升销54即可。
如显示于图7，在根据第三实施方式的利用抬升销判断是否存 在基板的装置中，每个抬升销54B可包括上侧销54u，其安置在 上侧位置，以及下侧销54d，其安置在上侧销54u下面。因此，整 体上看，每个抬升销54B可以具有被划分为上下侧部分结构的。 基板检测装置61B可以布置在抬升销54B的以这种方式划分的上 侧销54u和下侧销54d之间。基板检测装置61B可以安装在下侧 销54d的上端，或安装在上侧销54u的下端。
下面将参照图8描述一种使用根据第一至第三实施方式的用 于判断是否存在基板的装置中的任何一个来引入基板并且检测所 引入基板的状态的方法。
在正常操作中，抬升销54可以被降低并且插入销孔53h，从 而使得其上端不从台面53伸出。为将加载锁定真空室中处于待用 状态的基板引入室51，并将基板加载到台面53上以便处理，所述 多个抬升销54可以利用来自销抬升机构55 (Sl)的驱动力而同时 升起以接收基板，并且然后降低至它们的初始位置。
基板检测装置61的传感器通过检测基板负载是否作用在抬升 销54上而检测基板是否安置在抬升销54上，并且将检测结果传 送到控制装置(S2)。如果来自至少一个传感器的检测信号输入到 控制装置，则控制装置判断出基板存在(S3)。相反，如果没有检 测信号从传感器输入，则控制装置判断出没有基板存在(S4)。
当基板的存在被确定后(S3),控制装置输出控制信号并且启 动通知装置63 (S13)。工人可以基于通知识别基板的存在，并且 可以采取后续的所需行动。在这种情况下，如果在室51中检测到 当前存在基板，控制装置可以进一步被构造成防止引入新的基板。 作为可选方式，或者作为附加，处理过程可以前进至判断是否负 载作用在所有抬升销54上(S7),以确定被检测基板的状态。
当判断出不存在基板后(S4)，传送机器人可以被驱动以引入 待处理基板，并将基板放置在台面53上(S5)。抬升销54可以被 抬升以从传送机器人接收新引入的基板，并且然后降低至初始位 置(S6)。在抬升销54接收基板后，传送机器人可以移出室51。
传感器检测基板负载是否作用在所有抬升销54上，而控制装 置从传感器接收检测结果(S7)。如果没有从每个传感器接收到检 测信号，则控制装置判断出相应的基板的一部分破裂(见图2A)， 或者基板被错误加载(见图2B) (S8)。相反，如果检测信号被从 所有传感器输入，则控制装置判断出基板没有破裂并且基板已被 正确加载(S9)。
如果判断出基板处于不正确状态时(S8)，控制装置输出信号 以启动通知装置63 (S13)，以便通知工人这种状况。因此，工人 可以识别基板状态，并且可以采取适宜的行动。控制装置可以进 一步被构造成中断执行后续过程，直至工人采取修正行动。
相反，如果判断出基板处在正确状态(S9)，基板的表面处理 被执行(SIO)。如果表面处理完成，已经完全经历表面处理的基 板通过下述方式而被排出，即升高抬升销54，将传送机器人引入 室51，降低抬升销54，将传送机器人移出室51 (Sll)。设备然后 既可以处理另一基板，也可以结束处理(S12)。
根据第四实施方式的处理室和利用抬升销判断是否存在基板 的装置，如显示于图9和IOA-IOB，可包括室151，闸门缝151g， 闸门阀151v，上侧电极组件152，台面153，销孔153h，多个抬 升销154A，销抬升机构155,销板156，滚珠丝杠157，电机158, 波纹管159，和用于判断是否存在基板的装置160。在这些构成元 件中，室151、闸门缝151g、闸门阀151v、上侧电极组件152、 台面153、销孔153h、销抬升机构155、销板156、滚珠丝杠157、 电机158和波纹管159类似于前面描述的那些，并且因此省略对 其详细描述。
所述多个抬升销154A可以具有这样的结构，其中，取决于基 板是否放置在台面153上，抬升销154A的突伸高度被改变并且抬 升销154A被移位。每个抬升销154A可包括本体和弹性支撑本体 的弹性元件El。在特定实施方式中，每个弹性元件El可以是螺 旋弹簧，其安装在抬升销154A的本体下端，安置在抬升销154A 的本体和销板156之间。螺旋弹簧还可以提供支撑结构，用于支 撑抬升销154A。
如果在基板放置在台面153上的状态下销抬升机构155被启
动并且每个抬升销154A被升高，则弹性元件E1通过基板负载而 被压縮，如显示于图IOB，并且同图IOA所示在没有基板放置在 台面153上的状态下抬升销154A被升高时相比，抬升销154A的 突伸高度减小。弹性元件E1可以具有这样的强度，从而使得其通 过基板负载而被压縮，但是当没有基板放置在台面153上时，不 会被抬升销154A的本体的负载压縮。弹性元件E1可以是图中所 示的螺旋弹簧，橡胶，海绵，或其它适宜的构件。
抬升销154A的位移结构显示于图IOA和IOB。在图10A中， 没有基板放置在台面153上，抬升销154A被升高，Hl表示相应 的抬升销154A的突伸高度。在图10B中，基板放置在台面153 上，抬升销154A被升高，H2表示相应的抬升销154A的突伸高度。
用于判断是否存在基板的装置160，如显示于图9，可包括位 移检测装置161A，判断装置164和通知装置165。
每个位移检测装置161A检测是否弹性元件El被基板压縮而 使得抬升销154A的突伸高度从抬升销154A由台面153伸出的完 全升高位置改变一段预定高度。当检测到抬升销154A被移位后， 相应的检测结果(相应的检测信号)从位移检测装置161A被传送 至判断装置164。为了实现基本上立即传送该信号，判断装置164 可以电连接至位移检测装置161A。
位移检测装置161A检测所有相应抬升销154A的位移。位移 检测装置161A可以分别沿着用于压縮弹性元件E1的力起作用的 作用线安装，从而在弹性元件E1被压缩时被所述力致动，并且抬 升销154A的本体和销板156之间的间隔减小。位移检测装置161A 可以以下述方式包括传感器，从而使得，当传感器接收所述力时， 传感器被所述力致动并且输出检测信号至判断装置164。
