接合装置及薄膜状基板保持单元的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种能够简单且迅速地应对压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况的接合装置。本发明的接合装置具备：压接头（13），其具备将薄膜状基板（3）的外部连接用端子组（3a）压接在基板（2）上的压接工具（23）及使压接工具（23）升降的压接工具升降机构（22）；薄膜状基板保持单元（26），其在外部连接用端子组（3a）位于压接工具（23）的下方的状态下保持薄膜状基板（3）。薄膜状基板保持单元（26）具备多个配置在与薄膜状基板（3）的形状相应的位置的吸附部（54、65），且拆装自如地安装于压接头（13）。
【专利说明】接合装置及薄膜状基板保持单元
【技术领域】
[0001]本发明涉及将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的接合装置及在该接合装置中使用的薄膜状基板保持单元。
【背景技术】
[0002]目前，作为将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的接合装置，已知有具备将压接工具和保持薄膜状基板的吸附部一体设置的压接头的构成。在该接合装置中，通过压接工具吸附形成有外部连接用端子组的线部分，通过多个吸附部吸附从边缘部分延伸的部分以保持薄膜状基板。由于多个吸附部配置在与薄膜状基板的形状相应的位置，故而即使是复杂形状的薄膜状基板也能够可靠地进行吸附(例如，专利文献I)。
[0003]专利文献1:(日本)特开2000 - 77898号公报
[0004]但是，在专利文献I记载的接合装置中，匹配压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状而准备了专用的压接头。因此，每当薄膜状基板的形状改变时就必须更换整个压接头。另外，压接头的更换作业需要平行度的调整及吸附部的位置调整等多个工序，存在必须使接合装置的工作长时间停止的问题。
【发明内容】
[0005]因此，本发明的目的在于提供一种能够简单且迅速应对压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况的接合装置。
[0006]另外，本发明的目的在于提供一种可与各种形状的薄膜状基板对应的薄膜状基板保持单元。
[0007]本发明的接合装置将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上，其中，具备:压接头，其具有将所述薄膜状基板的所述外部连接用端子组压接在所述基板上的压接工具及使所述压接工具升降的压接工具升降装置；薄膜状基板保持单元，其在所述外部连接用端子组位于所述压接工具的下方的状态下保持所述薄膜状基板，所述薄膜状基板保持单元具备多个配置在与所述薄膜状基板的形状对应的位置的吸附部，且拆装自如地安装在所述压接头。
[0008]另外，本发明的薄膜状基板保持单元，在具备将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的压接头的接合装置中，保持所述薄膜状基板，其中，具备:基座部，其安装在所述压接头具备的安装部；多个臂，其将一端部设于所述基座部，在另一端部具有吸附所述薄膜状基板的吸附部，所述多个臂的至少一个，其所述一端部通过轴部件相对于所述基座部转动自如地安装，在设于所述一端部与所述另一端部之间的关节部自如弯曲。
[0009]在本发明中，设置压接头、和具备配置在与薄膜状基板的形状对应的位置的多个吸附部的薄膜状基板保持单元，将薄膜状基板保持单元拆装自如地安装在压接头上，因此，在压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况下，仅在压接头安装与变更后的薄膜状基板的形状对应的薄膜状保持单元就能够简单且迅速应对。
[0010]另外，在本发明中，薄膜状基板保持单元具备的多个臂中的至少一个相对于基座部自如转动且自如弯曲，能够使相对于该基座部转动自如且在关节部弯曲自如的臂的吸附部向任意位置移动而使多个吸附部的位置与薄膜状基板的形状相应，因此，即使在压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况下也能够同样使用薄膜状基板保持单元。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是本发明一实施方式中的接合装置的主要部分侧面图；
