搬送单元的示教方法、存储介质及基板处理装置的制作方法

专利名称：搬送单元的示教方法、存储介质及基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在将收纳有多枚基板的搬送容器搬入内部，从该搬送 容器取出基板并进行处理的基板处理装置中，对于搬送搬送容器的搬
送单元进行示教(teaching)的方法、记录该方法的存储介质以及基板 处理装置。
背景技术：
作为半导体制造装置的一种，存在对于多枚基板例如半导体晶片 (以下称为"晶片")进行热处理例如氧化处理和成膜处理的批处理式
的立式基板处理装置。该装置的内部，通过例如隔离壁划分为将收 纳有多枚例如25枚晶片的密闭型的载体搬入装置内部的作业区域；将 载体内的晶片移载到晶舟的装载区域；和对于晶片进行热处理的热处 理炉。在该作业区域一侧的隔离壁，作为转移台设置用于载置载体的 载置台，载体通过搬送臂被载置到该转移台上时，通过装载区域一侧 的移载机构从该载体内取出晶片。然后，依次将载体载置在该转移台 上并取出晶片，在晶舟上进行晶片的搬送直至达到预定的枚数例如100 枚为止。取出晶片的载体被保管在作业区域的保管部，热处理完成时 重新返回到转移台并搬入处理完成的晶片。
如上所述，由于该装置进行多枚晶片的处理，所以在该作业区域 内，载置载体的载置部由例如用于载置从外部搬入装置内的载体的两 处装载口口、两处转移台、16处的保管部构成，合计由例如20处部分 构成。
进行通过搬送臂向各载置部交接载体时的搬送臂的驱动系统的坐 标位置，通过设计图的各尺寸等求得。由于组装装置时的组装误差和 构成上述驱动系统的传送带的伸展等驱动系统的误差，搬送臂的设计 的坐标位置，与载体和载置部的对位的用于搬送臂交接的理想位置实 际上是偏离的。此外，不限于装置的组装时，还存在装置运转时因磨耗等同样造成偏离的情况。因此，例如装置起动时和维护时，操作员 进行被称为示教的作业，求得交接载体时的搬送臂的驱动系统的坐标 上的位置。具体来说，由于搬送臂的坐标位置显示在例如装置的画面 上，使搬送臂保持载体，通过目视确认该载体和搬送臂的同时，通过 手动动作使搬送臂移动直至进行载体的交接的位置，将此时的搬送臂 的坐标位置设定为载体的交接位置。
如上所述，由于操作员需要手动进行示教作业，担心由于操作员 的熟练度和输入错误等在交接载体的位置上产生误差。此外，在成批 型的热处理装置的情况下，由于进行示教的位置多达20处左右，不仅 作业十分繁杂，还需要花费很长时间。在专利文献1中，记载有基板
处理装置，此外在专利文献2中，记载有半导体晶片的搬送位置的信
息获取方法，但是对于上述问题没有涉及。
专利文献l:日本特开平11-314890号公报(段落0010 0013，图
1)
专利文献2:日本特开2005-260176号公报(段落0105 0108，图
2)

发明内容
本发明是基于上述问题而完成的，其目的在于，提供在将收纳有 多枚基板的搬送容器搬入内部，从该搬送容器取出基板并进行处理的 基板处理装置中，每当进行搬送搬送容器的搬送单元的示教时，使该 示教的精度提高并能够简易进行的示教方法、存储该示教方法的存储 介质及基板处理装置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中
使用的对搬送单元进行示教的方法，上述基板处理装置包括载置收 纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器 的保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐标位置监视 部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系 统坐标上的上述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部， 上述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝下的拍摄单 元的搬送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，使上述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部 下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过上述拍摄单元对 设置在上述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的上述视 野中的上述标识的位置和上述保持部位于上述下降开始位置的理想位 置时的上述视野中的上述标识的位置进行比较，获取下降开始位置的 补正量并存储在存储器中的工序，利用上述补正量对上述预先决定的 下降开始位置进行补正，获取与上述保持部的补正后的下降开始位置 相对应的上述驱动系统坐标上的坐标位置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中 使用的对搬送单元进行示教的方法，上述基板处理装置包括载置收 纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器 的保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐标位置监视 部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系 统坐标上的上述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部， 上述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝下的拍摄单 元的搬送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工 序；接着，上述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预 先决定的下方位置的工序；然后，通过上述拍摄单元对设置在上述载 置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的上述视野中的上述标 识的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位置时的上述视野中 的上述标识的位置进行比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器 中的工序，利用上述补正量对上述预先决定的下方位置进行补正，求 得上述保持部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持 部下降的开始位置的下降开始位置相对应的上述驱动系统坐标上的坐 标位置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于上述载置 部设置有多个，对各载置部依次进行使上述搬送单元的保持部移动到 预先决定的下降开始位置的工序和获取上述补正量并存储在存储器中 的工序，将上述下降开始位置的补正量与各载置部分别对应并存储在 存储器中。