用于将基板引入处理室的系统和方法

专利名称：用于将基板引入处理室的系统和方法
技术领域：
本发明涉及基板处理系统，特别涉及用在基板处理系统中以方便传送基板的监视 系统。
背景技术：
平板显示器可包括液晶显示器、等离子显示板、有机发光二极管以及其它类似器 件。这些平板显示器可以利用包括处理室、加载锁定真空室和传送室的真空处理设备来制 造。 处理室处理基板的表面，例如，通过在真空中使用等离子、热能或类似物而进行蚀 刻处理。加载锁定真空室从外侧接收未处理基板，并将处理后的基板排放到外侧，同时在大 气状态和真空状态之间进行交替。当将基板引入处理室和由处理室排放时，传送室可以用 作中间保持地点。为此，传送室可以布置在处理室和加载锁定真空室之间。正确排序和传 送基板进出处理室，对于确保正确处理基板和防止基板在传送过程中受损是重要的。


下面将参照附图描述本发明的实施方式，在附图中以相同的附图标记表示类似的 元件。在附图中 图1A和1B是代表性处理室的剖视图，其中图1A示出了抬升销的升高状态，图1B 示出了抬升销的降低状态； 图2A和2B是图1A和1B中所示代表性处理室中安置的基板的俯视图，其中图2A 示出了基板的破裂状态，图2B示出了基板的错误加载状态；
图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图； 图4是处理室的剖视图，根据这里在广泛意义上描述的第一实施方式的利用抬升 销判断是否存在基板的装置可被采用于此；
图5是图4中的部分'A'的放大图； 图6是根据这里在广泛意义上描述的第二实施方式的利用抬升销判断是否存在 基板的装置的局部剖视图； 图7是根据这里在广泛意义上描述的第三实施方式的利用抬升销判断是否存在 基板的装置的局部剖视图； 图8是根据这里在广泛意义上描述的一个实施方式的通过利用抬升销判断是否 存在基板的装置来引入基板并且检测所引入基板状态的方法的流程图；
图9是处理室的剖视图，其中根据这里在广泛意义上描述的第四实施方式的利用 抬升销判断是否存在基板的装置可被采用于此；
图IOA和10B是图9中的部分'B'的放大图，其中图10A示出了抬升销不发生位 移的状态，图10B示出了抬升销发生位移的状态； 图IIA和IIB是根据这里在广泛意义上描述的第五实施方式的利用抬升销判断是 否存在基板的装置的剖视图； 图12A-12D是代表性位移检测装置的剖视图，其可被用在图9所示的利用抬升销 判断是否存在基板的装置中； 图13A-13D是各种位移检测装置的剖视图，它们可被用在图ll所示的利用抬升销 判断是否存在基板的装置中； 图14是用于通过图9或图11中所示的利用抬升销判断是否存在基板的装置来引 入基板并且检测所引入基板状态的方法的流程图； 图15是平板显示器制造设备的剖视图，其中，根据这里在广泛意义上描述的第六 实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置可被采用于此；
图16是图15所示的闸门阀检测装置的放大图； 图17是图15所示的闸门阀检测装置的沿着箭头A'所示的方向所作的剖视图；
图18是根据这里在广泛意义上描述的第七实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图； 图19是根据这里在广泛意义上描述的第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图； 图20是根据这里在广泛意义上描述的第九实施方式的用于判断闸门阀开闭的装 置的局部剖视图；以及 图21是代表性传送机器人的透视图。
具体实施例方式
下面参看本发明的各种实施方式，它们的例子显示在附图中。尽可能地在所有附 图和说明书中用相同的附图标记表示相同或相似的部件。 图1A和1B是代表性实施方式的处理室的剖视图。处理室可包括室ll，其在侧壁 中具有闸门缝(gate slit)llg，以使得基板可以被引入室ll或从室ll排出，安装于室ll 的上部区域中的上侧电极组件12，安置在上侧电极组件12下面的下侧电极组件13，安装于 下侧电极组件13中的多个抬升销14，以及同时升降所述多个抬升销14的抬升机构15。如 有必要，闸门缝和闸门阀也可以配备给传送室和/或加载锁定真空室。
闸门缝llg可以通过闸门阀llv而被开闭。待处理基板可以布置在下侧电极组件 13的上表面或"台面"上。抬升机构15可包括销板16，其上固定着相应抬升销14的下端， 以及以滚珠丝杠驱动方式升降销板16的滚珠丝杠17和电机18。 为将基板引入处理室，在加载锁定真空室(未示出)中处于待用状态的传送机器 人(未示出)可被致动。基板可以被保持在下侧电极组件13(以下称作"台面")上方，如 显示于图1A，并且抬升销14可以通过抬升机构15而被抬升。然后，当抬升销14被充分抬 升后，传送机器人可以将基板安置在升高的抬升销14上并移出室11，并且抬升销14可以被 降低。如显示于图1B，一旦被完全降低，抬升销14即完全撤入台面13中并且不再突伸到台 面13的上表面上方，而基板由台面13支撑。
当基板的表面处理完成后，抬升销14可以被抬升以从台面13升高基板，传送机器 人的臂可以移动到基板下面的位置。之后，随着抬升销14下降，基板可以在传送机器人移 出室11时支靠在传送机器人的臂上，以从室11排放基板。在如前所述的处理室中，连续引 入基板容易持续进行，除非处理过程被手工中断。因此，如果基板被引入室11中以便处理， 并且另一基板已经安置在室11处，则传送机器人的臂和先前引入的基板可能相互干涉，有 可能损坏一或两个基板。 为了解决这一问题，室11可包括检测窗(未示出)，以允许从外侧观察室11的内 部。然而，室11的内部可能照明不佳，或未照明，因此可能难以确实地证实基板是否存在于 室11中。另外，每次为将被引入室11的新基板实施视频检测室11的内部以检查基板是否 存在是耗时的并且可能导致制造过程缓慢。 如果不执行视频检测，或检测不精确，基板可能会在破裂状态下被引入室11，如显 示于图2A，或者，取决于传送机器人的状态，所引入的基板可能被错误地加载，如显示于图 2B。如果破裂或错位的基板被引入室ll，处理操作可能被实施于最终被废弃的基板。