在特定实施方式中，每个传感器可以安装在销板156上并且 插入构成弹性元件E1的螺旋弹簧中，以便被安置在抬升销154A 的本体和销板156之间。其它安装方式也是可以构想出来的，并 且每个传感器被沿着作用线安置从而每个传感器可以接收作用力 就足够了。例如，致动臂可以设置在抬升销154A的本体下部，从 而垂直于抬升销154A升降的方向延伸，并且传感器可以安装在销 板156上，从而被安置在致动臂和销板156之间。
前面描述的传感器可以是，例如，推压式开关，其被构造成 使得，当推压式开关被推压时(被抬升销154A的本体)，电连接 可以被以机械方式形成。作为可选方式，电气检测基板和抬升销 154A的本体之间的接触的电接触传感器或电应变仪可以被使用。
判断装置164从位移检测装置161A也就是传感器接收检测信 号，并且判断是否存在基板。判断装置164可包括控制装置，用 于控制平板显示器制造设备的操作。
当判断出基板存在于室151中时，控制装置可以输出相应的 控制信号，从而使得可电连接至控制装置的通知装置165被致动。 相反，如果判断出没有基板存在于室151中，控制装置可以输出 相应的控制信号，从而使得待处理基板可以被引入室151。通过这 种方式，控制装置控制平板显示器制造设备的操作。
在控制装置的控制下，通知装置165可以通知工人基板是否 存在。通知装置165可以是，例如，警示灯165w或监视器，用于 视频通知，或扬声器165s或蜂鸣器，用于声频通知。其它部件也 是可以构想出来的，并且视频通知装置和声频通知装置可以被一 起使用。
通知基板是否存在可以以一定数量的警示灯165w实施，警示
灯数量的对应于传感器的数量(也就是说抬升销154A的数量)。 因此，当任何一个传感器输出检测信号时，控制装置可以响应于
检测信号接通相应的警示灯165w。如果位移不发生在所有抬升销 154A (并且一或多个警示灯165w未点亮)，则即使基板被安置在 室151中，也可以判断出基板可能局部破损和/或错误加载，因为 基板负载没有作用在一或多个抬升销154A上。因此，可以判断基 板是否在室151中处在正确状态。
根据第五实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置， 如显示于图11，可包括多个抬升销154B,它们每个具有上侧销 154u，安置在上侧销154u下面并且在下端固定至销板156的下侧 销154d,和弹性元件E2，其安装在上侧销154u或下侧销154d上， 以便被安置在下侧销154d和上侧销154u之间，并且弹性支撑上 侧销154u。
弹性元件E2可以是螺旋弹簧，橡胶，海绵，或其它适宜的弹 性部件。与图9-10B所示弹性元件El的方式相同，弹性元件E2 可以具有足够的强度，以便被基板负载压縮，但是不被上侧销154u 的负载压縮。
将基板放置在台面153上的状态下抬升销154B的突伸高度 H2与基板没有放置在台面153上的状态下的突伸高度Hl相比， 对于下侧销154d，突伸高度没有变化，然而，对于上侧销154u， 突伸高度被改变并且发生位移。
位移检测装置161B可以执行类似于图9-10B所示位移检测装 置161A的功能。每个位移检测装置161B可以安装在上侧销154u 或下侧销i54d上，以适宜的端部插入螺旋弹簧弹性元件E2，以 便被安置在上侧销154u和下侧销154d之间。
在可选实施方式中，抬升销154B可以被以这样的方式构造， 即在抬升销154B被分为上侧销154u和下侧销154d的点(位置) 总是位于室151外侧。通过如此构造，当抬升销154B处于升高状 态时，通过如前所述在下侧销154d上提供致动臂(未示出)，位 移检测装置161B可以被安装在致动臂和销板156之间。
与这里在广泛意义上描述的第四实施方式一起使用的位移检 测装置的各种实施方式示出于图12A-12D。如显示于图12A，每 个位移检测装置162A可包括光发射传感器Fl和光接收传感器 Rl。光发射传感器F1或光接收传感器R1 二者之一可以安装在抬 升销154A的本体，二者中的另一可以安装在销孔153h的壁上。 光接收传感器R1从光发射传感器F1接收信号。为此，光发射传 感器Fl和光接收传感器Rl可以布置成当抬升销154A被升高时 彼此相对。如果光发射传感器F1和光接收传感器R1以这种方式 安装，光发射传感器Fl和光接收传感器Rl可以随着抬升销154A 被升高输出，并且接收信号，而不论基板是否存在。出于这一原 因，通过光发射传感器Fl和光接收传感器Rl分别输出和接收信 号可以只在抬升销154A升高时被允许。作为可选方式，可以只在 控制装置已经从位移检测装置162A接收信号后至少预定时间内 作出相应的判断。
如显示于图12B,光发射传感器Fl和光接收传感器Rl中的 任何一个可以被安置在销板156上方预定高度处，而非在销孔 153h的壁上。支架BR可以可被设置，以将光发射传感器F1或光 接收传感器Rl保持在距离销板156的预定高度。
如显示于图12C，光发射传感器Fl和光接收传感器Rl可以 安置于销孔153h的壁的相对两侧中，抬升销154A夹在它们之间。 信号传送孔Tl可以延伸通过抬升销154A，从而使得光发射传感器F1和光接收传感器R1在对准传送孔T1时可以交换信号。因此， 当抬升销154A被升高时，光发射传感器F1输出的信号可以穿过 信号传送孔Tl并被光接收传感器Rl接收。
如显示于图12D，位移检测装置163A可包括光发射传感器 Fl，光接收传感器R1和反射板P1。光发射传感器F1可以输出信 号至反射板P1，光接收传感器R1可以接收被反射板P1反射的信 号。反射板P1可以安装在抬升销154A上，并且光发射传感器F1 和光接收传感器Rl可以均安装在销孔153h的壁中。光发射传感 器F1可以被安置成使得，在抬升销发生位移时154A时，信号被 朝向反射板Pl传送，并且光接收传感器Rl可以被安置成使得， 在抬升销发生位移时154A时，由光发射传感器Fl发射并被反射 板Pl反射的信号可以被光接收传感器Rl接收。