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于上述载置部设置有多个，对各载置部依次进行使上述搬送单元的保持部移动到 预先决定的下方位置的工序和获取上述补正量并存储在存储器中的工 序，将上述下方位置的补正量与各载置部分别对应并存储在存储器中。 本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于驱动系统 坐标上的保持部的坐标位置为水平方向坐标位置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中 使用的对搬送单元进行示教的方法，上述基板处理装置包括载置收 纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器 的保持部、驱动部和计测单元，用于与上述载置部交接搬送容器；坐 标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出， 监视水平方向和高度方向的驱动系统坐标上的上述保持部的坐标位 置；和控制搬送单元的搬送控制部，上述搬送单元的示教方法的特征 在于，包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在上述搬送单 元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，使上述搬送单元的保持 部移动到作为预先决定的使保持部下降的开始位置的下降开始位置的 工序；然后，通过上述拍摄单元对设置在上述载置部的用于检测错位 的标识进行拍摄，对此时的上述视野中的上述标识的位置和上述保持 部位于上述下降开始位置的理想位置时的上述视野中的上述标识的位 置进行比较，并且通过上述计测单元对保持部和载置部的高度方向的 距离进行计测，对该计测到的高度方向的距离，与保持部位于下降开 始位置的理想位置时的保持部和载置部的高度方向的距离进行比较， 获取下降开始位置的水平方向和高度方向的补正量并存储在存储器中 的工序，利用上述补正量对上述预先决定的下降开始位置进行补正， 获取与上述保持部的补正后的下降开始位置相对应的水平方向和高度 方向的上述驱动系统坐标上的坐标位置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中 使用的对搬送单元进行示教的方法，上述基板处理装置包括载置收 纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器 的保持部、驱动部和计测单元，用于与上述载置部交接搬送容器；坐 标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出， 监视驱动系统坐标上的上述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，上述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝 上的拍摄单元的搬送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预先设定的 位置的工序；接着，上述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部 下方的预先决定的下方位置的工序；然后，通过上述拍摄单元对设置 在上述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的上述视野中 的上述标识的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位置时的上 述视野中的上述标识的位置进行比较，并且通过上述计测单元对保持 部和载置部的高度方向的距离进行计测，对该计测到的高度方向的距 离和保持部位于下方位置的理想位置时的保持部和载置部的高度方向 的距离进行比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器中的工序， 利用上述补正量对上述预先决定的下方位置进行补正，求得上述保持 部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降的开 始位置的下降开始位置相对应的水平方向和高度方向的上述驱动系统 坐标上的坐标位置。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于上述搬送 夹具具备对包含上述标识的区域照射光的光照射部，上述拍摄的工序 由对包含上述标识的区域照射光，对包含上述标识的区域中的上述光 的照射位置进行拍摄的工序构成。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于上述载置 部为反射上述光的反射部，上述标识为不反射上述光的非反射部。
本发明提供了一种搬送单元的示教方法，其特征在于上述载置 部是为了将上述搬送容器从上述基板处理装置的外部搬入而载置的装 载口、从上述搬送容器内取出上述基板时载置搬送容器的转移台、或 者用于保管上述搬送容器而载置的保管部。
本发明提供了一种存储介质，其存储有用于使计算机执行搬送单 元的示教方法的计算机程序，其特征在于搬送单元的示教方法，是 在基板处理装置中使用的搬送单元的示教方法，上述基板处理装置包 括载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上 述搬送容器的保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐 标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出， 监视驱动系统坐标上的上述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，上述搬送单元的示教方法包括将设置有朝下的拍摄单元 的搬送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序； 接着，使上述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部下降 的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过上述拍摄单元对设置 在上述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的上述视野中 的上述标识的位置和上述保持部位于上述下降开始位置的理想位置时 的上述视野中的上述标识的位置进行比较，获取下降开始位置的补正 量并存储在存储器中的工序，利用上述补正量对上述预先决定的下降 开始位置进行补正，获取与上述保持部的补正后的下降开始位置相对 应的上述驱动系统坐标上的坐标位置。
