面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法与流程

本发明涉及一种面板、面板的制造方法、太阳电池模块，印刷装置及印刷方法。

背景技术：
太阳能电池板是一种清洁能源，它能够将取之不尽、用之不竭的太阳能直接转换成电能，所以被期待为新的能源。现在主流的太阳能电池板使用硅基板，并在其表面上设有集电极。以往早已知道一种通过在该集电极上设置透明导电层，用于覆盖集电极，从而提高光取出效率的技术（例如，参照专利文献1及2）。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008－288102号公报专利文献2：日本特开2009－266559号公报

技术实现要素：
发明所要解决的问题然而，当纯是形成了覆盖电极的透明导电层，则使成本增加。鉴于上述技术问题，本发明的目的在于提供一种成本低的面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法。解决问题的手段本发明的面板具备基板、电极和透明导电层，电极设置于上述基板上，透明导电层设置于上述基板上，并设置于上述电极的侧部，上述电极具有与上述透明导电层接触的接触区域和不与上述透明导电层接触的非接触区域。根据本发明的面板，通过使电极不仅具有与透明导电层接触的接触区域，还具有不与透明导电层接触的非接触区域，能够降低透明导电性材料的使用量，从而抑制成本。一实施方式中，上述电极的一部分露出于上述透明导电层。一实施方式中，上述电极延伸在规定方向上，上述透明导电层相对于延伸在上述规定方向上的电极分开在一侧及另一侧。一实施方式中，上述电极具有延伸在上述规定方向上的第一电极部、和配置于与上述第一电极部不同的位置并与上述第一电极部平行延伸的第二电极部，上述透明导电层具有第一部分和第二部分，上述第一部分位于上述第一电极部上的靠上述第二电极部侧，上述第二部分位于上述第二电极部上的靠上述第一电极部侧，上述第一部分及上述第二部分互相分开。一实施方式中，相对于上述基板的表面，上述电极的高度比上述透明导电层的高度大。一实施方式中，相对于上述基板的表面，上述电极的高度比上述透明导电层的高度小。一实施方式中，上述电极具有层叠结构。一实施方式中，上述层叠结构具有第一导电层和第二导电层，该第一导电层包含第一导电性材料，该第二导电层包含与上述第一导电性材料不同的第二导电性材料。本发明的太阳电池模块具备多个上述面板。本发明的面板的制造方法包括准备基板的步骤和形成步骤，该形成步骤是在上述基板的上面形成电极及透明导电层的步骤，上述形成步骤中，上述电极具有与上述透明导电层接触的接触区域和不与上述透明导电层接触的非接触区域。一实施方式中，上述形成步骤包括：印刷包含导电性材料的油墨的步骤；印刷包含透明导电性材料的油墨的步骤；和将包含上述导电性材料的油墨及包含上述透明导电性材料的油墨烧结的步骤。一实施方式中，上述印刷包含导电性材料的油墨的步骤包括：印刷包含第一导电性材料的油墨的步骤；和印刷包含与上述第一导电性材料不同的第二导电性材料的油墨的步骤。本发明的印刷方法包括：在基板上印刷包含导电性材料的导电性油墨的步骤；和在上述基板上印刷包含透明导电性材料的透明导电性油墨的步骤，上述导电性油墨具有与上述透明导电性油墨接触的接触区域、和不与上述透明导电性油墨接触的非接触区域。一实施方式中，上述印刷包含导电性材料的导电性油墨的步骤包括：印刷包含第一导电性材料的油墨的步骤；和印刷包含与上述第一导电性材料不同的第二导电性材料的油墨的步骤。本发明的印刷装置具备输送带和印刷部，该输送带对具有表面的基板进行搬运，该印刷部在上述输送带所搬运的上述基板上印刷油墨，上述印刷部包括导电性油墨印刷机和透明导电性油墨印刷机，该导电性油墨印刷机在基板上印刷包含导电性材料的导电性油墨，该透明导电性油墨印刷机在上述基板上印刷包含透明导电性材料的透明导电性油墨，上述导电性油墨具有与上述透明导电性油墨接触的接触区域、和不与上述透明导电性油墨接触的非接触区域。一实施方式中，上述导电性油墨印刷机具备:印刷包含第一导电性材料的油墨的印刷机；和印刷包含与上述第一导电性材料不同的第二导电性材料的油墨的印刷机。发明效果根据本发明，能够提供一种成本低的面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法。