图3是用于制造平板显示器的代表性设备的俯视图，所述设备可包括加载锁定真 空室(load lock chamber) l，具有闸门缝22和闸门阀24的处理室(process chamber) 2， 传送室3，传送机器人4，和导向件5。传送机器人4可包括机器人本体42，其在驱动装置产 生的驱动力作用下沿着导向件5移动，以及手部44，其配备给机器人本体42，以接收将被传 送的基板。 为将基板引入处理室2以便处理，闸门阀24可以被打开以敞开闸门缝22。传送 机器人4可以被加载锁定真空室1中的基板加载并沿着导向件5朝向处理室2移动，并且 可以通过闸门缝22进入处理室2。然后，传送机器人4可以卸载基板并且返回至传送室3。 在处理过程中，闸门阀24和闸门缝22可以保持关闭。 如前所述，当将基板引入处理室2时，闸门阀24需要被打开以敞开闸门缝22。然 而，如果闸门阀24由于例如故障或误操作而保持关闭，则由于如前所述设备的构造和检测 能力，这种状态可能不被识别出来。因此，通过传送机器人4而被传送进入处理室2的基板 可能碰撞到闸门阀24，有可能损坏基板、传送机器人4和/或闸门阀24。
为解决这些问题，如显示于图4和5，处理室可包括室51，其可以提供真空空间以 用于基板的表面处理，分别可以彼此面对面地安装在室51内的上侧区域和下侧区域的上 侧电极组件52和下侧电极组件53，可以通过下侧电极组件53竖直升降的多个抬升销54， 可以同时升高和同时降低所述多个抬升销54的销抬升机构55，以及利用抬升销54和相关 的销抬升机构55来判断基板是否已经存在于室51中的装置60。室51可以具有位于其一 个侧壁中的闸门缝51g，基板可以通过该闸门缝被引入室51或从室51排出。闸门缝51g可 以通过闸门阀51v而被开闭。波纹管59可以在室51和销抬升机构55的一部分之间包围 抬升销54，以在室51中维持真空状态。 上侧电极组件52可包括喷头(未示出)用于喷射处理气体，以用于基板的表面处 理。下侧电极组件53可以用作可在其上安置所引入的基板的卡盘头，因此下侧电极组件53 的接收表面可以被称作"台面"。下侧电极组件53可包括销孔53h，相应抬升销54可以通 过销孔而被抬升和降低。销孔53h可以沿竖直方向延伸，或沿着与抬升销54的定向相对应 的方向延伸。销孔53h可以以规则的间隔靠近下侧电极组件53(以下称作"台面")的边缘提供。取决于抬升销54的数量和位置，以及基板所需的定位、支撑和运动，销孔53h的数量 和位置可以变化。 销抬升机构55可包括销板56，可以在其上固定相应抬升销54的下端，以及驱动装 置，用于升降销板56。图4中所示的驱动装置包括滚珠丝杠57，其连接着销板56，以及电机 58，其用于沿两个方向(顺时针和逆时针)旋转滚珠丝杠57。其它用于驱动装置的部件也 是可以构想出来的。 用于判断是否存在基板的装置60可包括基板检测装置61，判断装置62和通知装 置63。当抬升销54被升高而从台面53伸出并且支撑基板时，基板检测装置61可以检测基 板负载是否作用在抬升销54上。基板检测装置61可以以下述方式构造，即当其检测到基 板负载作用在抬升销54上时，相应的检测结果，或检测信号，从基板检测装置61输出到判 断装置62。为了便于基本上立即输出这样的信号，判断装置62可以电连接至基板检测装置 61。 基板检测装置61可包括传感器，其安装在将被带到与基板接触的抬升销54中的 一些或全部的相应上端，并且在基板负载作用在抬升销54上时将被基板负载致动。当传感 器接收基板负载时，传感器可以由基板负载致动，并且输出相应的检测信号至判断装置62。 例如，推压式开关可以被构造成使得，当推压式开关被推压时，电连接被机械地建立。作为 可选方式，电接触传感器或电气检测与基板之间接触的电应变仪可以被采用。
判断装置62可以从基板检测装置61也就是传感器接收检测信号，并因此而判断 是否存在基板。判断装置62可包括控制装置，用于控制平板显示器制造设备的操作。当如 前所述判断出基板存在于室51中时，控制装置可以输出相应的控制信号，从而使得可电连 接至控制装置的通知装置63可被致动。相反，如果判断出没有基板存在于室51中，则控制 装置可以输出相应的控制信号，从而使得待处理基板可以被引入室51中。通过这种方式， 控制装置可以控制平板显示器制造设备的操作。 在控制装置的控制下，通知装置63可以通知工人基板是否存在。通知装置63可 包括，例如，警示灯63w或监视器，用于视频通知，扬声器63s或蜂鸣器，用于声频通知，或如 有必要，包括其它装置。类似地，视频通知装置和声频通知装置可以被一起使用。
警示灯63w的设置数量可以对应于传感器61的数量(抬升销54的数量，如果每 个抬升销54具有一个传感器61的话)，从而使得，当每个传感器61输出检测信号时，控制 装置可以响应于检测信号而接通相应的警示灯63w。在这一方面，由于传感器61安装在每 个相应抬升销54上的事实，如果室51中基板负载不均匀分布并且因此不作用在所有抬升 销54上，则可以判断出基板局部破裂，或者在基板负载不作用在所有的抬升销54上的情况 下判断出基板被错误加载。结果，可以确定所引入的基板是否处在正确状态。
如显示于图6，根据第二实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置可包括 分别安装在抬升销54下端的基板检测装置61A，以便被安置在抬升销54与其支撑结构例如 销板56之间。作为可选方式，支撑结构可包括其它构成元件，只要它们沿着基板负载作用 在抬升销54上的作用线安置以支撑抬升销54即可。 如显示于图7，在根据第三实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置中，每 个抬升销54B可包括上侧销54u，其安置在上侧位置，以及下侧销54d，其安置在上侧销54u 下面。因此，整体上看，每个抬升销54B可以具有被划分为上下侧部分结构的。基板检测装置61B可以布置在抬升销54B的以这种方式划分的上侧销54u和下侧销54d之间。基板检
测装置61B可以安装在下侧销54d的上端，或安装在上侧销54u的下端。 下面将参照图8描述一种使用根据第一至第三实施方式的用于判断是否存在基
板的装置中的任何一个来引入基板并且检测所引入基板的状态的方法。 在正常操作中，抬升销54可以被降低并且插入销孔53h，从而使得其上端不从台
面53伸出。为将加载锁定真空室中处于待用状态的基板引入室51，并将基板加载到台面
53上以便处理，所述多个抬升销54可以利用来自销抬升机构55(S1)的驱动力而同时升起