本发明提供了 一种存储介质，其存储有用于使计算机执行搬送单 元的示教方法的计算机程序，其特征在于搬送单元的示教方法是在 基板处理装置中使用的搬送单元的示教方法，上述基板处理装置包括 载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬 送容器的保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐标位
置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视
驱动系统坐标上的上述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控 制部，上述搬送单元的示教方法包括将设置有朝上的拍摄单元的搬 送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着， 上述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预先决定的下 方位置的工序；然后，通过上述拍摄单元对设置在上述载置部的用于 检测错位的标识进行拍摄，对此时的上述视野中的上述标识的位置和 上述保持部位于上述下方位置的理想位置时的上述视野中的上述标识 的位置进行比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器中的工序， 利用上述补正量对上述预先决定的下方位置进行补正，求得上述保持 部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降的幵 始位置的下降开始位置相对应的上述驱动系统坐标上的坐标位置。
本发明提供了一种基板处理装置，其特征在于，包括载置收纳
有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器的 保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部， 其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的上述保持部的坐标位置；和包括控制搬送单元的搬送控制部的
控制器，上述基板处理装置通过控制器示教搬送单元，利用控制器的
示教方法包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在上述搬送 单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，使上述搬送单元的保 持部移动到作为预先决定的使保持部下降的开始位置的下降开始位置 的工序；然后，通过上述拍摄单元对设置在上述载置部的用于检测错 位的标识进行拍摄，对此时的上述视野中的上述标识的位置和上述保 持部位于上述下降开始位置的理想位置时的上述视野中的上述标识的 位置进行比较，获取下降开始位置的补正量并存储在存储器中的工序， 利用上述补正量对上述预先决定的下降开始位置进行补正，获取与上 述保持部的补正后的下降开始位置相对应的上述驱动系统坐标上的坐 标位置。
本发明提供了一种基板处理装置，其特征在于，包括载置收纳 有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持上述搬送容器的 保持部和驱动部，用于与上述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部， 其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐 标上的上述保持部的坐标位置；和包括控制搬送单元的搬送控制部的 控制器，通过控制器示教搬送单元，利用控制器的示教方法包括将 设置有朝上的拍摄单元的搬送夹具保持在上述搬送单元的保持部的预 先设定的位置的工序；接着，上述搬送单元使搬送单元的保持部移动 到载置部下方的预先决定的下方位置的工序；然后，通过上述拍摄单 元对设置在上述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的上 述视野中的上述标识的位置和上述保持部位于上述下方位置的理想位 置时的上述视野中的上述标识的位置进行比较，获取下方位置的补正 量并存储在存储器中的工序，利用上述补正量对上述预先决定的下方 位置进行补正，求得上述保持部的补正后的下方位置，从该下方位置 获取与作为使保持部下降的幵始位置的下降开始位置相对应的上述驱 动系统坐标上的坐标位置。
根据本发明，在将收纳有多枚基板的搬送容器搬入内部、由该搬 送容器取出基板进行处理的基板处理装置中，例如起动装置时，进行 搬送搬送容器的搬送单元的示教时，使示教用的夹具被搬送单元保持，移动到载置部的上方预先决定的下降开始位置。通过设置在该夹具的 拍摄单元对在载置部形成的用于检测错位的标识进行拍摄，基于该拍 摄结果获取对于下降开始位置的理想位置的补正量，根据该补正量对 下降开始位置进行补正，获取与上述理想位置相对应的上述驱动系统 坐标上的坐标位置。因此，由于上述的示教能够自动进行，所以示教 的精确度不受操作员的熟练度左右，此外，不需要操作员进入到设置 载置部的场所，无需对各载置部的每一个在画面上进行坐标位置的确 认操作即可。由此作业变得十分简便，能够缩短作业时间。


图1是表示本发明的基板处理装置的一例的概略图。
图2是表示上述的基板处理装置的一例的立体图。 图3是表示上述的基板处理装置的载体搬送机的一例的立体图。 图4是表示上述的载体搬送机的平面图。 图5是表示上述的基板处理装置的控制部的一例的概略图。 图6 (a) (b)是表示上述的基板处理装置的载体夹具的一例的概 略图。
图7是表示上述的基板处理装置中进行的示教作业的流程的一例 的流程图。
图8 (a) (b)是表示上述的基板处理装置中进行的示教作业的流 程的说明图。
图9是表示上述的基板处理装置中进行的示教作业的流程的说明图。
图10 (a) (b)是表示上述的基板处理装置中进行的示教作业的流 程的说明图。
图11是表示上述的基板处理装置中进行的示教作业的流程的说明图。
图12是表示通过上述的基板处理装置中进行的示教作业获得的示 教数据的一例的说明图。
具体实施方式
对于本发明的基板处理装置的实施方式的一例，参照图1 图6
