专利名称：电浆蚀刻机台及其顶出销的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电浆蚀刻装置，特别是一种电浆蚀刻机台及其顶出销。
背景技术：
随着光学科技与半导体技术的进步，液晶显示装置(Liquid Crystal Display ;
LCD)已广泛地应用于电子产品显示装置上。液晶显示器具有高画质、体积小、重量轻、 低电压驱动、低消耗功率及应用范围广等优点，故已广泛地应用于可携式电视、行动电 话、摄录放影机、笔记型计算机、桌上型显示器、以及投影电视等消费性电子或计算机 产品中，成为显示器的主流。 —般液晶显示器的主体为液晶单元，主要是由两片透明基板以及被封于基板之 间的液晶所构成。目前液晶显示器是以薄膜晶体管(Thin Film Transistor ; TFT)液晶显示 器为主，液晶上下两层玻璃基板主要是用来夹住液晶，下层基板上有薄膜晶体管，而上 层基板则为一彩色滤光片(Color filter)。彩色滤光片在上层基板上形成红(R)、绿(G)、蓝 (B)三原色的彩色滤光层，以使液晶显示器呈现出丰富的颜色图像。 薄膜晶体管基板需通过光学微影工艺，以在玻璃基板上形成所需的薄膜晶体 管。传统的电浆蚀刻机台因电浆被下电极所吸引，而直接往下冲撞放置于下电极表面的 基板，以达到蚀刻的目的。然而，下电极因长久使用，其表面浮凸图案(embossment)的 周围，易形成生成物的沉积。此生成物会造成电容效应，使静电累积于下电极表面，以 致在玻璃基板与下电极接触时，造成玻璃基板的损伤。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种电浆蚀刻机台及其顶出销，不仅可将玻 璃基板顶起，并可将基板与下电极上残留的静电接地，有效地避免电浆蚀刻工艺中，玻 璃基板的损伤。 为了实现上述目的，本发明提供了一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起 一基板，其中，该顶出销包含
—绝缘外壳；以及 —导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以 移除该基板上的残留静电。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销的材料选自于金、银、铜、铁、铝合 金与不锈钢所构成的群组，该绝缘外壳的材料选自于聚苯并咪唑、聚醚醚酮、陶瓷、石 英与聚酰亚胺所构成的群组。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销具有一安全槽，该安全槽距离该导电 中心销的一顶端92毫米。 上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳具有一扳手固定槽，设置于该绝缘外壳 的上方部位，用以固定该顶出销，该扳手固定槽，与该绝缘外壳的一顶端距离12毫米。
上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一倒角。 上述的顶出销，其中，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一斜面倒角。 上述的顶出销，其中，所述的导电中心销具有一底部接地端，以电性连接该电
浆蚀刻机台的一接地线路。 为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种顶出销，其中，包含 一绝缘外壳；以及
一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中。
为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种电浆蚀刻机台，其中，包含 一上电极；
一下电极，具有多个第一开口与多个第二开口 ； 一升降装置，安装于该下电极的下方；以及
多个如上述的顶出销，其中，所述的顶出销安装于该升降装置上，且穿过所述 第二开口，当该基板进行蚀刻时，该升降装置驱动所述顶出销降下，使该基板平置于该 下电极之上，并覆盖所述第二开口，当所述顶出销顶起该基板时，该导电中心销接触该 基板，以移除该基板上的残留静电。 上述的电浆蚀刻机台，其中，所述的第一开口为冷却气体的入口，以降低该基 板的温度。 上述的电浆蚀刻机台，其中，所述的下电极在电浆蚀刻时，还通入一预定电 压，以产生静电吸附该基板。 为了更好地实现上述目的，本发明还提供了一种电浆蚀刻机台，其中，包含 一上电极；
一下电极，具有多个开口 ； 一升降装置，安装于该下电极的下方；以及