以接收基板，并且然后降低至它们的初始位置。 基板检测装置61的传感器通过检测基板负载是否作用在抬升销54上而检测基板是否安置在抬升销54上，并且将检测结果传送到控制装置(S2)。如果来自至少一个传感器的检测信号输入到控制装置，则控制装置判断出基板存在(S3)。相反，如果没有检测信号从传感器输入，则控制装置判断出没有基板存在(S4)。 当基板的存在被确定后(S3)，控制装置输出控制信号并且启动通知装置63(S13)。工人可以基于通知识别基板的存在，并且可以采取后续的所需行动。在这种情况下，如果在室51中检测到当前存在基板，控制装置可以进一步被构造成防止引入新的基板。作为可选方式，或者作为附加，处理过程可以前进至判断是否负载作用在所有抬升销54上(S7)，以确定被检测基板的状态。 当判断出不存在基板后(S4)，传送机器人可以被驱动以弓|入待处理基板，并将基
板放置在台面53上(S5)。抬升销54可以被抬升以从传送机器人接收新引入的基板，并且
然后降低至初始位置(S6)。在抬升销54接收基板后，传送机器人可以移出室51。 传感器检测基板负载是否作用在所有抬升销54上，而控制装置从传感器接收检
测结果(S7)。如果没有从每个传感器接收到检测信号，则控制装置判断出相应的基板的一
部分破裂(见图2A)，或者基板被错误加载(见图2B) (S8)。相反，如果检测信号被从所有
传感器输入，则控制装置判断出基板没有破裂并且基板已被正确加载(S9)。 如果判断出基板处于不正确状态时(S8)，控制装置输出信号以启动通知装置
63(S13)，以便通知工人这种状况。因此，工人可以识别基板状态，并且可以采取适宜的行
动。控制装置可以进一步被构造成中断执行后续过程，直至工人采取修正行动。 相反，如果判断出基板处在正确状态(S9)，基板的表面处理被执行(S10)。如果表
面处理完成，已经完全经历表面处理的基板通过下述方式而被排出，即升高抬升销54，将传
送机器人引入室51，降低抬升销54，将传送机器人移出室51 (S11)。设备然后既可以处理另
一基板，也可以结束处理(S12)。 根据第四实施方式的处理室和利用抬升销判断是否存在基板的装置，如显示于图9和10A-10B，可包括室151，闸门缝151g，闸门阀151v，上侧电极组件152，台面153，销孔153h，多个抬升销154A，销抬升机构155，销板156，滚珠丝杠157，电机158，波纹管159，和用于判断是否存在基板的装置160。在这些构成元件中，室151、闸门缝151g、闸门阀151v、上侧电极组件152、台面153、销孔153h、销抬升机构155、销板156、滚珠丝杠157、电机158和波纹管159类似于前面描述的那些，并且因此省略对其详细描述。 所述多个抬升销154A可以具有这样的结构，其中，取决于基板是否放置在台面153上，抬升销154A的突伸高度被改变并且抬升销154A被移位。每个抬升销154A可包括
7本体和弹性支撑本体的弹性元件E1。在特定实施方式中，每个弹性元件E1可以是螺旋弹簧，其安装在抬升销154A的本体下端，安置在抬升销154A的本体和销板156之间。螺旋弹簧还可以提供支撑结构，用于支撑抬升销154A。 如果在基板放置在台面153上的状态下销抬升机构155被启动并且每个抬升销154A被升高，则弹性元件E1通过基板负载而被压縮，如显示于图IOB，并且同图IOA所示在没有基板放置在台面153上的状态下抬升销154A被升高时相比，抬升销154A的突伸高度减小。弹性元件E1可以具有这样的强度，从而使得其通过基板负载而被压縮，但是当没有基板放置在台面153上时，不会被抬升销154A的本体的负载压縮。弹性元件E1可以是图中所示的螺旋弹簧，橡胶，海绵，或其它适宜的构件。 抬升销154A的位移结构显示于图10A和IOB。在图10A中，没有基板放置在台面153上，抬升销154A被升高，Hl表示相应的抬升销154A的突伸高度。在图10B中，基板放置在台面153上，抬升销154A被升高，H2表示相应的抬升销154A的突伸高度。
用于判断是否存在基板的装置160，如显示于图9，可包括位移检测装置161A，判断装置164和通知装置165。 每个位移检测装置161A检测是否弹性元件El被基板压縮而使得抬升销154A的突伸高度从抬升销154A由台面153伸出的完全升高位置改变一段预定高度。当检测到抬升销154A被移位后，相应的检测结果(相应的检测信号)从位移检测装置161A被传送至判断装置164。为了实现基本上立即传送该信号，判断装置164可以电连接至位移检测装置161A。 位移检测装置161A检测所有相应抬升销154A的位移。位移检测装置161A可以分别沿着用于压縮弹性元件E1的力起作用的作用线安装，从而在弹性元件E1被压縮时被所述力致动，并且抬升销154A的本体和销板156之间的间隔减小。位移检测装置161A可以以下述方式包括传感器，从而使得，当传感器接收所述力时，传感器被所述力致动并且输出检测信号至判断装置164。 在特定实施方式中，每个传感器可以安装在销板156上并且插入构成弹性元件El
的螺旋弹簧中，以便被安置在抬升销154A的本体和销板156之间。其它安装方式也是可
以构想出来的，并且每个传感器被沿着作用线安置从而每个传感器可以接收作用力就足够
了。例如，致动臂可以设置在抬升销154A的本体下部，从而垂直于抬升销154A升降的方向
延伸，并且传感器可以安装在销板156上，从而被安置在致动臂和销板156之间。 前面描述的传感器可以是，例如，推压式开关，其被构造成使得，当推压式开关被
推压时(被抬升销154A的本体)，电连接可以被以机械方式形成。作为可选方式，电气检测
基板和抬升销154A的本体之间的接触的电接触传感器或电应变仪可以被使用。 判断装置164从位移检测装置161A也就是传感器接收检测信号，并且判断是否存
在基板。判断装置164可包括控制装置，用于控制平板显示器制造设备的操作。 当判断出基板存在于室151中时，控制装置可以输出相应的控制信号，从而使得
可电连接至控制装置的通知装置165被致动。相反，如果判断出没有基板存在于室151中，
控制装置可以输出相应的控制信号，从而使得待处理基板可以被引入室151。通过这种方
式，控制装置控制平板显示器制造设备的操作。 在控制装置的控制下，通知装置165可以通知工人基板是否存在。通知装置165可以是，例如，警示灯165w或监视器，用于视频通知，或扬声器165s或蜂鸣器，用于声频通知。其它部件也是可以构想出来的，并且视频通知装置和声频通知装置可以被一起使用。