进行说明。图1中10为该基板处理装置的框体，在该框体10内，通 过隔板11划分为左侧的作业区域Sl和右侧的装载区域S2。作业区域 Sl为用于进行搬送作为收纳多枚例如25枚半导体晶片W的密闭型的 搬送容器的载体(在该例中，作为密闭型的载体能够使用FOUP，以下 称为"载体")1和保管该载体1的区域，被保持在大气气氛中。在该 作业区域S1中，为了载置通过外部未图示的搬送机构从设置在框体10 的侧面位置的搬送口 20搬入的载体1，如图2所示，设置有例如作 为在跟前侧和里侧两处排列的载置部的装载口 21;为了从作业区域S1 的载体1内在装载区域S2通过后述的移载机构42取出晶片W，在隔 板11安装作为例如上下两处的载置部的转移台23;和设置在作业区域 Sl内的上方一侧、作为用于保管载体l的载置部的保管部24。此外， 在装载口 21和转移台23之间，设置有作为在作业区域Sl用于搬送载 体1的搬送单元的载体搬送机22。在框体10的外侧与搬送口 20对应 的位置，设置例如门D，通过该门D自由开关搬送口20。
保管部24，如图2所示，例如成组地排列设置为纵向4列、横向 2歹U，该保管部24的组将载体搬送机22的载体1的搬送区域从两侧夹 住，该保管部24的开口一侧设置为面向该搬送区域。在作为该保管部 24的载置面的载体台50，如图3所示，形成已述的载体搬送机22的 搬送区域一侧开口的矩形的凹部51，通过使设置在载体搬送机22的后 述的搬送臂31经由该凹部51升降，在该载体台50和载体搬送机22 之间进行载体l的交接。此外，在位于该凹部51的侧面位置的载体台 50，使例如圆形的开口部52作为用于检测错位的标识形成。该开口部 52，如下所述，为用于通过载体夹具2进行搬送臂31的示教时的对位 的记号。此外，在已述的装载口 21和转移台23上，以在载置面上与 该载体台50构成相同的方式，形成用于使开口部52和搬送臂31穿过 的凹部51。
载体搬送机22具备在框体10内在铅垂方朝上设置的较长的支柱 25，和以在已述的保管部24的组之间沿着水平方向延伸的方式设置在 该支柱25的侧面的水平臂26。该水平臂26通过设置在支柱25下方一 侧的电动机M，能够伴随例如支柱25内的未图示的同步带等的上下而升降。在该电动机M中，组合有未图示的编码器，根据该编码器中的
编码值获取水平臂26的高度位置。此外，在该水平臂26中，设置有 通过电动机34经由未图示的导向机构沿着该水平臂26水平移动的两 根臂35、 30和由具备保持部31a的关节臂构成的搬送臂31。该搬送臂 31构成为进行整体围绕铅垂旋转的动作和使保持部31a直线前进的动 作，根据旋转用的电动机的e方向的移动量和直线前进用的电动机的 进退方向的移动量管理保持部31a的位置。
在保持部31a，在例如三个部位设置凸起32，通过在载体1的下 面形成的凹部中嵌入该凸起32，在搬送臂31上使载体1正确地定位， 搬送该载体l。在该保持部31a，经由未图示的变速齿轮与已述的直线 前进用的电动机连接，无论载体1的位置如何，对于载体1的进退方 向维持该载体1的方向。由电动机M、 34和搬送臂31的电动机构成 的驱动部33的编码器38，如图5所示，与装置控制器36连接。
该装置控制器36具备有坐标位置监视部37、搬送控制部39和保 存有示教数据的存储器8。坐标位置监视部37，起到获取在驱动载体 搬送机22的各轴的电动机上分别设置的编码器38的脉冲数并获取载 体搬送机22的驱动系统的坐标上的位置、更详细来说是获取保持部31a 的驱动系统的坐标上的坐标位置的作用。此外搬送控制部39，包含预 定的动作程序，具有基于示教数据控制载体搬送机22的动作的作用。 此外存储器8内的示教数据，是基于由后述的示教获取的补正量等求 得的载体搬送机22的各轴上的编码器38的脉冲指令值，换言之为相 当于驱动系统的坐标上的保持部31a的坐标位置的数据。此外，对于 已述的装载口21和转移台23，与该搬送臂31相同，在载置有载体l 的载置面上形成与载体1的凹部嵌合的凸起。
在该示例中，为了进行作为使搬送臂31的搬送动作记入装置控制 器36的作业的示教，设置作为在搬送臂31上与载体1相同形状的搬 送夹具的载体夹具(作为用于进行示教的搬送夹具，存在例如示教夹 具等用语，在该示例中被称作载体夹具)2。在该载体夹具2的下面， 与载体1相同形成凸起32能够嵌入的未图示的凹部，使载体夹具2在 搬送臂31上与载体1为相同姿势，即能够预先知道载体1和载体夹具 2之间的相对位置。在该载体夹具2的下面，在由与搬送臂31接触的部位向侧面错开的区域，如图6所示，设置有作为例如用于对包含作
为在载体台50上形成的用于检测错位的标识的开口部52的区域进行 拍摄的视野朝下的拍摄单元的照相机61，和对该照相机61的拍摄区域 照射光束的截面形状为线状的光例如激光的缝隙状的光照射部62a、 62b。该光照射部62a、 62b构成为，从该光照射部62a、 62b照射的两 束激光与作为在计算机上管理的水平面的正交坐标的X-Y坐标的坐标 轴分别平行地照射，以激光的线状的照射位置在照相机61的拍摄区域 的中央交叉的方式设定朝向。
载体夹具2被保持在搬送臂31上，例如搬送臂31移动到转移台 50上，在为了将载体夹具2转移到载体台50而开始下降的下降开始位 置的理想位置，将照相机61的拍摄区域的中心位置和开口部52的中 心位置设定为一致。此外，图6 (a)为从搬送臂31的延伸方向观察的 载体夹具2的侧面图，图6 (b)为从下侧观察载体夹具2的平面图。
如图5所示，通过照相机61对载体台50的开口部52拍摄时，用 于计算该照相机61的拍摄区域的中心位置和开口部52的中心位置的 偏移量的图像控制器64在载体夹具2经由未图示的电缆连接。
该图像控制器64具备图像数据处理程序6A和补正量演算程序 6B。图像数据处理程序6A为用于通过已述的照相机61对包含开口部 52的区域拍摄，在此时的照相机61的视野中，读取从光照射部62a、 62b照射的激光在开口部52的周边中断的坐标位置、即后述的P, P4 即开口部52的位置的程序。补正量演算程序6B如后所述，为基于通 过图像数据处理程序6A获取的位置信息，计算出在装载口 21、转移 台23及载体台50载置载体夹具2时的搬送臂31的实际的坐标位置即 驱动系统上的坐标位置距离理想位置有多少偏移，获取相当于该偏移 的补正量的程序。该补正量演算程序6B，如后所述，相当于计测载体 夹具2和载体台50之间的距离的单元。
理想位置指的是，在装载口 21和转移台23上，载体1的下面的 凹部与在该装载口 21和转移台23的载置面形成的凸起32卡合，载体 搬送机22和基板处理装置的外部的未图示的搬送机构或者移载机构 42之间适当地进行载体1的交接的位置的上方的搬送臂31的下降开始 位置的理想位置。对于载体台50，设定为例如管部24的侧壁碰撞的载体台50的中央位置的上方的搬送臂31的位置。 因此，在该示例中，理想位置的位置信息为，与通过己述的照相机61 拍摄的图像的中心位置和开口部52的中心位置一致的信息。