与这里在广泛意义上描述的第五实施方式一起使用的位移检 测装置的各种实施方式示出于图13A-13D。这些实施方式可包括 光发射传感器F2，光接收传感器R2和反射板P2，类似于前面参 照图12A-12D讨论的。
如显示于图13A，每个位移检测装置162B可包括光发射传感 器F2和光接收传感器R2。光发射传感器F2或光接收传感器R2 二者之一可以安装在抬升销154B的上侧销154u上，二者中的另 一可以安装在销孔153h的壁上，从而使得光发射传感器F2和光 接收传感器R2在抬升销154B升高时安置在彼此相对的位置。
如显示于图13B,前面描述的光发射传感器F2和光接收传感 器R2之一可以通过支架BR保持在距离销板156的预定高度处， 而非在销孔153h的壁中。
如显示于图13C，前面描述的光发射传感器F2和光接收传感
器R2可以均安置在销孔153h的壁的相对两侧，抬升销154B夹在 它们之间。信号传送孔T2可以延伸通过上侧销154u，从而使得 光发射传感器F2和光接收传感器R2在抬升销154B升高并且信 号传送孔Tl对准它们时可以交换信号。
如显示于图13D，位移检测装置163B可包括光发射传感器 F2，光接收传感器R2和反射板P2。反射板P2可以安装在上侧销 154u上，并且光发射传感器F2和光接收传感器R2可以安装在销 孔153h的壁上。光发射传感器F2可以被安置成使得，在位移发 生于抬升销154B时，信号被朝向反射板P2传送，光接收传感器 R2可以被安置成使得，在位移发生于抬升销154B时，被反射板 P2反射的信号可以被光接收传感器R2接收。
下面将参照图14来描述使用根据这里在广泛意义上描述的第 四实施方式或第五实施方式的用于判断是否存在基板的装置来引 入基板并且检测所引入基板的状态的方法。
举例来说，根据第四实施方式的用于判断是否存在基板的装 置(包括若干形式的位移检测装置)和根据第五实施方式的用于 判断是否存在基板的装置(也包括若干形式的位移检测装置)可 以类似地用于图8所示的引入基板并且检测所引入基板的状态方 法。为了简化讨论，本方法借助于根据第四实施方式的用于判断 是否存在基板的装置将被描述。然而，可以理解，该方法还可以 被实施于第五实施方式。
在正常操作中，抬升销154A可以被降低并且插入销孔153h， 从而使得其上端不从台面153伸出。为了将加载锁定真空室中处 于待用状态的基板引入室151中，并将基板加载到台面153上以 便处理，利用来自销抬升机构155的驱动力，所述多个抬升销154A 可以同时升起以接收基板，并且然后降低至它们的初始位置
(SIOO。
在这一过程中，在抬升销154A升高时，位移检测装置161A 的传感器可以而检测基板是否安置在抬升销154A上，并且弹性元 件E1通过基板负载而被压縮以引起抬升销154位移，控制装置可 以从传感器接收检测结果(S102)。如果来自至少一个传感器的检 测信号输入到控制装置，控制装置可以判断基板存在(S103)。相 反，如果没有检测信号从传感器输入，控制装置判断不存在基板 (S104)。
当基板的存在被确定后(S103)，控制装置输出控制信号并且 启动通知装置165 (S113)。工人可以基于通知识别基板的存在， 并且可以釆取所需的行动。在这种情况下，控制装置可以进一步 被构造成，如果检测到室151中当前存在有基板，则防止引入新 的基板。作为可选方式，或者作为附加，处理过程可以前进至判 断是否位移发生于每个抬升销154A (S107)，以确定被检测基板 的状态。
当判断出不存在基板后(S104)，传送机器人可以被驱动以引 入待处理基板，并将基板安置在台面153上(S105)。抬升销154A 可以被抬升以在其上接收从传送机器人新引入的基板，并且然后 降低至它们的初始位置(S106)。在抬升销154A接收基板后，传 送机器人可以移出室151。
传感器检测是否位移发生于抬升销154A，控制装置从传感器 接收检测结果(S107)。如果没有从每个传感器都接收到检测信号， 则控制装置判断出相应的基板的一部分破裂(见图2A)禾B/或基板 被错误加载(见图2B) (S108)。相反，如果检测信号被从所有传 感器接收，则控制装置判断出基板没有破裂，并且基板的加载已 被正确执行(S109)。
如果判断出基板处于不正确状态(S108)，控制装置输出信号 以启动通知装置165 (S13)，以便通知工人这种状况。因此，工人 可以识别基板状态，并且可以采取适宜的修正行动。控制装置可 以进一步被构造成中断后续的处理，直至修正行动已被执行。
相反，如果判断出基板处在正确状态(S109)，基板的表面处 理被执行(S110)。如果表面处理完成，已经完全经历表面处理的 基板通过下述方式而被排出，即升高抬升销154A，将传送机器人 引入室151，降低抬升销154A，将传送机器人移出室151 (Slll)。 设备然后既可以处理另一基板，也可以结束处理操作(S112)。
图15是一种平板显示器制造设备的剖视图，其中根据这里在 广泛意义上描述的第六实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置可 被采用。
设备可包括加载锁定真空室260，其从外侧接收未处理基板并 储存它，或者接收处理后的基板并将其排放至外侧。设备可以还 包括处理室270，其从加载锁定真空室260接收未处理基板并对其 进行处理，并且处理室的一个侧壁中限定出闸门缝272，其通过闸 门阀274被打开和关闭，用作基板的门道。设备可以还包括传送 室280，其设置在处理室270和加载锁定真空室260之间，传送机 器人290，设置在传送室280中，以在加载锁定真空室260和处理 室270之间往复移动，并且将基板从加载锁定真空室260传送至 处理室270或从处理室270传送至加载锁定真空室260，导向件 G-l，其引导传送机器人2卯精确运动，以及用于判断闸门阀274 开闭的装置300。
