专利名称：液浆喷射发生器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路，进一步来说，涉及半导体集成电路的器件，尤其涉及集成电路封装后外壳的表面处理。
背景技术：
小外形陶瓷表面贴装(CSOP)集成电路封装过程中，采用金钢砂进行表面处理，喷砂产生的粉尘几乎完全通过排风排入大气，对大气造成严重的污染；粉尘的泄漏对生产环境还会造成污染，工人在生产过程中必须佩戴“自吸过滤式呼吸保护器”，才能尽可能地降低对人体产生的危害。显然不适应“低碳、环保，节能、减排”的要求。工艺上，在喷砂过程中，金钢砂在高速运行中与器件外引线摩擦形成高压静电，静电放电会对器件造成的损坏，特别是一些抗静电能力差的器件经喷砂表面处理后会完全失 效。经检索，尚无涉及液浆喷射发生器的中国专利申请件。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种液浆喷射发生器，以克服现有技术的缺陷，更好地解决现有的喷砂表面处理工艺对器件静电损伤、对大气环境造成污染、对人体产生的危
害等问题。设计人提供的液浆喷射发生器，是由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成的，其中工作台由台板和台柱组成，台柱支撑台板，台板中部开有一个圆形孔；液浆回收槽安装在台板上方，液浆搅拌系统安装在台板下方，防护隔离罩置于台板上方、罩在液浆回收槽外部；液浆回收槽由一个长方形的槽体和一个圆筒形的回流管组成，槽体内有一带小孔的隔板将其分为上下两部分，槽体下部四周有边、中心有回流管；液浆搅拌系统由液浆筒、鼓泡搅拌导管、液浆导管组成，鼓泡搅拌导管和液浆导管分别插入液浆筒之中；喷头为一根直管与一根支管交叉的三通形，其支管是液浆进口，直管两端是液浆喷射出口和压缩空气进口 ；喷头的液浆进口有软管连接到液浆导管，压缩空气进口11与压缩空气管道连接；防护隔离罩是一个透明罩，其底部开有液浆回收槽安装孔，侧面开有传递窗口，顶部开有水雾排气孔，正面开有两个操作孔。上述台板中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管外径一致。上述防护隔离罩底板开的收槽安装孔为长方形，尺寸与液浆回收槽外形一致。液浆喷射发生器使用时，启动液浆搅拌系统，一方面通过压缩空气鼓泡搅拌液浆；另一方面压缩空气将液浆压入喷头，液浆喷射处理器件的表面，实行喷砂表面处理；过程中的水雾由防护隔离罩的排气孔排出。本实用新型的技术原理是根据空气动力学的基本原理，当气体高速通过管道时，在管道璧附近的压力减小，管壁处压力的大小与气体通过管道的速度成反比，速度越大管壁处压力越小，在管路中开一支路，将支路连接管道放入金刚砂与水的混合物搅拌系统中，在大气压力的作用下，利用金刚砂与水混合物喷射处理器件的表面。本实用新型的液浆喷射发生器，克服了原有技术的缺陷，避免了表面处理工艺对器件产生的静电损伤，大大减少了对大气环境造成污染、对人体产生的危害，而且液浆可以循环利用，达到“低碳、环保，节能、减排”的要求。本实用新型结构简单，使用方便，效果良好；适用于生产集成电路的企业。
图I为液浆喷射发生器结构示意图，图2为喷头剖视图，图3为液浆回收槽剖视图，图4为液浆搅拌系统剖视图，图5为防护隔离罩构造示意图。图中I为台板，2为台柱，3为槽体，4为回流管，5为带小孔的隔板，6为液浆筒，7为鼓泡搅拌导管，8为液浆导管，9为液浆进口，10为液浆喷射出，11为压缩空气进口，12为安装孔，13为传递窗口，14为水雾排 气孔，15为操作孔，16为软管。
具体实施方式