该搬送臂31的坐标位置的补正量，具体来说如后面所述，例如对 于水平方向通过光照射部62向包含开口部52的照相机61的拍摄区域 照射光，通过照相机61对包含该开口部52的区域进行拍摄，通过使 用图像控制器64对开口部52的中心位置和照相机61的拍摄区域的中 心位置进行比较而获得。对于高度方向的偏移量(差)，如后面所述， 由该照相机61拍摄的图像计算照相机61和转移台50之间的距离，基 于该计算结果和搬送臂31位于理想位置时的照相机61与转移台50之 间的距离而获得。
如上所述的示教作业，根据已述的装置控制器36的指示进行，获 得的偏移量即补正量被返回至装置控制器36，在作为存储部的存储器 8内作为示教数据保存。该存储器8，如后面所述，具备保存作为由上 述的设计信息求得的上述驱动系统上的坐标的设计位置和通过己述的 图像控制器64计算出的补正量的区域，此外具备保存作为基于该补正 量对设计位置进行补正的坐标的理想位置的区域。此外，该理想位置， 例如示教后搬送载体1时从该存储器8读出并向驱动部33输出时，从 X-Y-Z坐标轴的正交坐标被变换为驱动系统坐标。
如上所述，由于装置的组装误差，在各载置部产生设计位置和理 想位置，即各载置部的补正量各种各样，因此该示教作业对于用于载 置载体1的各个区域进行。用于进行该示教的程序6A、 6B和驱动系 统的程序(也包含与处理参数的输入操作和显示相关的程序)被收纳 在计算机存储介质例如软盘、CD、 MO (磁光盘)、硬盘等存储部4并 安装在装置控制器36上。此外，该示教作业，在起动上述的基板处理 装置以外时，例如也可以在基板处理装置的定期的维护时进行。
如已述的图1所述，已述的转移台23的侧面位置的隔板11开口， 在装载区域S2 —侧设置有闸门70，用来堵塞该开口部。该闸门70， 当将载体1载置在转移台23上使设置在载体1的未图示的开关门面向 该开口部时，与该开关门一体幵放，使装载区域S2的气氛和载体1内 的气氛密闭地连通。装载口 S2为用于对晶片W进行热处理例如成膜处理和氧化处理 的区域，被保存在非活性气体例如氮气气氛中。在该装载区域S2中， 设置有下端作为炉口而开口的立式的处理部的热处理炉40，在该热处 理炉40的下方一侧，作为用于保持多枚晶片W的保持具的晶舟41设 置为通过升降机构41a升降自如。热处理炉40的炉口构成为通过盖体 44开闭自如。在该装载区域S2中在晶舟41和隔板11之间，设置有用 于在载置在已述的转移台23上的载体1和晶舟41之间进行晶片W的 交接的移载机构42，在该移载机构42上，进退自如地设置有例如能够 将多枚晶片W —并移载的臂43。该移载机构42构成为通过未图示的 电动机围绕铅垂轴旋转自如，此外沿着升降轴45升降自如。
然后，对于本发明的搬送单元的示教方法，参照图7 图12进行 说明。首先，例如在起动该基板处理装置时的示教作业时，例如通过 操作员，将载体夹具2载置到搬送臂31上。然后，如图8 (a)所示， 使搬送臂31的保持部31a进入例如保管部24内，使其移动到由已述 的设计信息求得的预先决定的下降开始位置(下降开始位置的设计位 置)A, (xA1， yA1， zAI)(步骤S61)。该预先决定的下降开始位置，也 存在与下降开始位置的理想位置相同的情况，但通常为距离理想位置 稍有偏移的临近位置。在该下降开始位置，在照相机61的下方与开口 部52相对。
然后，如图8 (b)和图9所示，在照相机61的拍摄区域的中心交 叉，从光照射部62a、 62b对开口部52与水平面的正交坐标X-Y坐标 的坐标轴平行地照射例如激光等光线，并且通过照相机61对包含开口 部52的区域进行拍摄(步骤S62)。此时，如图10 (a)所示，照相机 61的拍摄区域的视野中收纳有开口部52，当保持部31a的预先决定的 下降开始位置(下降开始位置的设计位置)和下降开始位置的理想位 置不一致时，照相机61的中心位置和开口部52的中心位置会偏离。 此时，能够获得激光的十字的照射路径在开口部52的周边中断的图像。
如图10 (a)、 (b)所示，将此时的照相机61的拍摄区域的中心的 坐标设为Q (x。， yQ)时，激光的照射路径在开口部52的周边中断的 部位的坐标，例如按照顺时针依次为Pi (x。， y,)、 P2 (x2， yQ)、 P3 (x。， y3)、 P4 (x4， yo)。因此，根据上述坐标P, P4，该开口部52的中心坐标C, (a， b)被表示为，例如 a=xo+(X2+x4)/2
b=yo+(yi+y3)/2
因此，作为照相机61的拍摄区域的中心位置和开口部52的中心 位置的偏移量的补正量A Xl和A yi，由于激光的照射路径与正交坐标的 X-Y坐标平行，所以通过取Q)和d的差，表示为
△ X产(X2+X4)/2
△ y产(y一y3)/2
此时如上所述，在图像控制器64中，因为由拍摄倍率能够知道通 过照相机61拍摄的图像内的实际尺寸，所以能够求得Q和P, P4之 间的距离即X2、 x4、 y,、力的值。此外，在照相机61的拍摄区域的中 心的坐标Al和开口部52的中心的坐标Bl未偏移的情况下，该补正 量Ax，和Ay,为0。此外，已述的图9为了容易识别，表示了对开口部 52照射的两束激光的一个。
此外，对于高度方向的距离h，例如如下所述算出。如图11所示， 例如从光照射部62线状照射的激光和载体夹具2所成的角度a 、照相 机61的拍摄区域的中心和光照射部62之间的距离xl，能够预先从设 计数据等得知。但是，当载体夹具2的高度h变化时，由于例如激光 的照射线的位置向同图中的横方向偏移，伴随载体夹具2的高度位置， 照射在载体台50上的激光的照射线和照相机61的拍摄区域的中心位 置之间的距离x2发生变化。因此，通过该角度a 、距离xl和距离x2， 能够通过三角法算出载体夹具2和载体台50之间的距离h。此外，载 体夹具2和载体台50之间的距离与搬送臂31的保持部31a上面和载 体台50之间的距离对应。
另一方面，由于通过例如设计数据和计算或者实验等容易求得假 设搬送臂31的保持部31a位于下降开始位置的理想位置时的上述角度 a和距离xl、 x2 ，通过对此时的载体夹具2的高度ho和上述的算出 结果进行比较，能够求得高度方向的补正量AZ,(叫h『hl)。
此外，如上所述，从图像控制器64将该补正量Ax,、 Ay,和Az, 记录到装置控制器36的存储器8 (步骤S63)。此外，通过该补正量A Xl、 Ay,和Az,对搬送臂31的设计坐标(具体来说为保持部31a的设计坐标)A, (xA1， yA1， zA1)进行修正，将修正该坐标后的理想坐标 B, (xB1， yB1， zB1)也记录在存储器8中。上述X、 Y、 Z坐标，与将 搬送臂31整体沿着水平臂26驱动的电动机的驱动量、使搬送臂31进 退的电动机的驱动量和水平臂26的升降用的电动机M的驱动量即搬 送臂31的驱动系统坐标上的位置相对应。因此，上述的坐标的修正， 具体来说对于补正量Ax,、 Ay,将其除以使搬送臂31向水平方向移动 的电动机的编码器的每一个脉冲的移动量的值作为驱动系统坐标上的 补正量使用，对于补正量Az,将其除以使搬送臂31的升降用电动机M 的编码器的每一个脉冲的移动量的值同样作为驱动系统坐标上的补正 量使用。