加载锁定真空室260和传送室280可以通过传送通道P-l相 连，处理室270和传送室280可以通过传送通道P-2相连。基板 的门道可以被限定在加载锁定真空室260和传送室280之间，以
类似于闸门缝272的方式使用，并且门(闸门阀)可以安装于门 道中，以打开和关闭门道。
处理室270可以被构造成在真空状态下实施基板的表面处理。 处理可以使用等离子、热能或类似物而被实施。另外，处理室270 的闸门阀274可以从处理室270外侧打开和关闭闸门缝272。闸门 阀274可以是旋转型的，其一端铰接着处理室270，以通过枢转而 打开和关闭闸门缝272，或者是竖直运动型的，其中闸门阀274 线性移动以打开和关闭闸门缝272。闸门阀274可以被驱动装置 (未示出)致动。
传送机器人290可包括机器人本体292,其在导向件G-l上移 动，手部294，其连接着机器人本体292，并且其上分别放置着将 被传送的基板，和驱动装置(未示出)，其提供用于移动机器人本 体292的驱动力。
用于判断闸门阀274开闭的装置300可包括闸门阀检测装置 310A，判断装置320和通知装置330。闸门阀检测装置310A可以 检测闸门阀274被打开以敞开闸门缝272还是被关闭以封闭闸门 缝272。闸门阀检测装置310A可以被构造成使得，当闸门阀274 的关闭被检测到时，相应的检测结果(检测信号)可以基本上立 即从闸门阀检测装置310A输出至判断装置320，判断装置电连接 着闸门阀检测装置310A。
如显示于图16和17，闸门阀检测装置310A可包括反射板 312a和光学传感器模块。反射板312a可以安装在闸门阀274外侧 (面对着传送室280的表面)。光学传感器模块可以输出信号(光) 至反射板312a，并且接收被反射板312a反射的信号。光学传感器 模块可包括光发射传感器314a和光接收传感器316a。
光发射传感器314a输出信号至反射板312a，光接收传感器 316a接收由光发射传感器314a输出并被反射板312a反射的信号。 为了实现这一点，光学传感器模块可以被安置在与反射板312a相 对的位置。因此，光学传感器模块可以安装在导向件G-l上，该 导向件如前所述引导传送机器人290的运动。光发射传感器314a 和光接收传感器316a可以被安装成不干涉传送机器人290在导向 件G-1上的运动。反射板312a和光学传感器模块的安装位置可以 调转，其中反射板312a安装在导向件G-l上，光学传感器模块安 装在闸门阀274上。
如前所述，判断装置320从闸门阀检测装置310A接收检测结 果并且判断闸门阀274处于打开状态还是关闭状态。判断装置320 可包括控制装置，用于控制平板显示器制造设备的操作。
当控制装置从闸门阀检测装置310A接收指示闸门阀274被关 闭的检测结果后，控制装置输出相应的控制信号，从而使得可电 连接至控制装置的通知装置330可被致动。当则控制装置判断出 闸门阀274打开时，控制装置输出相应的控制信号，从而使得储 存在加载锁定真空室260中且未被处理的基板可以被传送机器人 290传送并被引入处理室270。
在控制装置的控制下，通知装置330可以通知工人闸门阀274 是打开还是关闭的。通知装置330可包括警示灯332 (其例如可以 被接通以指示闸门阀274的打开，以及被断开以指示闸门阀274 的关闭，反之亦然)。或者，用于视频通知的监视器可被采用，或 者用于声频通知的扬声器334(其例如可以不产生声音以指示闸门 阀274的打开，以及产生声音以指示闸门阀274的关闭，反之亦 然)或蜂鸣器可被采用。作为附加措施，视频通知装置和声频通 知装置可被一起采用。
根据第七实施方式的用于判断闸门闽开闭的装置，如显示于
图18，可包括闸门阀检测装置310B，其包括安装在闸门阀274外 侧的光发射传感器314b和安装在导向件G-l上的光接收传感器 316b。光发射传感器314b可以输出信号(光)，光接收传感器316b 可以接收由光发射传感器314b输出的信号。因此，光发射传感器 314b和光接收传感器316b可以被安装成彼此相对，并且它们的安 装位置可以调转。
根据第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置，如显示于 图19，可包括闸门阀检测装置310C，其包括安装在闸门阀274外 侧的光发射传感器314c和设置在传送机器人2卯上并被安置成与 光发射传感器314c相对的光接收传感器316c。光接收传感器316c 可以安装在传送机器人290的手部294的远端。光发射传感器314c 和光接收传感器316c的安装位置可以调转，并且光接收传感器 316c不是必须安装在手部294上。将光接收传感器316c安装在传 送机器人290以便能够与光发射传感器314c交换信号并且因此而 不阻碍传送机器人290的操作就足够了。
尽管根据第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置被解释 为第七实施方式的结构的改型，但第八实施方式也可以通过改变 第六实施方式的结构进行解释。在这种情况下，反射板或光学传 感器模块二者之一可以安装在闸门阀274上，二者中另一可以安 装在传送机器人290上。
根据第九实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置，如显示于 图20，可包括闸门阔检测装置310D，其也括由支架B-1保持的传 感器。该传感器可以沿着用于关闭闸门阀274的力施加的作用线 安装，从而被所述力致动。当所述力施加至传感器时，传感器因 此而被致动，并且输出检测信号至判断装置320 (见图15)。传感