附图说明图1是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图2是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图3是本发明的第一实施方式所涉及的面板的俯视图；图4是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图5是本发明的第一实施方式所涉及的面板的整体的剖视示意图；图6的（ａ）～（ｄ）是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的面板的制造方法的示意图；图7是本发明的第一实施方式所涉及的印刷装置的示意图；图8是本发明的第一实施方式所涉及的印刷装置中的印刷机的示意图；图9是图7所示的印刷装置的一个例子的示意图；图10是本发明的第一实施方式所涉及的面板的俯视图；图11的（ａ）及（ｂ）是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图12的（ａ）～（ｄ）是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的面板的制造方法的示意图；图13的（ａ）及（ｂ）是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图14的（ａ）～（ｄ）是用于说明本发明的第一实施方式所涉及的面板的制造方法的示意图；图15是本发明的第一实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图16是本发明的第二实施方式所涉及的面板的剖视示意图；图17的（ａ）～（ｄ）是用于说明本发明的第二实施方式所涉及的面板的制造方法的示意图；图18是本发明的第二实施方式所涉及的印刷装置的示意图；和图19是具备多个本发明的面板的太阳电池模块的实施方式的示意图。具体实施方式以下，参照附图，对本发明的面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法的实施方式进行说明。此外，本发明的实施方式中，以太阳能电池的面板为面板的一个例子进行说明，但本发明并不局限于此。除了太阳能电池板，本发明也可以适用于触摸面板、有机ＥＬ面板及电磁屏蔽面板等。（第一实施方式）以下，参照附图，对本发明的第1实施方式所涉及的面板进行说明。图1示出本实施方式的面板100的剖视示意图。这里，面板100是太阳能电池板。图1是将面板100的一个主表面的附近放大而示出的。面板100具备基板10、和设置在基板10的表面12上的电极20。此外，虽然在此没有图示，基板10具有光电转换层。例如，基板10是硅基板，基板10具有ｐ型硅层以及ｎ型硅层。具体而言，光电转换层也可以包含非晶硅，或者光电转换层也可以包含结晶硅。例如，光电转换层也可以包含单晶硅、多晶硅或微晶硅(microcrystallinesilicon)。例如，电极20由银、铜、金、碳、钴、钛、镍、铝等单体或其混合物形成。优选的是电极20由银形成。有代表性的是，电极20由金属形成，是不透明的。本实施方式的面板100还具备设置于基板10的表面12上的透明导电层30。透明导电层30设置于电极20的侧部。透明导电层30由与电极20不同的材料形成。具体而言，透明导电层30由透明导电性材料形成。例如，透明导电层30由氧化铟锡（indiumtinoxide:ITO）、氟掺杂氧化锡（Fluorinedopedtinoxide:FTO）、铝掺杂氧化锌（AluminiumZincOxide:AZO）或锑掺杂氧化锡（AntimonyTinOxide:ATO）的单体，或这些的混合物形成。电极20在不与基板10接触的面上具有与透明导电层30接触的接触区域20ａ和不与透明导电层30接触的非接触区域20ｂ。这里，电极20的一部分露出于透明导电层30。面板100中，生成在基板10内的载子到达电极20或透明导电层30，从而能够有效地取出生成在基板10内的载子作为电流。此外,透明导电层30直接接触于电极20，电极20的一部分被透明导电层30覆盖，但有一部分电极20未被透明导电层30覆盖，由此能够抑制比较高额的透明导电性材料的使用。