专利名称：金属光罩盒的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种金属光罩盒，特别是有关于一种金属光罩盒 零件的锁固方式。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是关于图形(pattem)定义，皆需仰赖光学微影技术。 光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆 (silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如 微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩 必须保持绝对洁净，其中SMIF系统的目的是为减少半导体工艺的储存及 运送过程中所受的微粒过量。如图1A及图1B所示，为一公知的一般光罩传送盒1，其由上下盖体 11及12组合而成，其中在下盖体12内的两侧边上设置两相对的固持装置 121，此固持装置121还包括一些限位片1211及抵持件1212配置其上。 此外，在两相对的固持装置121的其中一相邻侧边，则还配置一限制装置 122，使得下盖体12由两个固持装置121及一个相邻的限制装置122形成一个近似"n"字型的结构。因此当一片光罩放入下盖体12时，可由此"n" 字型的结构来形成固定及支撑光罩。当光罩传送盒1的上下盖体11及12 盖合一光罩时，配置在固持装置上的限位片1211及抵持件1212会支撑光 罩的边缘，但由于上下盖体11、 12盖合时会有间隙产生，使得光罩在运 送的过程中会在未设有限制装置的一侧(亦即"n"型结构的开口)方向上 产生位移。如此，不仅使得光罩接触到固持装置121与限制装置122的地 方产生磨损而降低的光罩的使用寿命，同时还会因为磨擦而形成尘粒，进 而影响良率。再者，由于公知金属光罩盒多以高分子材质所构成，此种高分子材质 具有成型容易、价格低廉以及可形成透明体的优点。此种绝缘电阻高的高 分子材质容易因为磨擦或拨离而产生静电，尤其是无尘室的作业环境需要 保持较低湿度，使高分子材质的金属光罩盒非常容易产生与累积电荷。光 罩表面的静电容易吸引空气中的污染微粒，更甚者还会造成光罩上的金属 线出现静电放电(electrostatic discharge, ESD)效应。静电放电所产生的瞬 间电流会引起电花(spark)或电弧(arc)，在电花与电弧发生的同时，强大的 电流伴随着高温，导致金属线的氧化与溶解，因而改变了光罩的图案。然而，金属材质本身即具有弹性与延展性，且密度较高分子材质高， 因此用以制成金属光罩盒时，若要达成轻量的要求，形成盒体的金属板需 要尽量轻薄，但是轻薄的金属板材容易变形，因此类似重量的金属光罩盒 会较高分子材质的金属光罩盒易产生形变，而导致金属光罩盒的损坏。实用新型内容为解决前述背景技术中的问题，本实用新型的目的在于提供一种金属 光罩盒零件之锁固方式。为实现上述目的，本实用新型提供的金属光罩盒，其包含 一金属上盖体；一金属下盖体，用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；至少一零件，设于该金属上盖体或是下盖体上；以及 至少一锁固件，将该零件固设于该金属上盖体或是下盖体上。 所述的金属光罩盒，其中该锁固件为一铆钉。 所述的金属光罩盒，其中该锁固件为一螺丝。 所述的金属光罩盒，其中该锁固件由大致由金属材料制成。 所述的金属光罩盒，其中该零件为一接合机构，设于该金属光罩盒的一侧边上，用以连接该金属上盖体及该金属下盖体。所述的金属光罩盒，其中该零件为一锁扣件，设于该金属光罩盒的一侧边上，用以扣合该金属上盖体及该金属下盖体。所述的金属光罩盒，其中该锁扣件为一高分子材料所形成。 所述的金属光罩盒，其中该零件为一扣压件。所述的金属光罩盒，其中该扣压件设于该金属上盖体或金属下盖体内 的角落。本实用新型提供的金属光罩盒，还可以包含 一金属上盖体；一金属下盖体用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；至少一扣压件，设于该金属上盖体或是下盖体内；以及 至少一锁固件，将该扣压件固设于该金属上盖体或是下盖体上。 所述的金属光罩盒，其中该扣压件包括一座体，以复数个支撑点固接于该金属光罩盒的金属上盖体及金属下盖体内各角落的位置；以及一弯曲弹性组件，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部 则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间，且进一步包括一顶持面及 一扣压面；其中，当该金属光罩盒承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件的该顶 持面及该扣压面与该光罩接触并固定。