器可以被安装在闸门阀274上方以便在闸门阀274被关闭时接触 闸门阀274的上表面。传感器不是必须以这种方式安装，而是将 传感器安装成位于所述作用线上并因此而承受作用力就足够了。 例如，推压式开关可以被构造成使得，当推压式开关被闸门阀274 推压时，电连接被以机械方式产生。作为可选方式，用于电气检 测与闸门阀274之间接触的电接触传感器或电应变仪可以被采用。
图21是代表性传送机器人的透视图，其包括设置在机器人本 体和机器人手部之间的臂。臂可以被构造成收折和展开，如图21 中的阴影线所示。在根据第六至第八实施方式的用于判断闸门阀 开闭的装置中，闸门阀检测装置的构成元件可以安装在传送机器 人的机器人本体、手部或臂上。
下面描述使用根据这里在广泛意义上描述的一个实施方式的 用于判断闸门阀开闭的装置来将基板引入处理室的方法。举例来 说，根据第六实施方式的装置和根据其它实施方式的装置可以类 似地用于所述引入基板方法。下面，借助于根据第六实施方式的 装置来描述所述方法。
在正常操作中，闸门阀274保持关闭，闸门缝272维持于关 闭状态。用于判断闸门阀开闭的装置300判断闸门阀274是打开 还是关闭的，并将此指示给工人。
如果闸门阀274被关闭，由闸门阀检测装置310A的光发射传 感器314a输出的信号被指向安装在闸门阀274的反射板312a。该 信号通过反射板312a被反射，并被光接收传感器316a接收。此 时，闸门阀检测装置310A输出相应的检测结果至判断装置320。 判断装置320接收检测结果，判断出闸门阀274被关闭，并且输 出相应的控制信号至通知装置330。通知装置330通知工人闸门阀 274被关闭。
如果需要将待处理基板引入处理室270并且处理基板，则闸 门阀274可以被打开，例如，通过驱动装置的驱动力被降低。如 果闸门阀274由于例如故障或误操作而不能被打开，则用于判断 闸门阀开闭的装置300通知工人闸门阀274仍然关闭。工人可以 然后精确地识别闸门阀274的打开或关闭状态，并且可以采取必 要的修正行动。在这种情况下，判断装置320可以进一步被构造 成防止引入基板，直至修正行动已被执行。
随着闸门阀274被打开，反射板312a的位置相对于打开的闸 门阀274改变，反射板312a不能反射光发射传感器314a的输出 信号，光接收传感器316a不能接收来自光发射传感器314a的信 号。结果，用于判断闸门阀开闭的装置300通知工人闸门阀274 打开。
当通过装置300判断出闸门阀274打开时，传送机器人2卯 执行引入程序，如下所述。
传送机器人290沿着导向件G-l移动至加载锁定真空室260。 在加载锁定真空室260中，待处理基板安置在手部294上，并且 然后传送机器人290沿着导向件G-l移动至处理室270。传送机器 人290通过闸门缝272进入处理室270，装载在手部294上的基板 在处理室270中卸载，并且传送机器人290返回其在传送室280 中的初始位置。当传送机器人2卯移出处理室270后，闸门阀274 被关闭，例如，通过驱动装置的驱动力而被升高，在处理室270 中执行基板处理。
这里提供了一种借助于抬升销判断基板是否存在的装置，其 中检测基板负载是否作用在抬升销上，并且基于检测结果判断是 否存在基板，从而工人可以快速且方便地证实基板是否存在。
这里提供了一种判断借助于抬升销判断基板是否存在的装 置，其中抬升销的突伸高度基于是否存在基板而发生变化，是否 位移发生于抬升销被检测，并且基于检测结果判断是否存在基板， 从而工人可以快速且方便地证实基板是否存在。
这里以实施例的方式在广泛意义上描述的用于判断是否存在 基板的装置可包括多个抬升销，它们被安装成通过由其上放置基 板的台面所限定的销孔而抬升和降低，从而在基板被引入室时使
得抬升销升高；基板检测装置，用于检测升高的抬升销是否承载 着基板；以及判断装置，用于从基板检测装置接收检测结果并且 判断是否存在基板。
基板检测装置可以检测基板负载是否作用在抬升销上。
基板检测装置可包括传感器，其沿着基板负载作用于抬升销 的至少一条作用线安装，以便被基板负载致动。作为可选方式， 基板检测装置可包括传感器，它们沿着基板负载作用于抬升销的 各作用线安装，以便被基板负载致动。
传感器可以安装在将被带到与基板接触的抬升销上端，或者 可以被安装在抬升销和抬升销支撑结构之间。作为可选方式，每 个抬升销可以分为上侧销和下侧销，每个传感器可以被安装在上 侧销和下侧销之间。
各抬升销可以具有这样的结构，其中它们的突伸高度基于抬 升销是否承载基板而变化，并且基板检测装置可包括位移检测装 置，其检测各抬升销的突伸高度是否变化。
位移检测装置可以检测至少一个抬升销的位移，或者可以分 别检测所有抬升销的位移。
弹性元件可以被安装在每个抬升销和抬升销支撑结构之间。 位移检测装置可包括沿着基板负载压縮弹性元件的每条作用线安 装的传感器，所述压縮导致减小抬升销和抬升销支撑结构之间的 距离，以便被基板负载致动。
在特定实施方式中，位移检测装置可以还包括光发射传感器， 和用于从光发射传感器接收信号的光接收传感器。光发射传感器 和光接收传感器二者中的一个传感器可以安装在抬升销上，另一 个传感器可以被安置成在抬升销发生位移时与前一个传感器相 对。
在可选实施方式中，位移检测装置可包括光发射传感器，和 用于从光发射传感器接收信号的光接收传感器。光发射传感器和 光接收传感器可以被安置成彼此相对，而抬升销夹在它们之间。 信号传送孔可以被抬升销限定，从而使得在抬升销发生位移时光 接收传感器可以从光发射传感器接收信号。
在可选实施方式中，位移检测装置可包括反射板，用于输出 信号至反射板的光发射传感器，和用于接收从光发射传感器输出 并被反射板反射的信号的光接收传感器。反射板可以安装在抬升 销上。光发射传感器和光接收传感器可以被安装成在抬升销发生 位移时输出信号至反射板，并且然后接收反射信号。