图2示出面板100的剖视示意图。电极20具有互相平行延伸的电极部。图2中，用电极部20ｓ、20ｔ来表示2个互相分离且平行延伸的电极部。此外，也可以在别的部位将电极部20ｓ、20ｔ电连接，并使电极部20ｓ、20ｔ的各个电位互相大致相等。例如，若电极部20ｓ、20ｔ延伸在与ｙ方向及ｚ方向正交的ｘ方向上，透明导电层30相对于延伸在规定方向（ｘ方向）上的电极部20ｓ、20ｔ分开在一侧（＋ｙ方向侧）及另一侧（－ｙ方向侧）。由于透明导电层30中的靠电极部20ｔ侧位于电极部20ｓ上的部分30ｓ和靠电极部20ｓ侧位于电极部20ｔ上的部分30ｔ互相分开，所以能够抑制比较高额的透明导电性材料的使用。这里，参照图3及图4，对本实施方式的面板100的一个例子进行说明。图3示出面板100的俯视示意图。电极20具有母线电极(busbarelectrode)22和指状电极(fingerelectrode)24，电极20也被称为集电极。指状电极24从1个母线电极22延伸，有代表性的是，指状电极24以一定间距(pitch)排列。这里，母线电极22延伸在ｙ方向上，指状电极24延伸在ｘ方向上。一般来说，母线电极22的宽度大于指状电极24的宽度。图4示出沿图3的4－4’线的剖面。这里，指状电极24的侧部设置有透明导电层30，指状电极24具有与透明导电层30接触的接触区域24ａ和不与透明导电层30接触的非接触区域24ｂ。指状电极24的一部分露出于透明导电层30。此外，如图3所示，与指状电极24同样，位于指状电极24侧部的透明导电层30延伸在ｘ方向上。此外，这里，母线电极22被透明导电层30覆盖。透明导电层30在母线电极22及指状电极24的交叉部附近连续。例如，面板100是主表面的长度及宽度分别为170ｍｍ的矩形。此外,例如，母线电极22的宽度为2ｍｍ以上、3ｍｍ以下，指状电极24的宽度为15μｍ以上、70μｍ以下。指状电极24的间距（即，一个指状电极24的中心、和与其相邻的指状电极24的中心之间的距离）为2ｍｍ。例如，通过设置透明导电层30，就能够将面板100中的指状电极24的间距(pitch)从2ｍｍ增加到3ｍｍ，以将指状电极24的条数从85条减少到56条，即大约减少30条。结果，既能够实现低成本又能够增大开口面积。图5示出整个面板100的示意图。面板100不仅具备设置在基板10的表面12上的电极20，还具备设置在基板10的背面14上的电极110。有代表性的是，电极110设置成覆盖基板10的整个背面14。例如，电极110由铝形成。以下，参照图6，对适合制造面板100的制造方法进行说明。如图6（ａ）所示，首先准备具有表面12的基板10。如上所述，例如，基板10是硅基板。接着，如图6（ｂ）所示，在基板10的表面12上印刷油墨Ｋ1。具体而言，在基板10的上面印刷包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1。例如，油墨Ｋ1具有颗粒状的导电性材料Ｄ1及载色剂(vehicle)，载色剂包含树脂及溶剂。油墨Ｋ1具有适当的触变性。导电性材料Ｄ1是银、铜、金、碳、钴，钛，镍、铝等的单体或混合物。此外,树脂也被称为粘合剂树脂（binderresin）。例如，使用丙烯酸类溶浆（acrylicpaste）、氨基甲酸酯类等所谓无机类树脂来作为粘合剂树脂。此外,使用松油醇、甲苯、二甲苯或混合溶剂（例如，含有丙二醇甲醚醋酸酯的溶剂）作为溶剂。此外，一般来说，溶剂的烧尽温度（沸点）比粘合剂树脂低。例如，松油醇的沸点大约是230℃以下，ＰＧＭＡ的沸点大约是140℃，而粘合剂树脂的烧尽温度大约是250℃。接着，如图6（ｃ）所示，印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2，以使其接触于油墨Ｋ1。如上所述，透明导电性材料Ｄ2是与导电性材料Ｄ1不同的材料。例如，透明导电性材料Ｄ2是氧化铟锡（indiumtinoxide:ITO）、氟掺杂氧化锡（Fluorinedopedtinoxide:FTO）、铝掺杂氧化锌（AluminiumZincOxide:AZO）或锑掺杂氧化锡（AntimonyTinOxide:ATO）的单体，或这些的混合物。例如，油墨Ｋ2具有颗粒状的透明导电性材料Ｄ2及载色剂，载色剂包含树脂及溶剂。油墨Ｋ2的载色剂也可以与油墨Ｋ1相同，或者油墨Ｋ2的载色剂也可以与油墨Ｋ1大致相同。