多个如上述的顶出销，其中，所述的顶出销设置于该升降装置上，且分别对应 穿过所述开口。 本发明的技术效果在于本发明所公开的电浆蚀刻机台及其顶出销，可有效地 导引基板与下电极上残留的静电至接地线路，避免静电造成玻璃基板的损伤。还可通过 安全槽的设计，降低下电极的损坏机率。扳手固定槽则方便顶出销的安装与拆卸。绝缘 外壳的顶端倒角则可以避免干涉导电中心销与玻璃基板的接触，且绝缘外壳可有效地保 护导电中心销，进而提升液晶显示器的质量与产量。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限
图1为本发明所公开的一种电浆蚀刻机台的示意图； 图2为本发明所公开的电浆蚀刻机台的下电极与顶出销的示意图； 图3A为顶出销的结构示意图； 图3B为导电中心销的结构示意图； 图3C为绝缘外壳的结构示意图。
其中，附图标记100电浆蚀刻机台101电浆110上电极120下电极130顶出销140升降装置150玻璃基板222第一开口224第二开口300顶出销310绝缘外壳312扳手固定槽314倒角320导电中心销322安全槽324底部接地端326固定部L距离330顶部接地端
具体实施例方式
下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述 本发明公开了一种电浆蚀刻机台及其顶出销，该顶出销不仅有效地将玻璃基板 顶起，并可将玻璃基板与下电极上残留的静电导引至接地线路，以在电浆蚀刻工艺中， 有效地避免玻璃基板的损伤。以下将配合图示以说明本发明的实施方式，并详细说明本 发明的技术特征。 参阅图l，其为本发明所公开的一种电浆蚀刻机台的示意图。电浆蚀刻机台100 包含有一上电极110、 一下电极120，以及一升降装置140，其上安装有多个顶出销130， 顶出销130经由下电极120上的开口穿过下电极120，以利用升降装置140与顶出销130， 将玻璃基板150顶起或放置于下电极120的表面。 进一步参阅图2，其为电桨蚀刻机台100的下电极120与顶出销130的对应关系 示意图。下电极120具有多个第一开口 222与多个第二开口 224。其中，第一开口222 用来通入冷却用的气体，例如是氦气(helium ; He)或其它惰性气体，以在进行蚀刻工艺 时，有效地降低玻璃基板150的温度，进而避免蚀刻过程玻璃基板150温度过高的情况。
顶出销130则安装于第二开口 224之中，并穿过下电极120。当欲进行玻璃基板 150的蚀刻时，升降装置140下降，以驱动顶出销130下降，使玻璃基板150平置于下电 极120上，并覆盖第二开口 224。当顶出销130将玻璃基板150顶起时，由于本发明的顶 出销130具有导电的功能，故可在接触玻璃基板150时，有效地移除玻璃基板150上的残留静电。此外，由于玻璃基板150此时平置于下电极120上，故顶出销130可进一步地 将下电极120上的残留静电加以移除。 此外，当进行电浆蚀刻时，下电极120还可通入一预定电压，以产生静电吸附 玻璃基板150，以避免其蚀刻工艺中产生移动。而上电极110可以为一阳极，而下电极 120可以为一阴极，且射频产生器(radio frequency generator ; RF generator)也连接于下电 极120。 进一步参阅图3A，其为顶出销的结构示意图。如图中所示，顶出销300包含有 一绝缘外壳310以及一导电中心销320安装于绝缘外壳310中，且导电中心销320在顶起 玻璃基板时，将会接触玻璃基板，以移除玻璃基板上的残留静电。 参见图3B，其为导电中心销的结构示意图，其中，导电中心销320由一具有 导电能力的材料所构成，可以是一金属中心销，其材料可选自于金、银、铜、铁、铝合 金、不锈钢或其合金所构成。此外，绝缘外壳310则由一耐高温或抗腐蚀工程塑料所形 成，例如是由聚苯并咪唑(Polybenzimidazoles ; PBI)、聚醚醚酮(Polyether Ether Ketone ; PEEK)、陶瓷、石英或聚酰亚胺(Polyimide)所构成。 此外，导电中心销320还可在其上设置一安全槽322。安全槽322相较于导电 中心销320具有较小的截面积的设计。因此，在生产工艺中，若产生不预期的断裂时， 可先由此安全槽322的位置断裂，以避免造成下电极的损坏。安全槽322的位置距离导 电中心销320的顶端一预定的距离L，本实施例中L例如是约92毫米(mm)，使得顶出 销300向上升起时，此安全槽322高出于下电极的表面，故当利用机械手臂存取玻璃基板 时，即便是不慎造成顶出销300断裂时，顶出销300会由安全槽322的位置被折断，而不 会压迫到下电极第二开口的周围而损伤下电极。换言之，顶出销300在安全槽322以下 的部分，因此可产生较少的变形量，故不会造成顶出销300穿过下电极的第二开口的周 围产生损坏。 参见图3C，其为绝缘外壳的结构示意图，顶出销300的绝缘外壳310还可设 置一扳手固定槽312，位于绝缘外壳310的上部，用来方便使用者利用扳手固定顶出销 300。此扳手固定槽312设置在距离绝缘外壳310的顶端一预定的距离，本实施例中例如 是距离绝缘外壳310的顶端距离约12毫米(mm)的位置。