通知基板是否存在可以以一定数量的警示灯165w实施，警示灯数量的对应于传感器的数量(也就是说抬升销154A的数量)。因此，当任何一个传感器输出检测信号时，控制装置可以响应于检测信号接通相应的警示灯165w。如果位移不发生在所有抬升销154A(并且一或多个警示灯165w未点亮)，则即使基板被安置在室151中，也可以判断出基板可能局部破损和/或错误加载，因为基板负载没有作用在一或多个抬升销154A上。因此，可以判断基板是否在室151中处在正确状态。 根据第五实施方式的利用抬升销判断是否存在基板的装置，如显示于图11，可包括多个抬升销154B，它们每个具有上侧销154u，安置在上侧销154u下面并且在下端固定至销板156的下侧销154d，和弹性元件E2，其安装在上侧销154u或下侧销154d上，以便被安置在下侧销154d和上侧销154u之间，并且弹性支撑上侧销154u。 弹性元件E2可以是螺旋弹簧，橡胶，海绵，或其它适宜的弹性部件。与图9-10B所示弹性元件El的方式相同，弹性元件E2可以具有足够的强度，以便被基板负载压縮，但是不被上侧销154u的负载压縮。 将基板放置在台面153上的状态下抬升销154B的突伸高度H2与基板没有放置在台面153上的状态下的突伸高度H1相比，对于下侧销154d，突伸高度没有变化，然而，对于上侧销154u，突伸高度被改变并且发生位移。 位移检测装置161B可以执行类似于图9-10B所示位移检测装置161A的功能。每个位移检测装置161B可以安装在上侧销154u或下侧销154d上，以适宜的端部插入螺旋弹簧弹性元件E2，以便被安置在上侧销154u和下侧销154d之间。 在可选实施方式中，抬升销154B可以被以这样的方式构造，即在抬升销154B被分为上侧销154u和下侧销154d的点(位置)总是位于室151外侧。通过如此构造，当抬升销154B处于升高状态时，通过如前所述在下侧销154d上提供致动臂(未示出)，位移检测装置161B可以被安装在致动臂和销板156之间。 与这里在广泛意义上描述的第四实施方式一起使用的位移检测装置的各种实施方式示出于图12A-12D。如显示于图12A，每个位移检测装置162A可包括光发射传感器F1和光接收传感器R1。光发射传感器F1或光接收传感器R1 二者之一可以安装在抬升销154A的本体，二者中的另一可以安装在销孔153h的壁上。光接收传感器R1从光发射传感器F1接收信号。为此，光发射传感器Fl和光接收传感器Rl可以布置成当抬升销154A被升高时彼此相对。如果光发射传感器F1和光接收传感器R1以这种方式安装，光发射传感器F1和光接收传感器R1可以随着抬升销154A被升高输出，并且接收信号，而不论基板是否存在。出于这一原因，通过光发射传感器F1和光接收传感器R1分别输出和接收信号可以只在抬升销154A升高时被允许。作为可选方式，可以只在控制装置已经从位移检测装置162A接收信号后至少预定时间内作出相应的判断。 如显示于图12B，光发射传感器F1和光接收传感器R1中的任何一个可以被安置在销板156上方预定高度处，而非在销孔153h的壁上。支架BR可以可被设置，以将光发射传感器Fl或光接收传感器Rl保持在距离销板156的预定高度。 如显示于图12C，光发射传感器Fl和光接收传感器Rl可以安置于销孔153h的壁
9的相对两侧中，抬升销154A夹在它们之间。信号传送孔T1可以延伸通过抬升销154A，从而 使得光发射传感器Fl和光接收传感器Rl在对准传送孔Tl时可以交换信号。因此，当抬升 销154A被升高时，光发射传感器Fl输出的信号可以穿过信号传送孔Tl并被光接收传感器 Rl接收。 如显示于图12D，位移检测装置163A可包括光发射传感器F1，光接收传感器R1和 反射板P1。光发射传感器F1可以输出信号至反射板P1，光接收传感器R1可以接收被反射 板P1反射的信号。反射板P1可以安装在抬升销154A上，并且光发射传感器F1和光接收 传感器R1可以均安装在销孔153h的壁中。光发射传感器F1可以被安置成使得，在抬升销 发生位移时154A时，信号被朝向反射板P1传送，并且光接收传感器R1可以被安置成使得， 在抬升销发生位移时154A时，由光发射传感器F1发射并被反射板P1反射的信号可以被光 接收传感器R1接收。 与这里在广泛意义上描述的第五实施方式一起使用的位移检测装置的各种实施 方式示出于图13A-13D。这些实施方式可包括光发射传感器F2，光接收传感器R2和反射板 P2，类似于前面参照图12A-12D讨论的。 如显示于图13A，每个位移检测装置162B可包括光发射传感器F2和光接收传感器 R2。光发射传感器F2或光接收传感器R2 二者之一可以安装在抬升销154B的上侧销154u 上，二者中的另一可以安装在销孔153h的壁上，从而使得光发射传感器F2和光接收传感器 R2在抬升销154B升高时安置在彼此相对的位置。 如显示于图13B，前面描述的光发射传感器F2和光接收传感器R2之一可以通过支 架BR保持在距离销板156的预定高度处，而非在销孔153h的壁中。 如显示于图13C，前面描述的光发射传感器F2和光接收传感器R2可以均安置在销 孔153h的壁的相对两侧，抬升销154B夹在它们之间。信号传送孔T2可以延伸通过上侧销 154u，从而使得光发射传感器F2和光接收传感器R2在抬升销154B升高并且信号传送孔Tl 对准它们时可以交换信号。 如显示于图13D，位移检测装置163B可包括光发射传感器F2，光接收传感器R2和 反射板P2。反射板P2可以安装在上侧销154u上，并且光发射传感器F2和光接收传感器 R2可以安装在销孔153h的壁上。光发射传感器F2可以被安置成使得，在位移发生于抬升 销154B时，信号被朝向反射板P2传送，光接收传感器R2可以被安置成使得，在位移发生于 抬升销154B时，被反射板P2反射的信号可以被光接收传感器R2接收。
下面将参照图14来描述使用根据这里在广泛意义上描述的第四实施方式或第五 实施方式的用于判断是否存在基板的装置来引入基板并且检测所引入基板的状态的方法。