此外，油墨Ｋ1在不与基板10接触的面上具有与油墨Ｋ2接触的接触区域Ｋ1ａ和不与油墨Ｋ2接触的非接触区域Ｋ1ｂ。这里，油墨Ｋ1的一部分露出于油墨Ｋ2。油墨Ｋ2直接接触于油墨Ｋ1，但油墨Ｋ2使油墨Ｋ1的一部分露出。此外，本说明书中有时将油墨Ｋ1、Ｋ2分别称为第一油墨（或导电性油墨）、第二油墨（或透明导电性油墨）。如上所述，在基板10上不仅印刷油墨Ｋ1也印刷油墨Ｋ2。之后，如图6（ｄ）所示，对第一油墨Ｋ1及第二油墨Ｋ2进行加热，由此，将导电性材料Ｄ1烧成而形成电极20，并将透明导电性材料Ｄ2烧成而形成透明导电层30。例如，加热温度是500℃以上、850℃以下。在透明导电层30由厚度大约为150ｎｍ的ＩＴＯ形成的情况下，光的透过率大约是85％。如上所述，电极20的一部分不被透明导电层30覆盖而露出。因此，加热时，即使溶剂及粘合剂汽化，透明导电层30上也不产生裂缝就能够形成透明导电层30。此外，参照图6所说明的制造方法是通过下述印刷装置适当进行的。图7示出本发明的第一实施方式所涉及的印刷装置的示意图。本实施方式的印刷装置200具备搬运基板10的输送带210、印刷部220和加热装置230。印刷部220具有多个印刷机。这里，印刷部220具有印刷机220ａ和印刷机220ｂ，该印刷机220ａ印刷包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1，该印刷机220ｂ印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2。此外，本说明书中，有时将印刷机220ａ、220ｂ分别称为第一印刷机（或导电性油墨印刷机）、第二印刷机（或透明导电性油墨印刷机）。首先，在旋转的输送带210的上面放置基板10，由输送带210搬运基板10。当输送带210所搬运的基板10到达第一印刷机220ａ的下方时，印刷机220ａ在基板10上印刷油墨Ｋ1。接着，当输送带210所搬运的基板10到达印刷机220ｂ的下方时，印刷机220ｂ在基板10上印刷油墨Ｋ2。此外，将输送带210的搬运速度及印刷机220ａ、220ｂ的印刷设定为能使油墨Ｋ2相对于油墨Ｋ1配置于规定位置。之后，输送带210将层叠有油墨Ｋ1、Ｋ2的基板10搬运到加热装置230。在加热装置230内加热基板10，将油墨Ｋ1、Ｋ2烧成。由此，由油墨Ｋ1形成包含导电性材料Ｄ1的电极20，而由油墨Ｋ2形成包含导电性材料Ｄ2的透明导电层30。由此依上述制作面板100。图8示出印刷机220ａ的示意图。印刷机220ａ具备油墨盘221、供墨滚筒222、凹版滚筒223、转印滚筒224、刮板（scraper）225和清洗滚筒226。凹版滚筒223也被称为印版(printingplate)，转印滚筒224也被称为橡皮布(blanket)。供墨滚筒222、凹版滚筒223及转印滚筒224分别安装为能够旋转。例如，转印滚筒224伴随凹版滚筒223的旋转而作旋转。凹版滚筒223的表面通过镀上金属而被处理。转印滚筒224由橡胶类材料形成。因此，两者的摩擦系数较低。这里，凹版滚筒223及转印滚筒224的各直径不相同，但凹版滚筒223及转印滚筒224的各直径也可以大致相等。该印刷机220ａ中，油墨盘221内的油墨Ｋ1从供墨滚筒222移动到凹版滚筒223的周面后，再移动到转印滚筒224的周面，从而转印至依次通过转印滚筒224的下方的基板10的表面。这样的印刷也被称为胶版印刷。以下，进行具体说明。油墨盘221中装有印刷在基板10上的油墨Ｋ1。当油墨盘221内的油墨Ｋ1减少时，由下方的泵(未图示)向油墨盘221内补充油墨Ｋ1。油墨盘221位于印刷机220ａ中靠下部的位置。供墨滚筒222的下部分浸渍在油墨盘221内的油墨Ｋ1中，供墨滚筒222一边浸渍在油墨盘221内的油墨Ｋ1中，一边旋转。粘附在供墨滚筒222上的油墨Ｋ1转移到凹版滚筒223。此外，凹版滚筒223的附近设有刮板225。在凹版滚筒223自油墨盘221内的油墨Ｋ1中出来并与转印滚筒224接触之前，刮板225除去粘附在凹版滚筒223上的多余的油墨Ｋ1。凹版滚筒223的表面上设有凹部，凹部与印刷在基板10上的线、图形、花纹等对应。例如，凹版滚筒223的外径为100ｍｍ，宽度为145ｍｍ。粘附在凹版滚筒223的凹部上的油墨Ｋ1粘附在转印滚筒224上。