当对于搬送臂31的保持部31a，求得下降开始位置的理想位置时， 在实际搬送载体1时，将搬送臂31的保持部31a设定在该下降开始位 置的理想位置后，使搬送臂31通过预先决定的定型的动作顺序经由载 体台50的凹部51下降将载体1载置在载体台50后，进而使其下降縮 退。
然后，使搬送臂31縮退，对是否存在未测定补正量的载置部进行 判定，当存在未测定的载置部的情况下，同样依次进行示教(步骤S64)。 通过该示教作业，如图12所示，在存储器8中保存有与例如20处的 搬送点相对应的设计位置A, A2Q、补正量(Ax,、 Ay,、 AZ|) (A x2Q、 Ay2Q、 Az2。)和理想坐标B, B2。。此外，从例如搬送臂31上取 出载体夹具2，结束示教作业。
接着，对于在该基板处理装置的载体1的整体的流程简单地进行 说明。首先，载体1通过未图示的外部的搬送单元经由搬送口20被载 置到装载口 21上时，搬送臂31移动到根据作为该装载口 21上的理想 位置的上方位置计算的下方位置，延伸搬送臂31，接着该搬送臂31 的保持部31a上升并接收载体1。然后，搬送臂31在上方位置缩退， 面向转移台23搬送载体1。在该转移台23上，搬送臂31的保持部31a 移动到下降开始位置的理想位置。接着搬送臂31的保持部31a面朝下 方位置下降将载体1载置到转移台23的载置面，搬送臂31在下方位 置縮退。
然后，载体l的未图示的开关门与隔板ll密接，该开关门和闸门70—同开放，通过移载机构42从载体1取出晶片W。晶片W被移载 到晶舟41上，例如变为中空的载体1也同样通过坐标修正后的搬送臂 31被搬送到保管部24中并进行保管。然后，到多枚例如100枚晶片W 被移载到晶舟41上为止，依次将载体1搬入作业区域S1，将取出晶片 W后变为中空的载体1在保管部24中保管。
然后，晶舟41上升并被收纳在热处理炉40内，并且关闭热处理 炉40的下端的炉口，对上述的晶片W进行预定的热处理。热处理之 后，按照与搬入顺序相反的顺序将晶片W返回到载体1，此外对于载 体1也同样将其从基板处理装置内搬出。此外，保管部24，当将载体 1搬入基板处理装置时，还能够用于保管收纳有暂时未处理的晶片W 的载体l。
根据上述实施方式，将收纳有多枚晶片W的载体1搬入内部，在 从该载体1取出晶片W进行处理的基板处理装置中，例如起动装置时， 对进行载体1的交接的搬送臂31的位置示教时，将载体夹具2载置到 搬送臂31上，使该载体夹具2移动到例如载体台50的上方位置，通 过照相机61对包含开口部52的区域进行拍摄，获取该照相机61的拍 摄区域的中心位置和开口部52的中心位置之间的水平方向的偏移量。 如上所述，预先获取照相机61的拍摄区域的中心位置和开口部52的 中心位置的相对关系以及保持在搬送臂31的载体1和载体夹具2之间 的位置的相对关系。即由于设定照相机61的拍摄区域的中心位置和开 口部52的中心位置为相同位置，此外设定保持在搬送臂31的载体1 和载体夹具2为相同姿势，因此能够求得照相机61的拍摄区域的中心 位置和开口部52的中心位置之间的水平方向的偏移量。由此能够知道 载体1和载体台50之间的偏移量，因此通过基于该偏移量修正搬送臂 31的坐标，能够进行载体台50的上方位置的搬送臂31的驱动系统坐 标的位置的示教。因此，由于可以不依靠操作员的手动动作进行示教 作业，如上述的基板处理装置，即使设置多个载置有载体1的载置部， 也能够减少因操作员的熟练度和输入错误导致示教的误差，此外还能 够縮短示教作业需要的作业时间。
此外，由于通过使用激光，能够容易地判别开口部52的周边，能 够简便地进行上述的示教作业。进而，由于求得了搬送臂31的保持部31a的高度位置，求得了载体台50和该载体夹具2之间的高度尺寸， 所以对于搬送臂31的高度方向也能够进行示教作业。
在上述的搬送单元的示教方法中，分别求得开口部52的坐标位置 (中心坐标C,和高度方向的距离h)，也可以一次求得。当如上所述一 次求得三维的位置的情况下，标识的位置，例如如以下的参考资料1 所述，能够通过例如缝隙光投影法的立体计测等求得。 (参考资料1) 书名三维图像计测 作者井口征士，佐藤宏介
出版社昭晃堂(1990/11)
ISBN-10: 4785690364 参照页91 97
此外，对于设计位置，由于搬送臂31的保持部31a的高度位置距 离理想位置没那么远，所以无需将高度位置修正为理想位置，也可以 对开口部52进行拍摄获取水平方向的错位量(补正量)。
此外，也可以将视野朝上的照相机61和光照射部62设置在载体 夹具2的上面，在载置部的下方位置求得理想位置，基于该下方位置 的坐标计算搬送臂31的下降开始位置的理想位置。此外，在与上方位 置或者下方位置相比接近载置部的位置、或者从上方位置或下方位置 相对于载置部进一步远离的位置进行搬送臂31的示教的情况下，也包 含在本发明的权利范围内。
此外，当使用激光在开口部52的周边中断的位置计算该开口部52 的中心位置时，也可以在载体台50等载置部不形成开口部52，代替该 开口部52，实施表面处理以使得不反射激光。进而，通过照相机61 拍摄开口部52时从光照射部62照射激光，但也可以不照射激光，在 拍摄的图像内直接读取开口部52的周边。进而，当搬送臂31为理想 位置时，设定为照相机61的拍摄区域的中心位置和开口部52的中心 位置为相同位置，但不限于该示例，也可以设定为知道搬送臂31位于 理想位置时的照相机61的拍摄区域和开口部52的相对的位置关系。 进而，在上述示例中在通过照相机61拍摄的区域形成开口部52，但作 为拍摄区域，除此以外，还可以像例如在载体台50上描绘十字的标记一样拍摄。此外，作为计测载体夹具2和载体台50之间的高度方向的 距离的方法，例如也可以另外在载体夹具2上设置测距仪等，通过该 测距仪进行计测。
此外，在上述示例中在搬送臂31上载置载体夹具2 (载体1)并 搬送载体夹具2，但也可以保持载体夹具2的上面进行搬送。
本发明不限于适用于成批式的热处理装置，还能够适用于例如使 用洗净液对载体l内的晶片W等基板一并洗净的洗净装置等，在这种 情况下，由于将载体l引进到洗净装置内，所以是同样有效的方法。
权利要求
1. 一种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中使用的对搬送单元进行示教的方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驱动部，用于与所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，使所述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部位于所述下降开始位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行比较，获取下降开始位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下降开始位置进行补正，获取与所述保持部的补正后的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上的坐标位置。