[0012]图2是表示本发明一实施方式中的接合装置具备的压接头和薄膜状基板保持单元的立体图；
[0013]图3是表示本发明一实施方式中的压接头和薄膜状基板保持单元的局部分解立体图；
[0014]图4 (a)、(b)是表示本发明一实施方式中的压接头和薄膜状基板保持单元的侧面图；
[0015]图5是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的立体图；
[0016]图6是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的局部剖面正面图；
[0017]图7 (a)、(b)、(c)是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元具备的自由臂的部分剖面图；
[0018]图8是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元具备的自由臂的部分剖面图；
[0019]图9 (a)、(b)、(C)、(d)是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的平面图；
[0020]图10是表示本发明一实施方式中的接合装置的控制系统的框图；
[0021]图11 (a)、(b)是说明通过本发明一实施方式中的接合装置将薄膜状基板压接在基板上的顺序的图；
[0022]图12 (a)、(b)是说明通过本发明一实施方式中的接合装置将薄膜状基板压接在基板上的顺序的图。
[0023]标记说明
[0024]1:接合装置
[0025]2:基板
[0026]3:薄膜状基板
[0027]3a:外部连接用端子组
[0028]13:压接头
[0029]22:压接工具升降机构(压接工具升降装置)
[0030]23:压接工具
[0031]24:安装部升降缸(安装部升降装置)
[0032]25:安装部
[0033]26:薄膜状基板保持单元
[0034]32b:吸入端口
[0035]33:对位销(引导部)
[0036]41:基座部
[0037]41a:开口(吸入开口)
[0038]42:固定臂(臂)
[0039]43:自由臂(臂)
[0040]54:吸附部
[0041]65:吸附部
[0042]63:第一轴部件(轴部件)
[0043]64:第二轴部件(关节部)
[0044]81:第一内部吸引路(内部吸引路)
[0045]82:第二内部吸引路(内部吸引路)
【具体实施方式】
[0046]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1所示的接合装置I为将形成于薄膜状基板3的边缘部分的外部连接用端子组3a压接在设于基板2的端部的薄膜状基板被压接部2a的装置，其具备:基板保持台11，其保持基板2 ;中继台12，其设于基板保持台11的前后方向(图1的纸面左右方向。设为Y轴方向)的后方，在从未图示的薄膜状基板供给部供给的薄膜状基板3压接于基板2前暂时载置薄膜状基板3 ;压接头13，其沿水平面内方向移动自如地设于基板保持台11及中继台12的上方区域，吸附载置于中继台12的薄膜状基板3并压接在保持于基板保持台11的基板2上；支承台14，其设于基板保持台11和中继台12之间的区域，在通过压接头13将薄膜状基板3压接在基板2上时支承基板2的下面侧；照相机15，其在支承台14的后方邻接设置，从下方拍摄压接头13吸附的状态的薄膜状基板3的外部连接用端子组3a附近的识别标志及形成于被基板保持台11保持的基板2的薄膜状基板被压接部2a的识别标志。
[0047]在图1中，基板保持台11通过基板保持台移动机构IlM沿水平面内方向及上下方向移动，中继台12通过中继台移动机构12M沿水平面内方向移动。压接头13具有通过头移动机构13M在水平面内移动的头基座21、设于头基座21的压接工具升降机构22、通过压接工具升降机构22而相对于头基座21升降的压接工具23、安装于压接工具23的背面侧的安装部升降缸24、通过安装部升降缸24而升降的安装部25、以及拆装自如地安装于安装部25的薄膜状基板保持单元26。
[0048]压接工具23由安装于压接工具升降机构22的活塞杆22a下端的内装有加热用加热器的加热块23a、工具主体23b、将工具主体23b固定在加热块23a上的工具主体保持部23c构成。工具主体23b通过来自加热块23a的热传导被加热至进行热压接所需的温度。压接工具23通过压接工具升降机构22的活塞杆22a向下方的伸缩动作而升降。
[0049]在图2、图3及图4中，安装部25具有与安装部升降缸24的活塞杆24a的下端结合的水平部31及从水平部31的后缘向垂直上方延伸设置的垂直部32。垂直部32的背面32R被加工成垂直且平坦。在垂直部32的左右方向(与图1的纸面正交的方向)的两端部向后方延伸设有一对对位销33。