举例来说，根据第四实施方式的用于判断是否存在基板的装置(包括若干形式的 位移检测装置)和根据第五实施方式的用于判断是否存在基板的装置(也包括若干形式的 位移检测装置)可以类似地用于图8所示的引入基板并且检测所引入基板的状态方法。为 了简化讨论，本方法借助于根据第四实施方式的用于判断是否存在基板的装置将被描述。 然而，可以理解，该方法还可以被实施于第五实施方式。 在正常操作中，抬升销154A可以被降低并且插入销孔153h，从而使得其上端不从 台面153伸出。为了将加载锁定真空室中处于待用状态的基板引入室151中，并将基板加 载到台面153上以便处理，利用来自销抬升机构155的驱动力，所述多个抬升销154A可以同时升起以接收基板，并且然后降低至它们的初始位置(S101)。 在这一过程中，在抬升销154A升高时，位移检测装置161A的传感器可以而检测基 板是否安置在抬升销154A上，并且弹性元件E1通过基板负载而被压縮以引起抬升销154 位移，控制装置可以从传感器接收检测结果(S102)。如果来自至少一个传感器的检测信号 输入到控制装置，控制装置可以判断基板存在(S103)。相反，如果没有检测信号从传感器输 入，控制装置判断不存在基板(S104)。 当基板的存在被确定后(S103)，控制装置输出控制信号并且启动通知装置 165(S113)。工人可以基于通知识别基板的存在，并且可以采取所需的行动。在这种情况 下，控制装置可以进一步被构造成，如果检测到室151中当前存在有基板，则防止引入新的 基板。作为可选方式，或者作为附加，处理过程可以前进至判断是否位移发生于每个抬升销 154A(S107)，以确定被检测基板的状态。 当判断出不存在基板后(S104)，传送机器人可以被驱动以引入待处理基板，并将 基板安置在台面153上(S105)。抬升销154A可以被抬升以在其上接收从传送机器人新引 入的基板，并且然后降低至它们的初始位置(S106)。在抬升销154A接收基板后，传送机器 人可以移出室151。 传感器检测是否位移发生于抬升销154A，控制装置从传感器接收检测结果 (S107)。如果没有从每个传感器都接收到检测信号，则控制装置判断出相应的基板的一部 分破裂(见图2A)和/或基板被错误加载(见图2B) (S108)。相反，如果检测信号被从所有 传感器接收，则控制装置判断出基板没有破裂，并且基板的加载已被正确执行(S109)。
如果判断出基板处于不正确状态(S108)，控制装置输出信号以启动通知装置 165(S13)，以便通知工人这种状况。因此，工人可以识别基板状态，并且可以采取适宜的修 正行动。控制装置可以进一步被构造成中断后续的处理，直至修正行动已被执行。
相反，如果判断出基板处在正确状态(S109)，基板的表面处理被执行(SllO)。如 果表面处理完成，已经完全经历表面处理的基板通过下述方式而被排出，即升高抬升销 154A，将传送机器人引入室151，降低抬升销154A，将传送机器人移出室151 (S111)。设备然 后既可以处理另一基板，也可以结束处理操作(S112)。 图15是一种平板显示器制造设备的剖视图，其中根据这里在广泛意义上描述的 第六实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置可被采用。 设备可包括加载锁定真空室260，其从外侧接收未处理基板并储存它，或者接收处 理后的基板并将其排放至外侧。设备可以还包括处理室270，其从加载锁定真空室260接 收未处理基板并对其进行处理，并且处理室的一个侧壁中限定出闸门缝272，其通过闸门阀 274被打开和关闭，用作基板的门道。设备可以还包括传送室280，其设置在处理室270和 加载锁定真空室260之间，传送机器人290，设置在传送室280中，以在加载锁定真空室260 和处理室270之间往复移动，并且将基板从加载锁定真空室260传送至处理室270或从处 理室270传送至加载锁定真空室260，导向件G-1，其引导传送机器人290精确运动，以及用 于判断闸门阀274开闭的装置300。 加载锁定真空室260和传送室280可以通过传送通道P_l相连，处理室270和传 送室280可以通过传送通道P-2相连。基板的门道可以被限定在加载锁定真空室260和传 送室280之间，以类似于闸门缝272的方式使用，并且门(闸门阀)可以安装于门道中，以
11打开和关闭门道。 处理室270可以被构造成在真空状态下实施基板的表面处理。处理可以使用等离 子、热能或类似物而被实施。另外，处理室270的闸门阀274可以从处理室270外侧打开和 关闭闸门缝272。闸门阀274可以是旋转型的，其一端铰接着处理室270，以通过枢转而打 开和关闭闸门缝272，或者是竖直运动型的，其中闸门阀274线性移动以打开和关闭闸门缝 272。闸门阀274可以被驱动装置(未示出)致动。 传送机器人290可包括机器人本体292，其在导向件G-1上移动，手部294，其连接 着机器人本体292，并且其上分别放置着将被传送的基板，和驱动装置(未示出)，其提供用 于移动机器人本体292的驱动力。 用于判断闸门阀274开闭的装置300可包括闸门阀检测装置310A，判断装置320 和通知装置330。闸门阀检测装置310A可以检测闸门阀274被打开以敞开闸门缝272还是 被关闭以封闭闸门缝272。闸门阀检测装置310A可以被构造成使得，当闸门阀274的关闭 被检测到时，相应的检测结果(检测信号)可以基本上立即从闸门阀检测装置310A输出至 判断装置320，判断装置电连接着闸门阀检测装置310A。 如显示于图16和17，闸门阀检测装置310A可包括反射板312a和光学传感器模 块。反射板312a可以安装在闸门阀274外侧(面对着传送室280的表面)。光学传感器模 块可以输出信号(光)至反射板312a，并且接收被反射板312a反射的信号。光学传感器模 块可包括光发射传感器314a和光接收传感器316a。 光发射传感器314a输出信号至反射板312a，光接收传感器316a接收由光发射传 感器314a输出并被反射板312a反射的信号。为了实现这一点，光学传感器模块可以被安 置在与反射板312a相对的位置。因此，光学传感器模块可以安装在导向件G-1上，该导向 件如前所述引导传送机器人290的运动。光发射传感器314a和光接收传感器316a可以被 安装成不干涉传送机器人290在导向件G-1上的运动。反射板312a和光学传感器模块的 安装位置可以调转，其中反射板312a安装在导向件G-l上，光学传感器模块安装在闸门阀 274上。 如前所述，判断装置320从闸门阀检测装置310A接收检测结果并且判断闸门阀 274处于打开状态还是关闭状态。判断装置320可包括控制装置，用于控制平板显示器制造 设备的操作。 当控制装置从闸门阀检测装置310A接收指示闸门阀274被关闭的检测结果后，控 制装置输出相应的控制信号，从而使得可电连接至控制装置的通知装置330可被致动。当 则控制装置判断出闸门阀274打开时，控制装置输出相应的控制信号，从而使得储存在加 载锁定真空室260中且未被处理的基板可以被传送机器人290传送并被引入处理室270。