转印滚筒224一边与凹版滚筒223的周面接触一边进行旋转，并压迫通过下方的基板10的表面，从而将油墨Ｋ1转印至基板10。转印滚筒224由剥离性良好的材质形成，以使油墨Ｋ1能够顺利且确实地从转印滚筒224转印至基板10的表面。例如，转印滚筒224由硅橡胶的一种形成。转印滚筒224的外径为200ｍｍ，宽度为135ｍｍ。对应于凹版滚筒223的凹部，形成油墨Ｋ1。例如，在形成宽度为30μｍ的印刷层Ｅｂ的情况下，所对应的凹版滚筒223的凹部的宽度为30μｍ。转印滚筒224的附近设有清洗滚筒226。粘附在转印滚筒224上的多余的油墨Ｋ1是由清洗滚筒226除去。此外，印刷机220ｂ具有与参照图8所说明的印刷机220ａ相同的结构。具体而言，印刷机220ｂ除了油墨盘221内的油墨及凹版滚筒223的凹部不相同这一点之外，具有与上述印刷机220ａ相同的结构。印刷机220ｂ中，在油墨盘221装有油墨Ｋ2。这里，油墨Ｋ2具有颗粒状的ＩＴＯ及载色剂(vehicle)，载色剂包含树脂及溶剂。油墨Ｋ2的载色剂也可以与油墨Ｋ1相同，或者，油墨Ｋ2的载色剂也可以与油墨Ｋ1大致相同。如上所述，印刷装置200通过胶版印刷对油墨Ｋ1、Ｋ2进行印刷。能够通过胶版印刷来使油墨Ｋ1、Ｋ2的宽度变小，从而能够形成宽度小的电极20及透明导电层30。以下，参照图9对印刷装置200的一个例子进行说明。输送带210具有齿型带(toothedbelt)210ａ及链轮(sprocket）210ｂ。齿型带210ａ也被称为带齿带(coggedbelt)。此外，在制作太阳能电池板的情况下，例如，使输送带210在ｘ方向上的长度为5ｍ，ｙ方向上的长度为1ｍ。这里，印刷及搬运被1个马达Ｍ驱动。旋转轴Ｈａ与马达Ｍ连结，以使马达Ｍ的旋转传递到旋转轴Ｈａ。旋转轴Ｈａ通过旋转方向转换部Ｂｇ与旋转轴Ｈｂ连结，旋转轴Ｈｂ通过旋转方向转换部Ｂｇ与旋转轴Ｈｘ连结。因此，旋转轴Ｈａ、Ｈｂ及Ｈｘ分别伴随马达Ｍ的旋转而作旋转。旋转轴Ｈｂ也被称为空转轴(idlershaft)，旋转轴Ｈｘ也被称为传输轴。例如，旋转方向转换部Ｂｇ为伞齿轮。虽然在此没有图示，印刷机220ａ、220ｂ悬在直线导轨上。此外,如参照图8所述的，印刷机220ａ、220ｂ的凹版滚筒223及转印滚筒224与通过伞齿轮Ｂｇ连结在旋转轴Ｈｘ上的轴一起作旋转。因此，印刷装置200的印刷及搬运是同步的。此外,输送带210的链轮与旋转轴Ｈｂ一起旋转。例如，通过使链轮的直径与凹版滚筒223的直径之比例为整数，就能够简单地进行基板的搬运与印刷的同步。例如，链轮的直径与凹版滚筒223的直径之比为2：1。或者，该比例也可以是1：1。此外，参照图9所说明的印刷装置200中，对印刷及搬运进行机械式同步，但本发明并不局限于此。印刷及搬运也可以通过伺服系统来进行同步。此外，上述说明中，印刷机220ａ中的凹版滚筒223与母线电极22及指状电极24的双方对应，印刷部220ａ一并印刷与包含母线电极22及指状电极24的电极20对应的油墨Ｋ1，但本发明并不局限于此。也可以由2个印刷机印刷电极20。例如，也可以是，一个印刷机先形成母线电极22及指状电极24中的一个，然后再由另一个印刷机形成另一个电极。例如，也可以是，一个印刷机中的凹版滚筒223与指状电极24对应，该印刷机印刷与指状电极24对应的油墨后，另一个印刷机印刷与母线电极22对应的油墨。此外，参照图3及图4所作的上述说明中，指状电极24具有与透明导电层30接触的接触区域24ａ、和不与透明导电层30接触的非接触区域24ｂ，但本发明并不局限于此。也可以使母线电极22具有与透明导电层30接触的接触区域、和不与透明导电层30接触的非接触区域。图10示出面板100的一个例子的俯视示意图。这里，母线电极22的侧部设置有透明导电层30，母线电极22具有与透明导电层30接触的接触区域22ａ、和不与透明导电层30接触的非接触区域22ｂ。母线电极22的一部分露出于透明导电层30。此外，当然，也可以是，母线电极22及指状电极24的双方具有接触区域22ａ、24ａ及非接触区域22ｂ、24ｂ。此外，上述说明中，电极20为单层结构，但本发明并不局限于此。也可以是，电极20是2层以上的层叠结构，印刷部220设有3个以上的印刷机。此外,上述说明中，透明导电层30比电极20高，透明导电层30部分重叠于电极20，但本发明并不局限于此。