[0050]在图3、图4及图5中，薄膜状基板保持单元26具有安装于安装部25的垂直部32的背面32R侧的基座部41，在基座部41，作为在前端设有用于吸附保持薄膜状基板3的吸附部的多个臂，安装有固定臂42和自由臂43两种臂。基座部41由具有被平坦加工的前面51F的抵接部51、和与抵接部51的下端连接且沿左右方向(与图1的纸面正交的方向。设为X轴方向)延伸的臂连结部52构成。在臂连结部52的中央部，固定臂42向Y方向前方延伸，在其前端部的下面侧具备吸附部54。另外，在臂连结部52的两端部安装有自由臂43。薄膜状基板保持单元26使抵接部51的前面5IF与安装部25的垂直部32的背面32R紧密贴合并进行安装。
[0051]在基座部41的抵接部51的左右两端设有一对切口部55，抵接部51通过使这一对切口部55插通设于安装部25的垂直部32的前述的一对对位销33，从而以与安装部25的垂直部32抵接的状态进行定位。在该状态下，设于安装部25的垂直部32的背面32R侧的螺纹孔32a和贯通抵接部51而设置的贯通孔56对齐，故而使贯通贯通孔56的安装螺栓57的螺纹部57S拧入螺纹孔32a后，抵接部51 (即薄膜状基板保持单元26)成为固定于安装部25进行安装的状态(图4 (a)—图4 (b))。
[0052]在图3、图5及图6中，薄膜状基板保持单元26的自由臂43由第一联杆61和第二联杆62构成。第一联杆61的一端部通过第一轴部件63与基座部41的臂连结部52的左右端部连结，第二联杆62的一端部通过第二轴部件64与第一联杆61的另一端部连结。在第二联杆62的另一端部的下表面设有吸附部65。
[0053]各自由臂43的第一联杆61通过第一轴部件63相对于基座部41自如转动，第二联杆62通过第二轴部件64相对于第一联杆61自如转动。S卩，在本实施方式中，薄膜状基板保持单元26具备一端部设于基座部41，另一端部具有吸附薄膜状基板3的吸附部65的多个自由臂43，各自由臂43成为如下构成:一端部通过第一轴部件63而相对于基座部41转动自如地安装，在设于一端部与另一端部之间的作为关节部的第二轴部件64自如弯曲。
[0054]图7 (a)是自由臂43的部分(图6虚线D部分)剖面图，图7 (b)、(C)是从图7
(a)的向视V — V观察到的剖面图。在图6及图7 (a)中，在第一轴部件63的上端的螺纹部63S拧合有螺母63N，作业者通过在将螺母63N拧松的状态下调整第一联杆61相对于基座部41 (臂连结部52)的姿势，之后紧固螺母63N从而能够将第一联杆61固定在基座部41。另外，在图6及图6虚线E部分的部分剖面图即图8中，在第二轴部件64的上端的螺纹部64S拧合有螺母64N，作业者通过在将螺母64N拧松的状态下调整第二联杆62相对于第一联杆61的姿势，之后紧固螺母64N而能够将第二联杆62固定在第一联杆61。
[0055]在图1中，在接合装置I的外部设有真空源70，该真空源70经由管路71与设于压接工具23内的压接工具内管路(未图示)及设于安装部25的内部的安装部内管路(未图示)相连。压接工具内管路在工具主体23b的下端具有吸附开口 23d，安装部内管路具备在安装部25的垂直部32的背面32R侧开口的两个吸入端口 32b (图3)。
[0056]在图5及图6中，在薄膜状基板保持单元26的基座部41上设有两个在基座部41安装于安装部25的状态下与上述两个吸入端口 32b相连的开口 41a。从真空源70供给至压接工具23的吸附开口 23d的真空压力的控制及供给至安装部25的两个吸入端口 32b的真空压力的控制通过夹装于管路71的空气压力控制部72 (图1)进行。
[0057]在图6中，在薄膜状基板保持单元26的基座部41上设有与一开口 41a相连的第一基座部内吸引路81a和与另一开口 41a相连的第二基座部内吸引路82a。第一基座部内吸引路8Ia与在固定臂42内延伸的固定臂内吸引路8Ib相连，第二基座部内吸引路82a与在各自由臂43内延伸的自由臂内吸引路82b相连。而且，设于固定臂42的吸附部54与固定臂内吸引路81b相连，设于自由臂43的吸附部65与在该自由臂43内延伸的自由臂内吸引路82b相连。
[0058]这样，第一基座部内吸引路81a和固定臂内吸引路81b形成通过设于基座部41的一开口 41a而与形成于安装部25的一吸入端口 32b相连的内部吸引路(称为第一内部吸引路81)，第二基座部内吸引路82a和各自由臂43的自由臂内吸引路82b形成通过设于基座部41的另一开口 41a而与形成于安装部25的另一吸入端口 32b相连的内部吸引路(称为第二内部吸引路82)。