在控制装置的控制下，通知装置330可以通知工人闸门阀274是打开还是关闭的。 通知装置330可包括警示灯332 (其例如可以被接通以指示闸门阀274的打开，以及被断开 以指示闸门阀274的关闭，反之亦然)。或者，用于视频通知的监视器可被采用，或者用于声 频通知的扬声器334 (其例如可以不产生声音以指示闸门阀274的打开，以及产生声音以指 示闸门阀274的关闭，反之亦然)或蜂鸣器可被采用。作为附加措施，视频通知装置和声频 通知装置可被一起采用。 根据第七实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置，如显示于图18，可包括闸门阀检测装置310B，其包括安装在闸门阀274外侧的光发射传感器314b和安装在导向件G_l上 的光接收传感器316b。光发射传感器314b可以输出信号(光)，光接收传感器316b可以 接收由光发射传感器314b输出的信号。因此，光发射传感器314b和光接收传感器316b可 以被安装成彼此相对，并且它们的安装位置可以调转。 根据第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置，如显示于图19，可包括闸门阀 检测装置310C，其包括安装在闸门阀274外侧的光发射传感器314c和设置在传送机器人 290上并被安置成与光发射传感器314c相对的光接收传感器316c。光接收传感器316c可 以安装在传送机器人290的手部294的远端。光发射传感器314c和光接收传感器316c的 安装位置可以调转，并且光接收传感器316c不是必须安装在手部294上。将光接收传感器 316c安装在传送机器人290以便能够与光发射传感器314c交换信号并且因此而不阻碍传 送机器人290的操作就足够了 。 尽管根据第八实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置被解释为第七实施方式的 结构的改型，但第八实施方式也可以通过改变第六实施方式的结构进行解释。在这种情况 下，反射板或光学传感器模块二者之一可以安装在闸门阀274上，二者中另一可以安装在 传送机器人290上。 根据第九实施方式的用于判断闸门阀开闭的装置，如显示于图20，可包括闸门阀 检测装置310D，其包括由支架B-1保持的传感器。该传感器可以沿着用于关闭闸门阀274 的力施加的作用线安装，从而被所述力致动。当所述力施加至传感器时，传感器因此而被致 动，并且输出检测信号至判断装置320(见图15)。传感器可以被安装在闸门阀274上方以 便在闸门阀274被关闭时接触闸门阀274的上表面。传感器不是必须以这种方式安装，而 是将传感器安装成位于所述作用线上并因此而承受作用力就足够了。例如，推压式开关可 以被构造成使得，当推压式开关被闸门阀274推压时，电连接被以机械方式产生。作为可选 方式，用于电气检测与闸门阀274之间接触的电接触传感器或电应变仪可以被采用。
图21是代表性传送机器人的透视图，其包括设置在机器人本体和机器人手部之 间的臂。臂可以被构造成收折和展开，如图21中的阴影线所示。在根据第六至第八实施方 式的用于判断闸门阀开闭的装置中，闸门阀检测装置的构成元件可以安装在传送机器人的 机器人本体、手部或臂上。 下面描述使用根据这里在广泛意义上描述的一个实施方式的用于判断闸门阀开 闭的装置来将基板引入处理室的方法。举例来说，根据第六实施方式的装置和根据其它实 施方式的装置可以类似地用于所述引入基板方法。下面，借助于根据第六实施方式的装置 来描述所述方法。 在正常操作中，闸门阀274保持关闭，闸门缝272维持于关闭状态。用于判断闸门 阀开闭的装置300判断闸门阀274是打开还是关闭的，并将此指示给工人。
如果闸门阀274被关闭，由闸门阀检测装置310A的光发射传感器314a输出的信 号被指向安装在闸门阀274的反射板312a。该信号通过反射板312a被反射，并被光接收 传感器316a接收。此时，闸门阀检测装置310A输出相应的检测结果至判断装置320。判 断装置320接收检测结果，判断出闸门阀274被关闭，并且输出相应的控制信号至通知装置 330。通知装置330通知工人闸门阀274被关闭。 如果需要将待处理基板引入处理室270并且处理基板，则闸门阀274可以被打开，例如，通过驱动装置的驱动力被降低。如果闸门阀274由于例如故障或误操作而不能被打 开，则用于判断闸门阀开闭的装置300通知工人闸门阀274仍然关闭。工人可以然后精确 地识别闸门阀274的打开或关闭状态，并且可以采取必要的修正行动。在这种情况下，判断 装置320可以进一步被构造成防止引入基板，直至修正行动已被执行。
随着闸门阀274被打开，反射板312a的位置相对于打开的闸门阀274改变，反射 板312a不能反射光发射传感器314a的输出信号，光接收传感器316a不能接收来自光发射 传感器314a的信号。结果，用于判断闸门阀开闭的装置300通知工人闸门阀274打开。
当通过装置300判断出闸门阀274打开时，传送机器人290执行引入程序，如下所 述。 传送机器人290沿着导向件G-l移动至加载锁定真空室260。在加载锁定真空室 260中，待处理基板安置在手部294上，并且然后传送机器人290沿着导向件G-l移动至处 理室270。传送机器人290通过闸门缝272进入处理室270，装载在手部294上的基板在处 理室270中卸载，并且传送机器人290返回其在传送室280中的初始位置。当传送机器人 290移出处理室270后，闸门阀274被关闭，例如，通过驱动装置的驱动力而被升高，在处理 室270中执行基板处理。 这里提供了一种借助于抬升销判断基板是否存在的装置，其中检测基板负载是否 作用在抬升销上，并且基于检测结果判断是否存在基板，从而工人可以快速且方便地证实 基板是否存在。 这里提供了一种判断借助于抬升销判断基板是否存在的装置，其中抬升销的突伸 高度基于是否存在基板而发生变化，是否位移发生于抬升销被检测，并且基于检测结果判 断是否存在基板，从而工人可以快速且方便地证实基板是否存在。 这里以实施例的方式在广泛意义上描述的用于判断是否存在基板的装置可包括
多个抬升销，它们被安装成通过由其上放置基板的台面所限定的销孔而抬升和降低，从而
在基板被引入室时使得抬升销升高；基板检测装置，用于检测升高的抬升销是否承载着基
板；以及判断装置，用于从基板检测装置接收检测结果并且判断是否存在基板。 基板检测装置可以检测基板负载是否作用在抬升销上。 基板检测装置可包括传感器，其沿着基板负载作用于抬升销的至少一条作用线安 装，以便被基板负载致动。作为可选方式，基板检测装置可包括传感器，它们沿着基板负载 作用于抬升销的各作用线安装，以便被基板负载致动。 传感器可以安装在将被带到与基板接触的抬升销上端，或者可以被安装在抬升销 和抬升销支撑结构之间。作为可选方式，每个抬升销可以分为上侧销和下侧销，每个传感器 可以被安装在上侧销和下侧销之间。 各抬升销可以具有这样的结构，其中它们的突伸高度基于抬升销是否承载基板而 变化，并且基板检测装置可包括位移检测装置，其检测各抬升销的突伸高度是否变化。