也可以如图11（ａ）所示那样使透明导电层30比电极20高，并使透明导电层30不重叠于电极20。此外,上述说明中，透明导电层30比电极20高，但本发明并不局限于此。也可以如图11（ｂ）所示那样使透明导电层30比电极20低。此外，参照图6所作的上述说明中，在印刷包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1后再印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2，但本发明并不局限于此。也可以印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2后再印刷包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1。以下，参照图12对本发明的第一实施方式所涉及的印刷方法、和包括该印刷方法的面板的制造方法进行说明。此外，这里，以图11（ａ）所示的面板100为例进行制造。首先，如图12（ａ）所示，准备具有表面12的基板10。如上所述，例如，基板10是硅基板。接着，如图12（ｂ）所示，印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2。例如，导电性材料Ｄ2是氧化铟锡（indiumtinoxide:ITO)、氟掺杂氧化锡(Fluorinedopedtinoxide:FTO）、铝掺杂氧化锌（AluminiumZincOxide:AZO）或锑掺杂氧化锡（AntimonyTinOxide:ATO）的单体，或这些的混合物。接着，如图12（ｃ）所示，印刷包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1。导电性材料Ｄ1是银、铜、金、碳、钴、钛、镍、铝等的单体或混合物。之后，如图12（ｄ）所示，对油墨Ｋ1、Ｋ2进行加热，由此将导电性材料Ｄ1烧成而形成电极20，并将透明导电性材料Ｄ2烧成而形成透明导电层30。例如，加热温度是500℃以上、850℃以下。如上所述，由于电极20的一部分不被透明导电层30覆盖而露出，所以加热时，即使溶剂及粘合剂汽化，透明导电层30上也不产生裂缝就能够形成透明导电层30。此外，图1、图2、图4、图5及图6中，电极20的剖面呈矩形状，在图11中，电极20及透明导电层30的剖面呈矩形状，但这只不过是示例而已。例如，如图13（ａ）所示，也可以是，电极20及透明导电层30的剖面因表面张力等的影响而具有曲面形状。此外,也是在此情况下，可以如图13（ｂ）所示那样使透明导电层30比电极20低。此外，上述说明中，通过印刷部220ａ印刷电极20，但本发明并不局限于此。也可以通过其它方法形成电极20。在通过胶版印刷形成电极20的情况下，例如，可以形成宽度大约为2μｍ～10μｍ的电极20。此外,上述说明中，通过印刷部220ｂ印刷透明导电层30，但本发明并不局限于此。也可以通过其它方法形成透明导电层30。例如，也可以通过蚀刻制作面板100。以下，参照图14，对用于适当地制作面板100的制造方法进行说明。首先，如图14（ａ）所示，准备具有表面12的基板10。例如，如上所述，基板10是硅基板。接着，如图14（ｂ）所示，在表面12上形成透明导电层Ｄ2。如上所述，导电性材料Ｄ2包含透明导电性材料。例如，透明导电层Ｄ2通过堆积而形成。例如，导电性材料Ｄ2是氧化铟锡（indiumtinoxide:ITO）、氟掺杂氧化锡（Fluorinedopedtinoxide:FTO）、铝掺杂氧化锌（AluminiumZincOxide:AZO）或锑掺杂氧化锡（AntimonyTinOxide:ATO）的单体，或这些的混合物。接着，如图14（ｃ）所示，对透明导电层Ｄ2进行光刻(photolithography)以除去透明导电层Ｄ2的一部分，并通过对透明导电层Ｄ2进行加热来形成透明导电层30。例如，加热温度是500℃以上、850℃以下。接着，如图14（ｄ）所示，将包含导电性材料Ｄ1的油墨Ｋ1灌入除去了透明导电层Ｄ2的区域，从而形成电极20。油墨Ｋ1也可以与印刷方法中所说明的油墨Ｋ1相同。导电性材料Ｄ1是银、铜、金、碳、钴、钛、镍及铝等的单体或混合物。通过对灌入的油墨Ｋ1进行加热来形成电极20。面板100也可以如上所述那样通过蚀刻来制作。在此情况下，能够形成宽度大约为0．