绝缘外壳310的顶端较佳地具 有一倒角314，例如是一斜面倒角(Chamfer),以避免干涉导电中心销320与玻璃基板的接 触，且可在蚀刻工艺中，有效地保护导电中心销320。导电中心销320还具有一底部接地 端324以电性连接电浆蚀刻机台的一接地线路，以及一顶部接地端330以有效地接触玻璃 基板。而顶出销300的长度则约为161.5毫米(mm)。导电中心销320的下方还包含有一 固定部326以用来将其固定于升降装置。此外，此顶出销300也可使用于其它的大型基 板的电浆蚀刻工艺，而非限定于液晶显示器的玻璃基板。 因此，本发明所公开的电浆蚀刻机台与其所使用的顶出销，可有效地导引基板 与下电极上残留的静电至电浆蚀刻机台的接地线路，避免玻璃基板因静电放电所造成的 损伤，而通过安全槽的设计，还可以避免下电极因顶出销被碰撞所造成的损坏。而扳手 固定槽则方便使用者利用扳手安装或拆卸顶出销。绝缘外壳的顶端形成倒角更有效地避 免了干涉导电中心销与玻璃基板的接触。 当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的 改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
一种顶出销，用于一电浆蚀刻机台，以顶起一基板，其特征在于，该顶出销包含一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电。
2. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销的材料选自于金、 银、铜、铁、铝合金与不锈钢所构成的群组，该绝缘外壳的材料选自于聚苯并咪唑、聚 醚醚酮、陶瓷、石英与聚酰亚胺所构成的群组。
3. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销具有一安全槽，该安 全槽距离该导电中心销的一顶端92毫米。
4. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳具有一扳手固定槽，设 置于该绝缘外壳的上方部位，用以固定该顶出销，该扳手固定槽，与该绝缘外壳的一顶 端距离12毫米。
5. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一倒角。
6. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一斜面 倒角。
7. 如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销具有一底部接地端， 以电性连接该电浆蚀刻机台的一接地线路。
8. —种顶出销，其特征在于，包含 一绝缘外壳；以及一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中。
9. 一种电浆蚀刻机台，其特征在于，包含 一上电极；一下电极，具有多个第一开口与多个第二开口 ； 一升降装置，安装于该下电极的下方；以及多个如权利要求l所述的顶出销，其特征在于，所述的顶出销安装于该升降装置 上，且穿过所述第二开口，当该基板进行蚀刻时，该升降装置驱动所述顶出销降下，使 该基板平置于该下电极之上，并覆盖所述第二开口，当所述顶出销顶起该基板时，该导 电中心销接触该基板，以移除该基板上的残留静电。
10. 如权利要求9所述的电浆蚀刻机台，其特征在于，所述的第一开口为冷却气体的 入口，以降低该基板的温度。
11. 如权利要求10所述的电浆蚀刻机台，其特征在于，所述的下电极在电浆蚀刻时， 还通入一预定电压，以产生静电吸附该基板。
12. —种电浆蚀刻机台，其特征在于，包含 一上电极；一下电极，具有多个开口 ；一升降装置，安装于该下电极的下方；以及多个如权利要求l所述的顶出销，其特征在于，所述的顶出销设置于该升降装置上，且分别对应穿过所述开口
全文摘要
一种电浆蚀刻机台的顶出销，包含有一绝缘外壳与一导电中心销安装于绝缘外壳之中。导电中心销在顶起基板时，可直接接触基板，以移除基板上的残留静电。绝缘外壳则形成抗腐蚀且高阻抗的保护层。导电中心销可进一步设置一安全槽，以避免造成下电极的损伤，也可以设置一扳手固定槽，以方便固定顶出销。一种电浆蚀刻机台包含一上电极、一下电极、一安装于该下电极的下方的升降装置以及多个顶出销，顶出销设置于该升降装置。本发明可有效地导引基板与下电极上残留的静电至接地线路，避免静电造成玻璃基板的损伤。
文档编号H01L21/677GK101692433SQ20091020414
公开日2010年4月7日 申请日期2009年10月15日 优先权日2009年10月15日
发明者吴仲尧, 吴志坚, 宋嘉恩, 徐弘迪, 曾景义, 杨中维, 杨总胜, 杨胜淼, 江舜彦, 陈信全, 陈璟桦 申请人:友达光电股份有限公司