位移检测装置可以检测至少一个抬升销的位移，或者可以分别检测所有抬升销的 位移。 弹性元件可以被安装在每个抬升销和抬升销支撑结构之间。位移检测装置可包括 沿着基板负载压縮弹性元件的每条作用线安装的传感器，所述压縮导致减小抬升销和抬升 销支撑结构之间的距离，以便被基板负载致动。
在特定实施方式中，位移检测装置可以还包括光发射传感器，和用于从光发射传 感器接收信号的光接收传感器。光发射传感器和光接收传感器二者中的一个传感器可以安 装在抬升销上，另一个传感器可以被安置成在抬升销发生位移时与前一个传感器相对。
在可选实施方式中，位移检测装置可包括光发射传感器，和用于从光发射传感器 接收信号的光接收传感器。光发射传感器和光接收传感器可以被安置成彼此相对，而抬升 销夹在它们之间。信号传送孔可以被抬升销限定，从而使得在抬升销发生位移时光接收传 感器可以从光发射传感器接收信号。 在可选实施方式中，位移检测装置可包括反射板，用于输出信号至反射板的光发 射传感器，和用于接收从光发射传感器输出并被反射板反射的信号的光接收传感器。反射 板可以安装在抬升销上。光发射传感器和光接收传感器可以被安装成在抬升销发生位移时 输出信号至反射板，并且然后接收反射信号。 每个抬升销可以分为上侧销和下侧销，弹性元件可以被安装在上侧销和下侧销之 间。 位移检测装置可包括沿着基板负载压縮弹性元件的每条作用线安装的传感器，所 述压縮导致减小上侧销和下侧销之间的距离，以便被基板负载致动。 在可选实施方式中，位移检测装置可以还包括光发射传感器和用于从光发射传感 器接收信号的光接收传感器。光发射传感器和光接收传感器二者中的一个传感器可以安装 在抬升销的上侧销上，另一个传感器可以被安置成在抬升销发生位移时与前一个传感器相 对。 在可选实施方式中，位移检测装置可包括光发射传感器，和用于从光发射传感器 接收信号的光接收传感器。光发射传感器和光接收传感器可以被安置成彼此相对，而抬升 销的上侧销夹在它们之间，并且信号传送孔可以由抬升销的上侧销限定，从而使得光接收 传感器可以在抬升销发生位移时从光发射传感器接收信号。 在可选实施方式中，位移检测装置可包括反射板，用于输出信号至反射板的光发 射传感器，和用于接收从光发射传感器输出并被反射板反射的信号的光接收传感器。反射 板可以安装在抬升销的上侧销上。光发射传感器和光接收传感器可以被安装成在抬升销发 生位移时输出信号至反射板，并且然后接收反射信号。 判断装置可包括控制装置，并且本发明的装置可以进一步包括通知装置，用于在 控制装置的控制下指示是否存在基板。 在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于判断是否存在基板的装置中，
基板负载是否作用在抬升销上通过基板检测装置和判断装置而被检测，并且基于检测结果
判断是否存在基板，这可以提供下述优点，即是否存在基板可以被快速且方便地确定。 这里提供了用于将基板引入室中的方法，其中可以利用判断是否存在基板的装
置，以检测负载和位移，并且仅在室中没有存在另一基板时才允许将基板引入室，从而可以
在另一基板存在于室中的情况下防止基板被引入室，并且可以防止室中的另一基板由于与
传送机器人干涉而破裂。 这里以实施例的方式在广泛意义上描述的用于将基板引入室的方法可包括利用 判断是否存在基板的装置判断基板是否存在于台面上；以及当判断出没有基板存在于台面 上时将待处理基板传送到台面上。
所述方法可以还包括在判断出基板存在于台面上时指示基板的存在。 在这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于将基板引入室的方法中，其
使用了判断是否存在基板的装置，由于只在通过判断装置判断出没有基板存在于室中时基
板才可以被引入室，因此可以防止在另一基板存在于室中的情况下引入基板。结果，可以防
止室中的另 一基板由于与传送机器人干涉而破裂。 —种用于检测基板方法被提供，其中使用了判断是否存在基板的装置以检测负 载，基板负载是否作用在所有抬升销上被检测，并且如果基板负载不作用于至少一个抬升 销，则判断出基板的一部分破裂或基板被错误加载，因而所引入基板的状态可以容易地检 测到。 这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种使用负载检测型装置检测基板以 判断是否存在基板的方法可包括在基板被引入室时检测基板的负载是否作用在所有抬升 销上；以及基于所引入的基板的负载是否作用在所有抬升销上的检测结果来判断基板破裂 状态或基板的错误加载状态。 所述方法可以还包括在判断出基板破裂或被错误加载时指示基板破裂状态或基 板的错误加载状态。 在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于检测基板的方法中，在检测基
板负载是否作用在抬升销上，所有抬升销可以分别被检测，并且如果至少一个抬升销不输
入检测结果，则可以判断出基板的一部分破裂或基板被错误加载并且因此基板负载不作用
于至少一个抬升销，因而所引入基板的(正确或不正确)状态可以容易地检测到。 —种用于检测基板的方法被提供，其中可以使用这里以实施例的方式在广泛意义
上描述的用于判断是否存在基板的装置以检测位移，是否所有抬升销发生位移可被检测，
并且如果至少一个抬升销中不发生位移，则可以判断出基板的一部分破裂或基板被错误加
载，因而所引入基板的状态可以容易地检测到。 —种使用这里以实施例的方式在广泛意义上描述的位移检测型装置来检测基板 以判断是否存在基板的方法被提供，其可包括在基板被引入室时检测基板是否使所有抬升 销位移；以及基于是否所有抬升销由于所引入的基板而发生位移的检测结果判断基板的破 裂状态或基板的错误加载状态。 所述方法可以还包括，当判断出基板破裂或被错误加载时，指示基板破裂状态或 基板的错误加载状态。 在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于检测基板的方法中，在检测抬
升销是否发生位移时，所有抬升销可以分别被检测，并且如果至少一个抬升销不输入检测
结果，则可以判断出基板的一部分破裂或者基板被错误加载，并且因此基板负载不作用于
至少一个抬升销，因而所引入基板的(正确或不正确)状态可以容易地检测到。 —种用于判断闸门阀开闭的装置被提供，其中闸门阀的状态被检测，并且基于检