一台液浆喷射发生器如图1，它是由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成的，其中工作台由台板I和台柱2组成，台柱2支撑台板1，台板I中部开有一个圆形孔；液浆回收槽安装在台板I上方，液浆搅拌系统安装在台板I下方，防护隔离罩置于台板I上方、罩在液浆回收槽外部；液浆回收槽由一个长方形的槽体3和一个圆筒形的回流管4组成，槽体内有一带0>5mm小孔的隔板5将其分为上下两部分，小孔按50mmX50mm均匀分布；槽体3下部四周有边、中心有回流管4 ;液浆搅拌系统由液浆筒6、鼓泡搅拌导管7、液浆导管8组成，鼓泡搅拌导管7和液浆导管8分别插入液浆筒6之中；喷头为一根直管与一根支管交叉的三通形，其支管是液浆进口 9，直管两端是液浆喷射出口 10和压缩空气进口 11 ;喷头的液浆进口 9有软管16连接到液浆导管8，压缩空气进口 11与压缩空气管道连接；防护隔离罩是一个透明罩，其底部开有液浆回收槽安装孔12，侧面开有传递窗口 13，顶部开有水雾排气孔14，正面开有两个操作孔15。台板I中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管4外径均为0>40_。泡搅拌导管内径为①6mm，液浆导管内径为OnOmm。喷管的液浆进口内径为6mm，液浆喷射出口和压缩空气进口内径为08mm。防护隔离罩底板开的安装孔12为长方形，尺寸与液浆回收槽外形一致；传递窗口直径为①300mm，水雾排气孔14直径为0>110mm，操作孔15直径为①150mmo
权利要求1.一种液浆喷射发生器，其特征在于它由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成，其中工作台由台板(I)和台柱(2)组成，台柱(2)支撑台板(1)，台板(I)中部开有一个圆形孔；液浆回收槽安装在台板(I)上方，液浆搅拌系统安装在台板(I)下方，防护隔离罩置于台板(I)上方、罩在液浆回收槽外部；液浆回收槽由长方形的槽体(3)和圆筒形的回流管(4)组成，槽体内有带小孔的隔板(5)将其分为上下两部分，槽体⑶下部四周有边、中心有回流管⑷；液浆搅拌系统由液浆筒(6)、鼓泡搅拌导管(7)、液浆导管(8)组成，鼓泡搅拌导管(7)和液浆导管(8)分别插入液浆筒(6)之中；喷头为一直管与一支管交叉的三通形，其支管是液浆进口(9)，直管两端是液浆喷射出口(10)和压缩空气进口(11)，液浆进口(9)有软管(16)连接到液浆导管(8)，压缩空气进口(11)与压缩空气管道连接；防护隔离罩是透明罩，其底部开有液浆回收槽安装孔(12)，侧面开 有传递窗口(13)，顶部开有水雾排气孔(14)，正面开有两个操作孔(15)。
2.按照权利要求I所述的液浆喷射发生器，其特征在于所述台板(I)中部开的圆形孔直径与液浆回收槽的回流管(4)外径一致。
3.按照权利要求I所述的液浆喷射发生器，其特征在于所述防护隔离罩底板开的收槽安装孔(12)为长方形，尺寸与液浆回收槽外形一致。
专利摘要液浆喷射发生器，由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5部分组成，其中工作台由台板和台柱组成；液浆回收槽装在台板上方，液浆搅拌系统装在台板下方，防护隔离罩置于台板上方、罩在液浆回收槽外；液浆回收槽由槽体和回流管组成；液浆搅拌系统由液浆筒、鼓泡搅拌导管、液浆导管组成；喷头支管是液浆进口，直管两端是液浆喷射出口和压缩空气进口；防护隔离罩开有液浆回收槽安装孔、传递窗口、水雾排气孔和操作孔。本实用新型避免了表面处理工艺对器件产生的静电损伤，减少了对大气的污染、对人体的危害，液浆可循环利用。结构简单，使用方便，效果良好；适用于生产集成电路的企业。
文档编号H01L21/67GK202487540SQ201220120989
公开日2012年10月10日 申请日期2012年3月28日 优先权日2012年3月28日
发明者冯云, 冯大发, 刘永鹏, 吕家权, 唐建荣, 尹国平, 张玉刚, 李斌, 杨成刚, 聂平建, 苏贵东, 蔡景洋, 连云刚, 高鹏, 黄成高 申请人:贵州振华风光半导体有限公司