本实用新型提供的金属光罩盒，还可以包含 一金属上盖体，具有一大致平坦的底面；一金属下盖体用以与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光 罩，该金属下盖体亦具有一大致平坦的底面；以及 至少一补强结构设于该上盖体或是下盖体的底面。 所述的金属光罩盒，其中该补强结构设于该上盖体或是下盖体的角落。所述的金属光罩盒，其中该补强结构设于该上盖体或是下盖体的中央 部份。所述的金属光罩盒，其中该补强结构是向内部空间凹入的结构。 所述的金属光罩盒，其中该补强结构是向外部空间凸出的结构。所述的金属光罩盒，其中该补强结构具有一底面，而该上盖体或下盖体的底面与该补强结构的底面的落差为约2至约5mm。所述的金属光罩盒，其中该补强结构与该上盖体或是下盖体一体成型。所述的金属光罩盒，其中该补强结构大致呈三角形。 所述的金属光罩盒，其中该金属光罩盒至少包含一第一补强结构设于该上盖体， 一第二补强结构设于下盖体大致对应于该第一补强结构的位置。所述的金属光罩盒，其中该第一补强结构与该第二补强结构的大小不所述的金属光罩盒，另包含至少一扣压件设于该补强结构上。 所述的金属光罩盒，其中该金属光罩盒的金属材质大致可为不锈钢、 铝合金或镁合金。由本实用新型的实施，可避免黏着剂或是焊料等污染问题，且可提供 足够的连接强度，使得金属光罩盒既具有防止静电放电的优点，又能具有 适当的零件且不担心污染问题。亦提供一种具有补强结构的金属光罩盒的 结构，可避免金属型变所产生的问题，且可提供足够的钢性与强度，使得 光罩盒既具有防止静电放电的优点，又能坚固并长期使用。
图1A与图1B是公知的光罩传送盒的示意图。 图2是本实用新型金属光罩盒的一实施例示意图。图2A是本实用新型金属光罩盒凸脚的一实施例示意图。 图3是本实用新型金属光罩盒的一实施例示意图。 图4是本实用新型金属光罩盒的一实施例示意图。图4A是本实用新型锁固件固设零件的一实施例剖面图。图5是本实用新型金属光罩盒的一实施例爆炸图。图6A与图6B是本实用新型扣压件的一实施例示意图。附图中主要组件符号说明1光罩传送盒(公知技术)11上盖体(公知技术)12下盖体(公知技术)121固持装置(公知技术)1211限位片(公知技术)1212底持件(公知技术)122限制装置(公知技术)2金属光罩盒21金属上盖体211盖体底面22金属下盖体221盖体底面23板子24凸脚25接合机构26锁扣件27扣压件271座体2711支撑点2712顶持面2713扣压面272弯曲弹性组件28铆钉29底面30补强结构31第一补强结构32第二补强结构33补强结构底面具体实施方式
本实用新型提供的金属光罩盒是由金属上盖体与金属下盖体组合而 成，形成一内部空间可容纳光罩，金属光罩盒具有至少一零件与至少一锁 固件，该零件设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为接合机构、锁扣件 或扣压件，该锁固件将零件固设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为铆 钉或螺丝。此外，金属光罩盒由金属上盖体与金属下盖体组合而成，形成一个可 容纳光罩的内部空间，金属光罩盒的金属上盖体与金属下盖体具有一大致平坦的底面，并于金属上盖体或是金属下盖体的底面上设有至少一补强结 构。本实用新型提供的金属光罩盒，可减少电荷累积，并且防止静电对光 罩所造成的伤害。本实用新型提供的金属光罩盒，可由扣压件固定光罩，以避免光罩于 运送过程中产生碰撞而损害光罩。本实用新型提供的金属光罩盒，其零件以铆钉方式锁固，以避免传统 烧结方式所产生的微粒，减少污染源。本实用新型的提供的金属光罩盒，其零件以螺丝方式锁固，以避免传 统烧结方式所产生的微粒，减少污染源。本实用新型提供的金属光罩盒，可由其补强结构，增加金属成型的钢 性与强度，以克服型变的缺点。本实用新型提供的金属光罩盒，其侧边具有至少一板子，可使金属光 罩盒直立式摆放，亦可于其上黏贴标签，以便于辨识金属光罩盒的内容物。本实用新型提供的金属光罩盒，其侧边具有至少一凸脚，可使金属光 罩盒直立式摆放。由于本实用新型公开一种金属光罩盒及其零件的锁固方式，其中所利 用到的一些光罩或金属光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来 实现，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述的附图，亦并未依据 实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。本实用新型提供的金属光罩盒，用以解决静电放电的问题，然而，由于一般金属光罩盒多以高分子材料制成，其上的零件例如光罩的支撑件可 直接黏合在高分子的金属光罩盒上。当金属光罩盒变成金属材料，则需要 提供新颖的固接方式，并且不能对金属光罩盒造成污染。 一般将零件固接 在金属材质上，会采用焊接或是黏着的方式，但是黏着剂或是焊接所需要 的助焊剂以及焊料本身会残留在连接处，且会在金属光罩盒的使用中挥发 出来污染金属光罩盒的内部。