2μｍ～1μｍ的电极20。或者，也可以通过喷墨来制造面板100。在此情况下，能够形成宽度大约为5μｍ的电极20。此外,上述说明中，电极20具有与透明导电层30接触的接触区域20ａ、和不与透明导电层30接触的非接触区域20ｂ，但本发明并不局限于此。电极20也可以不具有非接触区域20ｂ。例如，电极20也可以如图15所示的面板100’那样被透明导电层30覆盖。电极20具有互相平行延伸的电极部，图15中，用电极部20ｓ，20ｔ来表示2个互相分离且平行延伸的电极部。此外，也可以在别的部位将电极部20ｓ、20ｔ电连接，并使电极部20ｓ、20ｔ的各个电位互相大致相等。例如，若电极部20ｓ、20ｔ延伸在与ｙ方向及ｚ方向正交的ｘ方向上，透明导电层30相对于延伸在规定方向（ｘ方向）上的电极部20ｓ、20ｔ分开在一侧（＋ｙ方向侧）及另一侧（－ｙ方向侧）。由于透明导电层30中的靠电极部20ｔ侧位于电极部20ｓ上的部分30ｓ和靠电极部20ｓ侧位于电极部20ｔ上的部分30ｔ互相分开，所以能够抑制比较高额的透明导电性材料的使用。（第二实施方式）上述说明中，电极20为单层结构，但本发明并不局限于此。以下，对本发明的第二实施方式所涉及的面板进行说明。由于本实施方式的面板100Ａ除了电极20具有由不同的导电性材料形成的层叠结构这一点之外，具有与上述的面板100相同的结构，所以为了避免复杂化，省略重复说明。图16有示出剖面，这里也是电极20延伸在一个方向上。面板100Ａ中，电极20具有层叠结构。这里，电极20是2层结构，电极20具有与基板10的表面12接触的导电层20α和设置在导电层20α的上面的导电层20β。导电层20α的宽度与导电层20β的宽度大致相等。导电层20α包含导电性材料Ｄ1α，导电层20β包含与导电性材料Ｄ1α不同的导电性材料Ｄ1β。这样，导电层20β在至少部分区域延伸在与导电层20α相同的方向上。例如，导电性材料Ｄ1α是银、铜、金、碳、钴，钛，镍、铝等的单体或混合物。此外,例如，导电性材料Ｄ1β是银、铜、金、碳、钴，钛，镍、铝等的单体或混合物，并与导电性材料Ｄ1α不同。此外，导电性材料Ｄ1α、Ｄ1β只要不是完全相同即可，导电性材料Ｄ1α、Ｄ1β中的任意一个是混合物的情况下，混合物中的1个导电性材料既可以包含在另一个导电性材料中，也可以不包含在其中。此外,导电性材料Ｄ1α、Ｄ1β的双方是混合物的情况下，一个导电性材料中的任意导电性材料既可以包含在另一个导电性材料中，也可以不包含在其中。优选的是，导电性材料Ｄ1α是银，导电性材料Ｄ1β是铜、金、碳、钴，钛，镍、铝中的任意一个，或者是包含选自由银、铜、金、碳、钴，钛、镍及铝组成的组中的至少2种的混合物。例如，导电性材料Ｄ1α是银，导电性材料Ｄ1β是铜。此外，导电性材料Ｄ1α适合依形成基板10的表面12的材料来选择。例如，在表面12由硅形成的情况下，通过使用银来作为导电性材料Ｄ1α，能够抑制接触电阻。有代表性的是，使用电阻率低的金属材料作为导电性材料Ｄ1α、Ｄ1β。导电层20α的宽度与导电层20β的宽度大致相等。这样，通过使电极20具有层叠结构，即使电极20的宽度较小也能增大剖面面积以实现低电阻。此外,通过使导电层20β包含与导电层20α的导电性材料Ｄ1α不同的导电性材料Ｄ1β，实际上不受基板10的表面12的影响就能够选择导电层20β的导电性材料Ｄ1β，能够提高电极20的设计自由度。此外,面板100层叠有包含银的导电层20α、和包含铜的导电层20β，从而能够抑制电极20本身的高电阻化，并能够减少高额的银的使用量。以下，参照图17，对适合制造面板100Ａ的制造方法进行说明。首先，如图17（ａ）所示，准备具有表面12的基板10。例如，如上所述，基板10是硅基板。之后，在基板10的上面，印刷包含导电性材料Ｄ1α的油墨Ｋ1α。例如，油墨Ｋ1α具有颗粒状的导电性材料Ｄ1α及载色剂，载色剂包含树脂及溶剂。导电性材料Ｄ1α是银、铜、金、碳、钴，钛，镍、铝等的单体或混合物。接着，如图17（ｂ）所示，在油墨Ｋ1α的上面印刷包含与导电性材料Ｄ1α不同的导电性材料Ｄ1β的油墨Ｋ1β。如上所述，导电性材料Ｄ1β是银、铜、金、碳、钴，钛，镍、铝等的单体或混合物，并与导电性材料Ｄ1α不同。例如，油墨Ｋ1β具有颗粒状的导电性材料Ｄ1β及载色剂。