测结果确定闸门阀是否可以被打开或关闭，这可以提供下述优点，即工人可以快速且方便 地证实闸门阀的开闭。 这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于判断闸门阀开闭的装置可包 括闸门阀检测装置，用于检测闸门阀的打开状态或关闭状态，以便打开和关闭室的闸门缝； 以及判断装置，用于从闸门阀检测装置接收检测结果并且判断闸门阀的开闭。
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闸门阀检测装置可包括光发射传感器，和用于接收从光发射传感器输出的信号的 光接收传感器。光发射传感器和光接收传感器二者中的一个传感器可以安装在闸门阀上， 另一个传感器可以被安置成与前一个传感器相对。 闸门阀检测装置可包括反射板，和用于输出信号至反射板和接收被反射板反射的 信号的光学传感器模块。反射板和光学传感器模块二者之一可以安装在闸门阀上，二者中 另一可以被安置成与第一个相对。 在特定实施方式中，安装在闸门阀上的闸门阀检测装置之一可以布置在闸门阀外 侧，另一闸门阀检测装置可以安装在传送机器人上，机器人用于传送基板以将基板引入室 中和从室排出基板。 在可选实施方式中，安装在闸门阀上的闸门阀检测装置之一，可以布置在闸门阀 外侧，另一闸门阀检测装置可以安装在导向件上，导向件引导传送机器人运动以将基板引 入室中和从室排出基板。 闸门阀检测装置可包括沿着作用线安装的传感器，用于关闭闸门阀的力沿着该作 用线作用于闸门阀，闸门阀被所述力致动，以关闭闸门阀。 判断装置可包括控制装置；并且本发明的装置可以还包括通知装置，用于在控制 装置的控制下指示闸门阀的开闭。 在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于判断闸门阀开闭的装置中，可 以提供下述优点，即由于使用闸门阀检测装置可检测闸门阀的开闭，并且基于检测结果可 以确定闸门阀是打开还是关闭的，并且然后作出指示，因此闸门阀的开闭可以快速且方便 地证实，并且闸门阀的(打开和关闭)状态可以精确地识别出来。 —种用于将基板引入室的方法被提供，其中使用了这里以实施例的方式在广泛意 义上描述的用于判断闸门阀开闭的装置，并且只在闸门阀被打开时基板可以被引入室，因 而可以在闸门阀关闭时防止基板被引入，从而可以防止基板和将基板置于其上的传送机器 人由于与闸门阀碰撞而受损。 这里以实施例的方式在广泛意义上描述的一种用于将基板引入室的方法可包括 使用用于判断闸门阀开闭的装置判断是否闸门阀是打开还是关闭的；以及当判断出闸门阀 被打开时，将待处理基板传送到室中。 所述方法可以还包括，当判断出闸门阀被关闭时，指示闸门阀的关闭。 在这里根据实施方式在广泛意义上描述的一种用于将基板引入室的方法中，使用
了用于判断闸门阀开闭的装置，可以提供下述优点，即由于只在通过判断装置判断出闸门
阀被打开时基板可以被引入，因此可以在闸门阀关闭时防止待处理基板被引入室，从而可
以防止基板和将基板置于其上的传送机器人碰撞到闸门阀，由此防止基板、传送机器人和
闸门阀受损。 本说明中涉及的"一个实施方式"、"实施方式"、"代表性实施方式"、"特定实施方 式"、"可选实施方式"等任何一种措辞意味着结合实施例描述的特定特征、结构或特性包含 在这里在广泛意义上描述的至少一个实施方式中。在本说明书中各处出现的上述措辞并不 一定意味着指的是同一实施方式。另外，当结合任何实施方式描述特定特征、结构或特性 时，应当解读为，在本领域技术人员所能预期的范围内，这些特定特征、结构或特性可以实 施于其它实施方式。
尽管前面参照一定数量的代表性实施例描述了本发明的实施方式，但应理解，本 领域技术人员所能构想出的其它改型和实施方式也应落入本申请的精神和范围内。特别地 讲，在本说明书及其附图以及权利要求书限定的范围内可以对组成元件和/或结构作出各 种改型和修改。除了组成元件和/或结构的改型和修改，它们的等同替换对于本领域技术 人员而言也可清楚地理解。
权利要求
一种与用于处理基板的处理室一起使用的装置，所述装置包括闸门阀传感器，其被构造成检测用于打开或关闭处理室中开口的闸门阀的位置并且输出相应的信号；判断装置，其被构造成从闸门阀传感器接收信号，以判断闸门阀处于相对于处理室中开口的打开还是关闭位置，并且输出相应的信号；以及通知装置，其被构造成从所述判断装置接收信号，并且提供闸门阀位置的视频和声频指示中的至少一种。
2. 如权利要求1所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光发射传感器和光接收传感器， 其中光发射传感器和光接收传感器彼此相对地安装，光发射传感器和光接收传感器中的一 个安装在闸门阀上，另一个安装在至少部分地位于处理室中的导向件上，其中导向件被构 造成弓I导传送机器人进出处理室的运动。
3. 如权利要求1所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光发射传感器和光接收传感器， 其中光发射传感器和光接收传感器彼此相对地安装，光发射传感器和光接收传感器中的一 个安装在闸门阀上，另一个安装在传送机器人上，所述传送机器人被构造成传送基板进出 处理室。
4. 如权利要求1所述的装置，其中，闸门阀传感器包括光发射传感器、光接收传感器和 反射板，其中反射板安装在闸门阀上，光发射传感器和光接收传感器安装成与反射板相对， 从而使得光发射传感器发出的光被反射板接收并反射，并且被反射板反射的信号被光接收 传感器接收。
5. 如权利要求1所述的装置，其中，闸门阀传感器包括推压式开关、电触点开关或电应 变仪，其靠近闸门阀连接着处理室，其中闸门阀传感器响应于与闸门阀的接触而被致动。
6. —种用于将基板引入处理室的方法，所述方法包括 判断用于打开和关闭处理室中开口的闸门阀的位置；以及 在判断出闸门阀打开时，将基板传送至处理室。
7. 如权利要求6所述的方法，其中，判断闸门阀位置包括检测闸门阀的运动，并且基于 检测到的运动判断闸门阀的位置。
8. 如权利要求6所述的方法，还包括提供关于闸门阀位置的通知，所述通知采用视频 和声频指示器中的至少一种形式。
全文摘要
提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸门阀关闭时防止将基板引入处理室。
文档编号H01L21/677GK101714503SQ200910224518
公开日2010年5月26日 申请日期2007年10月25日 优先权日2006年11月29日
发明者李仁宅 申请人:爱德牌工程有限公司