2. —种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中使用的对搬 送单元进行示教的方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的 搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部和 驱动部，用于与所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部，其基于 与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的 所述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单 元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，所述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预先决定的下方位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行 比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下方位置进行补正，求得所述 保持部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降 的开始位置的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上的坐标位 置。
3. 如权利要求1所述的搬送单元的示教方法，其特征在于 所述载置部设置有多个，对各载置部依次进行使所述搬送单元的保持部移动到预先决定的 下降开始位置的工序和获取所述补正量并存储在存储器中的工序，将 所述下降开始位置的补正量与各载置部分别对应并存储在存储器中。
4. 如权利要求2所述的搬送单元的示教方法，其特征在于所述载置部设置有多个，对各载置部依次进行使所述搬送单元的保持部移动到预先决定的 下方位置的工序和获取所述补正量并存储在存储器中的工序，将所述 下方位置的补正量与各载置部分别对应并存储在存储器中。
5. 如权利要求1或2所述的搬送单元的示教方法，其特征在于驱动系统坐标上的保持部的坐标位置为水平方向坐标位置。
6. —种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中使用的对搬 送单元进行示教的方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的 搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部、 驱动部和计测单元，用于与所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视 部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视水平方 向和高度方向的驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，使所述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部 下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下降开始位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置 进行比较，并且通过所述计测单元对保持部和载置部的高度方向的距 ^ 于计测，对该计测到的高度方向的距离，^W部位于下降开始 位置的理想位置时的保持部和载置部的高度方向的距离进行比较，获 取下降开始位置的水平方向和高度方向的补正量并存储在存储器中的 工序，利用所述补正量对所述预先决定的下降开始位置进行补正，获取 与所述保持部的补正后的下降开始位置相对应的水平方向和高度方向 的所述驱动系统坐标上的坐标位置。
7. —种搬送单元的示教方法，其是在基板处理装置中使用的对搬 送单元进行示教的方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的 搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部、 驱动部和计测单元，用于与所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视 部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系 统坐标上的所述保持部的坐标位置；和控制搬送单元的搬送控制部， 所述搬送单元的示教方法的特征在于，包括将设置有朝上的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，所述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预 先决定的下方位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行比较，并且通过所述计测单元对保持部和载置部的高度方向的距离进 行计测，对该计测到的高度方向的距离和保持部位于下方位置的理想 位置时的保持部和载置部的高度方向的距离进行比较，获取下方位置 的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下方位置进行补正，求得所述 保持部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降 的开始位置的下降开始位置相对应的水平方向和高度方向的所述驱动 系统坐标上的坐标位置。
8. 如权利要求1或2所述的搬送单元的示教方法，其特征在于 所述搬送夹具具备对包含所述标识的区域照射光的光照射部， 所述进行拍摄的工序由对包含所述标识的区域照射光，对包含所述标识的区域中的所述光的照射位置进行拍摄的工序构成。
9. 如权利要求8所述的搬送单元的示教方法，其特征在于 所述载置部为反射所述光的反射部， 所述标识为不反射所述光的非反射部。