每个抬升销可以分为上侧销和下侧销，弹性元件可以被安装 在上侧销和下侧销之间。
位移检测装置可包括沿着基板负载压缩弹性元件的每条作用 线安装的传感器，所述压縮导致减小上侧销和下侧销之间的距离， 以便被基板负载致动。
在可选实施方式中，位移检测装置可以还包括光发射传感器 和用于从光发射传感器接收信号的光接收传感器。光发射传感器
和光接收传感器二者中的一个传感器可以安装在抬升销的上侧销 上，另一个传感器可以被安置成在抬升销发生位移时与前一个传 感器相对。
在可选实施方式中，位移检测装置可包括光发射传感器，和 用于从光发射传感器接收信号的光接收传感器。光发射传感器和 光接收传感器可以被安置成彼此相对，而抬升销的上侧销夹在它 们之间，并且信号传送孔可以由抬升销的上侧销限定，从而使得 光接收传感器可以在抬升销发生位移时从光发射传感器接收信 号。
在可选实施方式中，位移检测装置可包括反射板，用于输出 信号至反射板的光发射传感器，和用于接收从光发射传感器输出 并被反射板反射的信号的光接收传感器。反射板可以安装在抬升 销的上侧销上。光发射传感器和光接收传感器可以被安装成在抬 升销发生位移时输出信号至反射板，并且然后接收反射信号。
判断装置可包括控制装置，并且本发明的装置可以进一步包 括通知装置，用于在控制装置的控制下指示是否存在基板。
在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于判断是否 存在基板的装置中，基板负载是否作用在抬升销上通过基板检测 装置和判断装置而被检测，并且基于检测结果判断是否存在基板， 这可以提供下述优点，即是否存在基板可以被快速且方便地确定。
这里提供了用于将基板引入室中的方法，其中可以利用判断 是否存在基板的装置，以检测负载和位移，并且仅在室中没有存 在另一基板时才允许将基板引入室，从而可以在另一基板存在于 室中的情况下防止基板被引入室，并且可以防止室中的另一基板 由于与传送机器人干涉而破裂。
这里以实施例的方式在广泛意义上描述的用于将基板引入室 的方法可包括利用判断是否存在基板的装置判断基板是否存在于
台面上；以及当判断出没有基板存在于台面上时将待处理基板传 送到台面上。
所述方法可以还包括在判断出基板存在于台面上时指示基板 的存在。
在这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于将基板 引入室的方法中，其使用了判断是否存在基板的装置，由于只在 通过判断装置判断出没有基板存在于室中时基板才可以被引入 室，因此可以防止在另一基板存在于室中的情况下引入基板。结 果，可以防止室中的另一基板由于与传送机器人干涉而破裂。
一种用于检测基板方法被提供，其中使用了判断是否存在基 板的装置以检测负载，基板负载是否作用在所有抬升销上被检测， 并且如果基板负载不作用于至少一个抬升销，则判断出基板的一 部分破裂或基板被错误加载，因而所引入基板的状态可以容易地 检测到。
这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种使用负载检测 型装置检测基板以判断是否存在基板的方法可包括在基板被引入 室时检测基板的负载是否作用在所有抬升销上；以及基于所引入 的基板的负载是否作用在所有抬升销上的检测结果来判断基板破 裂状态或基板的错误加载状态。
所述方法可以还包括在判断出基板破裂或被错误加载时指示 基板破裂状态或基板的错误加载状态。
在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于检测基板 的方法中，在检测基板负载是否作用在抬升销上，所有抬升销可
以分别被检测，并且如果至少一个抬升销不输入检测结果，则可 以判断出基板的一部分破裂或基板被错误加载并且因此基板负载 不作用于至少一个抬升销，因而所引入基板的(正确或不正确) 状态可以容易地检测到。
一种用于检测基板的方法被提供，其中可以使用这里以实施 例的方式在广泛意义上描述的用于判断是否存在基板的装置以检 测位移，是否所有抬升销发生位移可被检测，并且如果至少一个 抬升销中不发生位移，则可以判断出基板的一部分破裂或基板被 错误加载，因而所引入基板的状态可以容易地检测到。
一种使用这里以实施例的方式在广泛意义上描述的位移检测 型装置来检测基板以判断是否存在基板的方法被提供，其可包括
在基板被引入室时检测基板是否使所有抬升销位移；以及基于是 否所有抬升销由于所引入的基板而发生位移的检测结果判断基板 的破裂状态或基板的错误加载状态。
所述方法可以还包括，当判断出基板破裂或被错误加载时， 指示基板破裂状态或基板的错误加载状态。
在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于检测基板 的方法中，在检测抬升销是否发生位移时，所有抬升销可以分别 被检测，并且如果至少一个抬升销不输入检测结果，则可以判断 出基板的一部分破裂或者基板被错误加载，并且因此基板负载不 作用于至少一个抬升销，因而所引入基板的(正确或不正确)状 态可以容易地检测到。
一种用于判断闸门阀开闭的装置被提供，其中闸门阀的状态 被检测，并且基于检测结果确定闸门阀是否可以被打开或关闭， 这可以提供下述优点，即工人可以快速且方便地证实闸门阀的开 闭。
这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于判断闸门 阀开闭的装置可包括闸门阀检测装置，用于检测闸门阀的打开状 态或关闭状态，以便打开和关闭室的闸门缝；以及判断装置，用 于从闸门阀检测装置接收检测结果并且判断闸门阀的开闭。
闸门阀检测装置可包括光发射传感器，和用于接收从光发射 传感器输出的信号的光接收传感器。光发射传感器和光接收传感 器二者中的一个传感器可以安装在闸门阀上，另一个传感器可以 被安置成与前一个传感器相对。