[0059]S卩，在实施方式中，基座部41具有与形成于安装部25的吸入端口 32b连接的开口41a，在基座部41和自由臂43上设有从开口 41a与吸附部(吸附部54及吸附部63)连通的内部吸引路(第一内部吸引路81及第二内部吸引路82)。
[0060]在图6中，各自由臂43内的自由臂内吸引路82b包含设于第一轴部件63内的第一轴部件内连通路83及设于第二轴部件64内的第二轴部件内连通路84 (也参照图7 (a)及图8)。如图7 (a)所示，第一轴部件内连通路83由在第一轴部件63内沿轴向延伸的轴向通路83a、与轴向通路83a的下端连通且沿与轴向正交的方向贯通第一轴部件63而延伸的下部贯通路83b、与轴向通路83a的上端连通且沿与轴向正交的方向贯通第一轴部件63而延伸的上部贯通路83c以及与上部贯通路83c的两端开口连通且绕第一轴部件63的外表面形成的槽83d构成。轴向通路83a通过使第一轴部件63位于相对于基座部41的规定的旋转位置，从而经由下部贯通路83b与在基座部41的臂连结部52内延伸的第二基座部内吸引路82a连通，另一方面，通过上部贯通路83c及槽83d与在第一联杆61内延伸的自由臂内吸引路82b连通(图7 (a)及图7 (b))。
[0061]如图8所示，第二轴部件内连通路84由在第二轴部件64内沿轴向延伸的轴向通路84a、与轴向通路84a的上端连通而沿与轴向正交的方向贯通第二轴部件64延伸的上部贯通路84b、与上部贯通路84b的两端开口连通且绕第二轴部件64的外表面形成的上部槽84c、与轴向通路84a的下端连通且沿与轴向正交的方向贯通第二轴部件64延伸的下部贯通路84d以及与下部贯通路84d的两端开口连通且绕第二轴部件64的外表面形成的下部槽84e构成。轴向通路84a通过上部贯通路84b及上部槽84c而与在第一联杆61内延伸的自由臂内吸引路82b连通，另一方面，通过下部贯通路84d及下部槽84e而与在第二联杆62内延伸的自由臂内吸引路82b连通。
[0062]这样，形成于基座部41内的第二基座部内吸引路82a和第一联杆61内的自由臂内吸引路82b通过第一轴部件内连通路83连接，第一联杆61内的自由臂内吸引路82b和第二联杆62内的自由臂内吸引路82b通过第二轴部件内连通路84连接，如图7 (c)所示，根据第一轴部件63相对于基座部41的旋转位置，使第二基座部内吸引路82a和下部贯通路83b不连通，因此，第二基座部内吸引路82a和自由臂内吸引路82b不连接。因此，通过使第一轴部件63相对于基座部41 (详细而言为臂连结部52)位于规定的旋转位置，能够截断第二内部吸引路82。
[0063]如上所述,作业者通过将第一联杆61固定在基座部41,将第二联杆62固定在第一联杆61，从而能够使设于各自由臂43的端部的吸附部65在一定区域内移动以对两个吸附部65进行希望的配置。压接工具23的吸附开口 23d吸附薄膜状基板3的上表面中的外部连接用端子组3a的正上方的边缘部分，故而吸附部54和吸附部65设定为如下的配置:压接工具23的吸附开口 23d吸附外部连接用端子组3a的正上方的边缘部分，在吸附除此以外的部分(从边缘部分延伸的部分)时能够平衡地吸附保持薄膜状基板3。
[0064]在此，关于不希望由吸附部65吸附薄膜状基板3的自由臂43，如前所述，通过使第一轴部件63相对于基座部41位于规定的旋转位置，从而截断第二内部吸引路82。另外，在不希望来自吸附部54的吸附的情况下，从前述的空气压力控制部72截断第一基座部内吸引路81a。图9 (a)及图9 (b)表示通过吸附部54和两个吸附部65吸附保持薄膜状基板3的情况下的例子，图9 (c)表示在不进行吸附部54的吸附的状态下通过两个吸附部65吸附保持薄膜状基板3的情况的例子。另外，图9 (d)表示通过吸附部54和一吸附部65吸附保持薄膜状基板3的情况的例子。这样，在本实施方式中的薄膜状基板保持单元26中，能够使吸附部(吸附部54及吸附部63)向任意位置移动以进行对应于薄膜状基板3的形状的配置。
[0065]如上述那样，作业者进行了使吸附部(吸附部54及两个吸附部65)与薄膜状基板3的形状相应的配置之后，将薄膜状基板保持单元26安装在安装部25。在将薄膜状基板保持单元26安装在安装部25上时，如前述那样，作业者通过使设于基座部41的抵接部51的左右两端部的一对切口部55插通从安装部25的垂直部32的背面32R向后方延伸设置的一对对位销33，从而能够进行薄膜状基板保持单元26相对于安装部25的定位。此时，在薄膜状基板保持单元26的基座部41安装于安装部25时，一对对位销33作为将基座部41向安装部25侧引导的引导部而起作用，因此，作业者能够非常容易地进行薄膜状基板保持单元26向安装部25的安装。另外，作业者也能够摸索着将薄膜状基板保持单元26安装在安装部25上，因此，不用绕入压接头13的背面侧，从压接头13的正面侧就可以进行薄膜状基板保持单元26向安装部25的安装。