此外，由于该金属光罩盒大致为金属材质所制成，材质上具有金属原 有的弹性，因此当金属光罩盒的上盖体与卞盖体为一平坦的底面时，容易 产生型变，导致金属光罩盒损坏。图2是本实用新型金属光罩盒的一较佳实施例示意图，金属光罩盒2由金属上盖体21与金属下盖体22组合而成，形成一个可容纳光罩的内部 空间，且此金属光罩盒2的金属材质可为不锈钢、铝合金或镁合金。此金 属光罩盒2另可包含至少一个板子23或至少一凸脚24(请参考图2A),板 子23与凸脚24是用以使金属光罩盒2可直立式摆放，此外亦可于板子23 上黏贴标签，以便于辨识金属光罩盒2的内容物。金属光罩盒2的一侧边 上设有一接合机构25，并利用铆钉28或螺丝将接合机构25固设于金属上 盖体21或是金属下盖体22上，且该铆钉28或螺丝大致由金属材料所制 成，接合机构25用以连接金属上盖体21及金属下盖体22(请参考图5)。图3是本实用新型金属光罩盒的另一较佳实施例示意图，金属光罩盒 2的一侧边上设有一锁扣件26，并利用铆钉28或螺丝将锁扣件26固设于 金属上盖体21或是金属下盖体22上，且该铆钉28或螺丝大致一由金属材 料所制成，锁扣件26用以扣合金属上盖体21及-金属下盖体22，且该锁扣件26为高分子材料所形成(请参考图5)。图4是本实用新型金属光罩盒的又一较佳实施例示意图，金属光罩盒 2的金属上盖体21或金属下盖体22内具有一大致平坦的底面29，扣压件 27则设于各角落，并利用铆钉28或螺丝将扣压件27固设于金属上盖体 21或是金属下盖体22上，且该铆钉28或螺丝大致由金属材料所制成(请 参考图4A)，此外，若该金属光罩盒2另包含至少一补强结构30设于底面 29上，扣压件27则设于补强结构30上，并利用铆钉28或螺丝固设(请参 考图5)。其中，金属光罩盒2的补强结构30大致呈三角形，并设于上盖体21 或是下盖体22的角落或中央，其中补强结构30为向内部空间凹入的结构， 亦可为向外部空间凸出的结构，该补强结构30具有一底面33，上盖体21 或下盖体22的底面211或221与该补强结构30底面33的落差为约2至 约5mm。于金属光罩盒2中，设于上盖体21或下盖体22的补强结构30 可区分成第一补强结构31与第二补强结构32，第一补强结构31设于上盖 体21，第二补强结构32设于下盖体22大致对应于第一补强结构31的位 置，其中第一补强结构31与该第二补强结构32的大小不一。图6A与图6B是本实用新型扣压件的一较佳实施例示意图，扣压件 27结构的特征包括一座体271以及至少一个弯曲弹性组件272，且此扣压 件27为高分子材料所形成。座体271是以复数个支撑点2711固接于该金 属光罩盒2的金属上盖体21及金属下盖体22内各角落的位置，且其座体 271大致为两两一对(请参考图5)。弯曲弹性组件272其一弯曲的端部结合 于座体271上，另一弯曲的端部则呈弹性悬浮状态于单数个或复数个支撑点2711之间，且弯曲弹性组件272进一步包括一顶持面2712及一扣压面 2713。当金属光罩盒2承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件272的顶持 面2712及扣压面2713会与该光罩接触并固定的，以避免光罩于运送过程 中产生碰撞而损害光罩。其中，扣压件27可设于金属光罩盒2的上盖体21或下盖体22上， 亦可设于补强结构30上，于金属光罩盒2中，第一补强结构31设于金属 上盖体21 ，第二补强结构32设于金属下盖体22大致对应于第一补强结构 31的位置，且第一补强结构31与该第二补强结构32的大小不一，因此当 金属上盖体21与金属下盖体22盖合时，金属上盖体21或金属下盖体22 上的扣压件27会错开，以此可确保对光罩施与平均的压力，有助于定位 且降低光罩损坏的可能性。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新 型的权利要求；同时以上的描述，对于本领域技术人员应可明了及实施， 因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包 含在本实用新型申请的权利要求范围中。
权利要求1. 一种金属光罩盒，其特征在于，包含一金属上盖体；一金属下盖体，与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩；至少一零件，设于该金属上盖体或是下盖体上；以及至少一锁固件，将该零件固设于该金属上盖体或是下盖体上。
2、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该锁固件为 一铆钉。
3、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该锁固件为一螺丝。
4、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该锁固件大 致由金属材料制成。