闸门阀检测装置可包括反射板，和用于输出信号至反射板和 接收被反射板反射的信号的光学传感器模块。反射板和光学传感 器模块二者之一可以安装在闸门阀上，二者中另一可以被安置成 与第一个相对。
在特定实施方式中，安装在闸门阀上的闸门阀检测装置之一 可以布置在闸门阀外侧，另一闸门阀检测装置可以安装在传送机 器人上，机器人用于传送基板以将基板引入室中和从室排出基板。
在可选实施方式中，安装在闸门阀上的闸门阀检测装置之一， 可以布置在闸门阀外侧，另一闸门阀检测装置可以安装在导向件 上，导向件引导传送机器人运动以将基板引入室中和从室排出基 板。
闸门阀检测装置可包括沿着作用线安装的传感器，用于关闭 闸门阀的力沿着该作用线作用于闸门阀，闸门阀被所述力致动， 以关闭闸门阀。
判断装置可包括控制装置；并且本发明的装置可以还包括通
知装置，用于在控制装置的控制下指示闸门阀的开闭。
在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于判断闸门 阀开闭的装置中，可以提供下述优点，即由于使用闸门阀检测装 置可检测闸门阀的开闭，并且基于检测结果可以确定闸门阀是打 开还是关闭的，并且然后作出指示，因此闸门阀的开闭可以快速 且方便地证实，并且闸门阀的(打开和关闭)状态可以精确地识 别出来。
一种用于将基板引入室的方法被提供，其中使用了这里以实 施例的方式在广泛意义上描述的用于判断闸门阀开闭的装置，并 且只在闸门阀被打开时基板可以被引入室，因而可以在闸门阀关 闭时防止基板被引入，从而可以防止基板和将基板置于其上的传 送机器人由于与闸门阀碰撞而受损。
这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于将基板引 入室的方法可包括使用用于判断闸门阀开闭的装置判断是否闸门
阀是打开还是关闭的；以及当判断出闸门阀被打开时，将待处理
基板传送到室中。
所述方法可以还包括，当判断出闸门阀被关闭时，指示闸门 阀的关闭。
在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于将基板引 入室的方法中，使用了用于判断闸门阀开闭的装置，可以提供下 述优点，即由于只在通过判断装置判断出闸门阀被打开时基板可 以被引入，因此可以在闸门阀关闭时防止待处理基板被引入室， 从而可以防止基板和将基板置于其上的传送机器人碰撞到闸门 阀，由此防止基板、传送机器人和闸门阀受损。
本说明中涉及的"一个实施方式"、"实施方式"、"代表性实施 方式"、"特定实施方式"、"可选实施方式"等任何一种措辞意味着
结合实施例描述的特定特征、结构或特性包含在这里在广泛意义 上描述的至少一个实施方式中。在本说明书中各处出现的上述措 辞并不一定意味着指的是同一实施方式。另外，当结合任何实施 方式描述特定特征、结构或特性时，应当解读为，在本领域技术 人员所能预期的范围内，这些特定特征、结构或特性可以实施于 其它实施方式。
尽管前面参照一定数量的代表性实施例描述了本发明的实施 方式，但应理解，本领域技术人员所能构想出的其它改型和实施 方式也应落入本申请的精神和范围内。特别地讲，在本说明书及 其附图以及权利要求书限定的范围内可以对组成元件和/或结构作 出各种改型和修改。除了组成元件和/或结构的改型和修改，它们 的等同替换对于本领域技术人员而言也可清楚地理解。
权利要求
1.一种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置包括多个抬升销，它们被构造成通过延伸穿过台面的相应多个孔而同时升起和同时降低，所述台面被构造成将基板接收于其上；基板检测装置，其连接着所述多个抬升销，其中所述检测装置被构造成检测所述多个抬升销的状态，并且基于所检测到的状态产生相应的检测信号；以及判断装置，其被构造成从所述检测装置接收检测信号，并且基于检测信号判断基板是否安置在所述多个抬升销中的每个上。
2. 如权利要求l所述的装置，其中，当所述多个抬升销升高 时，所述检测装置检测由安置在所述多个抬升销上的基板施加在 所述多个抬升销上的负载。
3. 如权利要求2所述的装置，其中，所述检测装置包括为所 述多个抬升销中的每个设置的传感器，每个传感器沿着基板施加 到相应抬升销上的负载所产生的力的作用线安置，其中传感器通 过基板施加的负载而被致动。
4. 如权利要求3所述的装置，其中，传感器被安置在所述多 个抬升销的上端和被所述多个抬升销支撑的基板下表面之间，或 在所述多个抬升销的下端和固定着所述多个抬升销的销支撑结构 之间。
5. 如权利要求3所述的装置，其中，所述多个抬升销中的每 个包括下侧销和安置在下侧销上面的上侧销，其中传感器安置在 下侧销的上端和上侧销的下端之间，从而使得传感器通过基板施 加的负载和上下侧销之间相应的压縮而被致动。
6. 如权利要求2所述的装置，其中，所述多个抬升销中的每 个包括弹性元件，每个弹性元件连接着相应的抬升销，以便在所 述多个抬升销升高时吸收由安置在抬升销上的基板施加在抬升销 上的负载的至少一部分，从而使得所述多个抬升销从台面突伸的 高度因此而被调节。
7. 如权利要求6所述的装置，其中，所述检测装置包括为所 述多个抬升销中的每个设置的位移探测器，每个位移探测器被构 造成探测相应抬升销由基板施加在其上的负载所引起的预定量的 竖直运动。
8. 如权利要求7所述的装置，其中，每个位移探测器包括发 射器和接收器，它们被可操作地连接着，以便探测相应的抬升销 的竖直位移，其中发射器和接收器之一安装于抬升销的外壁中， 另一个安装于基板支撑件中的相应孔的内壁中，并且当发射器基 于抬升销的竖直位置而对准接收器时，接收器接收来自发射器的 信号。