10. 如权利要求l或2所述的搬送单元的示教方法，其特征在于 所述载置部是为了将所述搬送容器从所述基板处理装置的外部搬入而载置的装载口、从所述搬送容器内取出所述基板时载置搬送容器 的转移台、或者为了保管所述搬送容器而载置的保管部。
11. 一种存储介质，其存储有用于使计算机执行搬送单元的示教 方法的计算机程序，其特征在于搬送单元的示教方法，是在基板处理装置中使用的搬送单元的示 教方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的搬送容器的载置 部；搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驱动部，用于与 所述载置部交接搬送容器；坐标位置监视部，其基于与该搬送单元的 驱动部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐 标位置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单元的示教方法包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，使所述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下降开始位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置 进行比较，获取下降开始位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下降开始位置进行补正，获取 与所述保持部的补正后的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上 的坐标位置。
12. —种存储介质，其存储有用于使计算机执行搬送单元的示教 方法的计算机程序，其特征在于搬送单元的示教方法是在基板处理装置中使用的搬送单元的示教 方法，所述基板处理装置包括载置收纳有基板的搬送容器的载置部； 搬送单元，其具有保持所述搬送容器的保持部和驱动部，用于与所述 载置部交接搬送容器；坐标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动 部连接的编码器的输出，监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位 置；和控制搬送单元的搬送控制部，所述搬送单元的示教方法包括将设置有朝上的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，所述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预 先决定的下方位置的工序-,然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行 比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下方位置进行补正，求得所述保持部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降 的开始位置的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上的坐标位 置。
13. —种基板处理装置，其特征在于，包括载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所 述搬送容器的保持部和驱动部，用于与所述载置部交接搬送容器；坐 标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出， 监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位置；和包括控制搬送单元 的搬送控制部的控制器，所述基板处理装置通过控制器示教搬送单元，利用控制器的示教方法包括将设置有朝下的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持 部的预先设定的位置的工序；接着，使所述搬送单元的保持部移动到作为预先决定的使保持部 下降的开始位置的下降开始位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下降开始位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置 进行比较，获取下降开始位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下降开始位置进行补正，获取 与所述保持部的补正后的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上 的坐标位置。
14. 一种基板处理装置，其特征在于，包括-载置收纳有基板的搬送容器的载置部；搬送单元，其具有保持所 述搬送容器的保持部和驱动部，用于与所述载置部交接搬送容器；坐 标位置监视部，其基于与该搬送单元的驱动部连接的编码器的输出， 监视驱动系统坐标上的所述保持部的坐标位置；和包括控制搬送单元 的搬送控制部的控制器，通过控制器示教搬送单元，利用控制器的示教方法包括-将设置有朝上的拍摄单元的搬送夹具保持在所述搬送单元的保持部的预先设定的位置的工序；接着，所述搬送单元使搬送单元的保持部移动到载置部下方的预 先决定的下方位置的工序；然后，通过所述拍摄单元对设置在所述载置部的用于检测错位的 标识进行拍摄，对此时的所述视野中的所述标识的位置和所述保持部 位于所述下方位置的理想位置时的所述视野中的所述标识的位置进行 比较，获取下方位置的补正量并存储在存储器中的工序，利用所述补正量对所述预先决定的下方位置进行补正，求得所述 保持部的补正后的下方位置，从该下方位置获取与作为使保持部下降 的开始位置的下降开始位置相对应的所述驱动系统坐标上的坐标位 置。
全文摘要
本发明提供搬送单元的示教方法、存储介质和基板处理装置，将保持多枚晶片的载体由搬送臂载置到基板处理装置内的载置台时，正确且简易地进行相对于载置台的载体的定位。在搬送载体前，在形成开口部的载置台上，将与载体相同形状且具备在载置台上方理想位置正确定位时拍摄区域中心位置与该开口部中央相对的照相机的载体夹具保持于搬送臂上的保持部。搬送臂的保持部将搬送臂移动到预定的下降开始位置，由照相机拍摄包含开口部的区域。计算在预定的下降开始位置和下降开始位置的理想位置之间，开口部的中心位置和照相机的拍摄区域的中心位置在水平方朝上的偏移量，将该偏移量作为补正量对保持部的下降开始位置进行修正并将载体载置到载置台上。
文档编号H01L21/68GK101521172SQ20091011860
公开日2009年9月2日 申请日期2009年2月26日 优先权日2008年2月29日
发明者中村晴兴, 榎本雅幸, 浅川贵志 申请人:东京毅力科创株式会社