5、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该零件为一 接合机构，设于该金属光罩盒的一侧边上，连接该金属上盖体及该金属下 盖体。
6、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该零件为一 锁扣件，设于该金属光罩盒的一侧边上，扣合该金属上盖体及该金属下盖 体。
7、 如权利要求6所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该锁扣件为 一高分子材料。
8、 如权利要求1所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该零件为一扣压件。
9、 如权利要求8所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该扣压件设 于该金属上盖体或金属下盖体内的角落。
10、 一种金属光罩盒，其特征在于，包含 一金属上盖体；一金属下盖体，与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩； 至少一扣压件，设于该金属上盖体或是下盖体内；以及 至少一锁固件，将该扣压件固设于该金属上盖体或是下盖体上。
11、 如权利要求10所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该扣压件 包括一座体，以复数个支撑点固接于该金属光罩盒的金属上盖体及金属下 盖体内各角落的位置；以及一弯曲弹性组件，其一弯曲的端部结合于该座体上，另一弯曲的端部 则呈弹性悬浮状态于该单或复数个支撑点之间，且进一步包括一顶持面及 一扣压面；其中，当该金属光罩盒承载一光罩且盖合时，该弯曲弹性组件的该顶 持面及该扣压面与该光罩接触并固定。
12、 一种金属光罩盒，其特征在于，包含 一金属上盖体，具有一大致平坦的底面；一金属下盖体，与该金属上盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩， 该金属下盖体亦具有一大致平坦的底面；以及至少一补强结构设于该上盖^:或是下盖体的底面。
13、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结 构设于该上盖体或是下盖体的角落。
14、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结构设于该上盖体或是下盖体的中央部份。
15、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结 构是向内部空间凹入的结构。
16、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结 构是向外部空间凸出的结构。
17、 如权利要求15或16所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补 强结构具有一底面，而该上盖体或下盖体的底面与该补强结构的底面的落 差为2-5mm。
18、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结 构与该上盖体或是下盖体一体成型。
19、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该补强结 构大致呈三角形。
20、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该金属光 罩盒至少包含一第一补强结构设于该上盖体， 一第二补强结构设于下盖体 大致对应于该第一补强结构的位置。
21、 如权利要求20所述的金属光罩盒，其特征在于，其中该第一补 强结构与该第二补强结构的大小不一。
22、 如权利要求12所述的金属光罩盒，其特征在于，另包含至少一 扣压件设于该补强结构上。
23、如权利要求1、 10或12所述的金属光罩盒，其特征在于，其中 该金属光罩盒的金属材质大致为不锈钢、铝合金或镁合金。
专利摘要本实用新型提供一种金属光罩盒，其由金属上盖体与金属下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，金属光罩盒具有至少一零件与至少一锁固件，该零件设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为接合机构、锁扣件或扣压件，该锁固件将零件固设于金属上盖体或金属下盖体上，其可为铆钉或螺丝。
文档编号H01L21/673GK201107547SQ20072012559
公开日2008年8月27日 申请日期2007年9月29日 优先权日2007年9月29日
发明者邱铭乾, 陈建达 申请人:家登精密工业股份有限公司