9. 如权利要求7所述的装置，其中，每个位移探测器包括发 射器和接收器，它们被可操作地连接着，以便探测相应的抬升销 的竖直位移，其中发射器和接收器之一安装于抬升销的外壁中， 另一个安装在连接着销支撑结构的支架上，并且当发射器基于抬 升销的竖直位置而对准接收器时，接收器接收来自发射器的信号。
10. 如权利要求7所述的装置，其中，每个位移探测器包括发射器和接收器，它们被可操作地连接着，以便探测相应的抬升销 的竖直位移，其中发射器和接收器彼此面对面地安装在基板支撑 件中的相应孔的相对内侧壁中，并且抬升销包括传送孔，当传送 孔基于抬升销的竖直位置而与发射器和接收器对准时，接收器通 过传送孔接收来自发射器的信号。
11. 如权利要求7所述的装置，其中，每个位移探测器包括发 射器和接收器，它们被可操作地连接着，以便探测相应的抬升销 的竖直位移，其中发射器和接收器安装在抬升销的外壁中，并且 反射板被提供在基板支撑件中的相应孔的内壁上，其中接收器基 于抬升销的竖直位置接收来自发射器并被反射板反射的信号。
12. 如权利要求7所述的装置，其中，所述多个抬升销中的每 个包括下侧销和安置在下侧销上面的上侧销。
13. 如权利要求2所述的装置，其中，所述判断装置接收来自 基板传感器的测信号并且判断基板是否向所述多个抬升销中的每 个施加负载，并将相应的信号传送到通知装置，其中通知装置被 构造成产生所述多个抬升销中的每个的负载承载状态的声频和视 频指示中的至少一种。
14. 如权利要求13所述的装置，其中，通知装置包括对应于 所述多个抬升销的多个指示灯，其中所述判断装置基于负载是否 施加到相应的抬升销上而选择性地点亮所述多个指示灯。
15. 如权利要求1所述的装置，还包括闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开和关闭处理室入口的闸门的位置并且输出相应 的信号，其中所述判断装置被构造成接收由闸门阀传感器输出的信号，并且确定闸门的位置，以及将相应的信号输出到通知装置，通知装置被构造成提供闸门位置的视频和声频指示中的至少一种。
16. —种用于将基板引入室中的方法，所述方法包括判断基板是否安置在设置于室中的台面上；以及然后，当判断出没有基板安置在台面上时，将基板传送到台 面上以便进行处理。
17. 如权利要求16所述的方法，其中，判断基板是否安置在台面上包括检测基板产生的负载是否施加到从台面向上延伸的多个抬升销上；如果负载施加到所述多个抬升销中的每个上，则判断出基板 安置在台面上；以及如果没有负载施加到所述多个抬升销中的每个上，则判断出 基板没有安置在台面上。
18. 如权利要求17所述的方法，还包括，如果判断出基板安 置在台面上，则判断基板状态，其中包括在负载只施加到所述多 个抬升销中的一些上时判断出基板破裂或在台面上错位。
19. 如权利要求17所述的方法，还包括提供关于所述多个销承载负载和关于所述多个销未承载负载的视频或声频指示。
20. 如权利要求17所述的方法，其中，检测基板产生的负载 是否施加到所述多个抬升销上包括测量所述多个抬升销的位移， 或接收指示传感器已被压下的信号。
21. —种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置 包括闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开或关闭处理室中开 口的闸门阀的位置并且输出相应的信号；判断装置，其被构造成从闸门阀传感器接收信号，以判断闸 门阀处于相对于处理室中开口的打开还是关闭位置，并且输出相 应的信号；以及通知装置，其被构造成从所述判断装置接收信号，并且提供 闸门阀位置的视频和声频指示中的至少一种。
22. 如权利要求21所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光 发射传感器和光接收传感器，其中光发射传感器和光接收传感器 彼此相对地安装，光发射传感器和光接收传感器中的一个安装在 闸门阀上，另一个安装在至少部分地位于处理室中的导向件上， 其中导向件被构造成引导传送机器人进出处理室的运动。
23. 如权利要求21所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光 发射传感器和光接收传感器，其中光发射传感器和光接收传感器 彼此相对地安装，光发射传感器和光接收传感器中的一个安装在 闸门阀上，另一个安装在传送机器人上，所述传送机器人被构造 成传送基板进出处理室。
24. 如权利要求21所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光 发射传感器、光接收传感器和反射板，其中反射板安装在闸门阀 上，光发射传感器和光接收传感器安装成与反射板相对，从而使 得光发射传感器发出的光被反射板接收并反射，并且被反射板反 射的信号被光接收传感器接收。
25. 如权利要求21所述的装置，其中，闸门阀传感器包括推 压式开关、电触点开关或电应变仪，其靠近闸门阀连接着处理室， 其中闸门阀传感器响应于与闸门阀的接触而被致动。
26. —种用于将基板引入处理室的方法，所述方法包括-判断用于打开和关闭处理室中开口的闸门阔的位置；以及 在判断出闸门阀打开时，将基板传送至处理室。
27. 如权利要求26所述的方法，其中，判断闸门阀位置包括 检测闸门阀的运动，并且基于检测到的运动判断闸门阀的位置。
28. 如权利要求26所述的方法，还包括提供关于闸门阀位置 的通知，所述通知采用视频和声频指示器中的至少一种形式。
全文摘要
提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸门阀关闭时防止将基板引入处理室。
文档编号H01L21/66GK101192554SQ20071018122
公开日2008年6月4日 申请日期2007年10月25日 优先权日2006年11月29日
发明者李仁宅 申请人:爱德牌工程有限公司