专利名称：注药系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体制造设备，具体涉及一种注药系统。
背景技术：
半导体制造过程中需要采用注药系统将药液注入使用罐中。现有的注药系统如图 1所示，包括药液罐1、药液泵2，药液罐1通过注液管3将药液输入使用罐10中，药液泵2 设置于注液管3上，用于为药液的输送提供动力，注液管3上还设置有注液阀F1，排气管4 上设置有排气阀F2。由于使用罐10的高度大于药液罐1，因此注液管3的其中一段必须高于使用罐10 的高度及注液管3的其它部分，
图1中AB段即为注液管3的最高段。使用时，注液阀Fl常开，排气阀F2常闭，在药液泵2的作用下，药液沿注液管3注 入使用罐10内。由于药液中混杂有气泡，经过一段时间后，气泡会聚集在注液管3的最高 段AB段。为排出注液管3内的气泡，在注液管3的最高点与药液罐1之间设置有排气管4， 排气管4上设置有排气阀F2。注液时排气阀F2常闭，一旦气体积满注液管3的最高段时， 就会堵塞注液管3，造成注药无法进行，此时必须关闭注液阀Fl停止注液，手动打开排气阀 F2，排出AB段内的气体。由于注液管3的最高段的容量有限，药液输送过程中气体很快会堵塞注液管3，因 此现有的注药系统必须经常手动排气。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种注药系统，它可以防止药液中的气体
堵塞注液管。为解决上述技术问题，本实用新型注药系统的技术解决方案为包括药液罐、药液泵，药液罐通过注液管连接使用罐，注液管上设置有药液泵和注 液阀，注液管的最高点与药液罐之间设置有排气管，排气管上设置有排气阀；所述注液管的 最高段上方并联有旁通储气管。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型在注药系统中容易积存气体的部分并联有旁通储气管，药液输送过程 中，气体会优先聚集在注液管最高段的旁通储气管内，而不再积存于注液管内，不会阻碍药 液的正常输送。本实用新型增设了储气空间，能够防止药液中的气体积存在注液管内堵塞管路， 并且能够延长两次手动排气的间隔时间，降低人力成本。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明图1是现有技术注药系统的结构示意图；[0014]图2是本实用新型注药系统的结构示意图。图中附图标记说明1为药液罐，2为药液泵，3为注液管，4为排气管，5为旁通储气管，Fl为注液阀，F2为排气阀，10为使用罐。
具体实施方式
如图2所示，本实用新型注药系统，包括药液罐1、药液泵2，药液罐1通过注液管3连接使用罐10，注液管3上设置有药液泵2和注液阀Fl，注液管3的最高点与药液罐1之 间设置有排气管4，排气管4上设置有排气阀F2 ；注液管3的最高段AB段的上方并联有旁通储气管5。使用时，注液阀Fl常开，排气阀F2常闭，药液在药液泵2的作用下沿注液管3注 入使用罐10内。药液输送过程中，药液内的气体会上行到旁通储气管5内暂存，而注液管 3可保持通畅。当气体积满旁通储气管5时，关闭注液阀F1，打开排气阀F2，将旁通储气管5内的 气体沿排气管4排出。也可定期打开排气阀F2排出旁通储气管5内积存的气体。
权利要求一种注药系统，包括药液罐、药液泵，药液罐通过注液管连接使用罐，注液管上设置有药液泵和注液阀，注液管的最高点与药液罐之间设置有排气管，排气管上设置有排气阀；其特征在于所述注液管的最高段上方并联有旁通储气管。
专利摘要本实用新型公开了一种注药系统，包括药液罐、药液泵，药液罐通过注液管连接使用罐，注液管上设置有药液泵和注液阀，注液管的最高点与药液罐之间设置有排气管，排气管上设置有排气阀；所述注液管的最高段上方并联有旁通储气管。本实用新型增设了储气空间，能够防止药液中的气体积存在注液管内堵塞管路，并且能够延长两次手动排气的间隔时间，降低人力成本。
文档编号H01L21/00GK201576668SQ20102003633
公开日2010年9月8日 申请日期2010年1月18日 优先权日2010年1月18日
发明者陈玮 申请人:上海华虹Nec电子有限公司