接着，如图17（ｃ）所示，印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2，以使其接触于油墨Ｋ1α、Ｋ1β。透明导电性材料Ｄ2是与导电性材料Ｄ1α、Ｄ1β不同的材料。例如，透明导电性材料Ｄ2是氧化铟锡（indiumtinoxide:ITO）、氟掺杂氧化锡（Fluorinedopedtinoxide:FTO）、铝掺杂氧化锌（AluminiumZincOxide:AZO）或锑掺杂氧化锡（AntimonyTinOxide:ATO）的单体，或这些的混合物。之后，如图17（ｄ）所示，对油墨Ｋ1α、Ｋ1β、Ｋ2进行加热，由此将导电性材料Ｄ1α烧成而形成导电层20α，将导电性材料Ｄ1β烧成而形成导电层20β，并将透明导电性材料Ｄ2烧成而形成透明导电层30。例如，加热温度是500℃以上、850℃以下。此外，参照图17所说明的制造方法及印刷方法是通过下述印刷装置适当进行的。参照图18对本发明的第二实施方式所涉及的印刷装置进行说明。本实施方式的印刷装置200Ａ具备搬运基板10的输送带210、印刷部220和加热装置230。印刷部220具有多个印刷机。这里，印刷部220具有印刷机220ａ1、印刷机220ａ2和印刷机220ｂ，该印刷机220ａ1印刷包含导电性材料Ｄ1α的油墨Ｋ1α，该印刷机220ａ2印刷包含与导电性材料Ｄ1α不同的导电性材料Ｄ1β的油墨Ｋ1β，该印刷机220ｂ印刷包含透明导电性材料Ｄ2的油墨Ｋ2。首先，在旋转的输送带210的上面放置基板10，由输送带210搬运基板10。当输送带210所搬运的基板10到达印刷机220ａ1的下方时，印刷机220ａ1在基板10上印刷油墨Ｋ1α。接着，当输送带210所搬运的基板10到达印刷机220ａ2的下方时，印刷机220ａ2在基板10上印刷油墨Ｋ1β。此外，将输送带210的搬运速度及印刷机220ａ1、220ａ2的印刷设定为能使油墨Ｋ1β重叠于油墨Ｋ1α。接着，当输送带210所搬运的基板10到达印刷机220ｂ的下方时，印刷机220ｂ在基板10上印刷油墨Ｋ2。此外，将输送带210的搬运速度及印刷机220ａ1、220ａ2、220ｂ的印刷设定为油墨Ｋ2至少与油墨Ｋ1α接触。之后，输送带210将层叠有油墨Ｋ1α、Ｋ1β和Ｋ2的基板10搬运到加热装置230。在加热装置230内加热基板10，将油墨Ｋ1α、Ｋ1β和Ｋ2烧成。由此，形成包含导电性材料Ｄ1α的导电层20α、包含导电性材料Ｄ1β的导电层20β和包含透明导电性材料Ｄ2的透明导电层30。由此依上述形成具有导电层20α、20β的电极20，其中，导电层20α、20β包含不同的导电性材料。此外，上述说明中，电极20是2层结构，印刷装置200设有2个印刷机220ａ1、220ａ2，其中该2个印刷机220ａ1、220ａ2用于形成电极20，但本发明并不局限于此。也可以是，电极20是3层以上的层叠结构，印刷部220设有3个以上的印刷机，其中该3个以上的印刷机用于形成电极20。此外，上述说明中，面板100、100’及100Ａ中的各个面板中，基板10的光电转换层包含硅，但本发明并不局限于此。光电转换层也可以包含无机化合物材料。光电转换层也可以包含ＩｎＧａＡｓ、ＧａＡｓ、黄铜矿类、Ｃｕ2ＺｎＳｎＳ4、ＣｄＴｅ－ＣｄＳ。或者，光电转换层也可以包含有机化合物。此外，在使用面板100、100’及100Ａ来作为太阳能电池板的情况下，将多个面板100、100’及100Ａ一起排列。图19示出面板100、100’或100Ａ排列而成的太阳电池模块300。太阳电池模块300中，多个列及多个行的面板100、100’或100Ａ排列成矩阵状，面板100、100’或100Ａ互相串联或并联连接。此外，上述说明中，面板100、100’或100Ａ是太阳能电池板，但本发明并不局限于此。面板100、100’或100Ａ也可以是触摸面板或电磁屏蔽面板。或者，面板100、100’和100Ａ也可以用于有机ＥＬ。此外，上述说明中，电极20及透明导电层30直接设置于基板10的上面，但本发明并不局限于此。电极20及透明导电层30也可以隔着其它层而设置于基板10的上面。根据本发明，能够抑制面板的成本。本发明适合用于太阳电池面板、触摸面板、电磁屏蔽面板、有机ＥＬ和太阳电池模块等。附图标记说明10基板12表面14背面20电极22母线电极24指状电极30透明导电层100面板200印刷装置210输送带220印刷部230加热装置300太阳电池模块