[0066]这样，在本实施方式中，薄膜状基板保持单元26具备多个配置在与薄膜状基板3的形状对应的位置的吸附部(吸附部54及吸附部65)，且拆装自如地安装于压接头13。在压接头13上设有安装部25，薄膜状基板保持单元26具备拆装自如地安装于安装部25的基座部41及设于基座部41且在先端具有吸附部65的多个(在此为两个)自由臂43。而且，安装部25具备在安装基座部41时作为引导基座部41的引导部的一对对位销33。
[0067]压接工具23的升降动作能够通过压接工具升降机构22的动作而进行，安装部25(即薄膜状基板保持单元26)的升降动作能够通过作为安装部升降装置的安装部升降缸24的动作来进行，但由于安装部升降缸24随着压接工具23的升降而升降，故而薄膜状基板保持单元26的升降动作通过基于压接工具升降机构22的压接工具23的升降动作和基于安装部升降缸24的安装部25的升降的组合来进行。
[0068]在图10中，由基板保持台移动机构IlM进行的基板保持台11的移动控制、由中继台移动机构12M进行的中继台12的移动控制、由头移动机构13M进行的压接头13的移动控制、由压接工具升降机构22进行的压接工具23的升降控制、由安装部升降缸24进行的薄膜状基板保持单元26相对于压接工具23的升降控制、由空气压力控制部72进行的向压接工具23的吸附开口 23d及薄膜状基板保持单元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)的真空压力的供给控制、以及由照相机15进行的拍摄动作控制通过接合装置I具备的控制装置90进行。另外，通过照相机15的拍摄动作得到的图像数据向控制装置90发送，在控制装置90的图像识别部90a中进行图像识别。
[0069]在从已经由基板保持台11保持基板2且将薄膜状基板3载置于中继台12的状态将薄膜状基板3压接在基板2上的情况下，控制装置90首先进行头移动机构13M的动作控制而使压接头13移动，使压接工具23的吸附开口 23d及薄膜状基板保持单元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)分别位于相对载置于中继台12的薄膜状基板3的目标吸附位置的上方(图11(a))。然后，使安装部升降缸24动作，使薄膜状基板保持单元26下降(图11
(b)中所示的箭头标记A)，使薄膜状基板保持单元26的吸附部(吸附部54及吸附部65)与薄膜状基板3的上表面接触。然后，进行空气压力控制部72的控制，吸附薄膜状基板3(图11 (b))。
[0070]在吸附薄膜状基板3之后，控制装置90使安装部升降缸24动作以使薄膜状基板保持单元26上升，使薄膜状基板3与压接工具23 (详细而言为工具主体23b)的下端接触。然后，进行空气压力控制部72的控制，在压接工具23的吸附开口 23d吸附薄膜状基板3的上表面的外部连接用端子组3a的正上方的边缘部分。由此，薄膜状基板3由薄膜状基板保持单元26及压接工具23吸附保持后，进行头移动机构13M的动作控制，使压接头13移动，在使吸附的薄膜状基板3的下表面的外部连接用端子组3a位于照相机15上方的状态下，进行基于照相机15的外部连接用端子组3a的拍摄(图12 (a))。控制装置90进行通过照相机15的拍摄而得到的图像数据的图像识别来掌握外部连接用端子组3a的位置后，使压接头13移动，使薄膜状基板3的外部连接用端子组3a位于基板2的薄膜状基板被压接部2a的上方。然后，使压接工具升降机构22动作以使压接工具23下降(图12 (b)中所示的箭头标记B。薄膜状基板保持单元26与压接工具23 —同下降)，将薄膜状基板3的外部连接用端子组3a按压在基板2的薄膜状基板被压接部2a上。由此，薄膜状基板3被压接在基板2上(图12 (b))。
[0071]如以上说明，在本实施方式中的接合装置I中具备压接头13、具有多个配置在与薄膜状基板3的形状对应的位置的吸附部(吸附部54及吸附部65)的薄膜状基板保持单元26，薄膜状基板保持单元26可拆装自如地安装在压接头13上。因此，在压接在基板2上的对象的薄膜状基板3的形状改变的情况下，仅在压接头13安装与变更后的薄膜状基板3的形状对应的薄膜状基板保持单元26就能够简单且迅速地应对。
[0072]另外，本实施方式中的薄膜状基板保持单元26通过自由臂43可将其吸附部65的位置调整至与薄膜状基板3的形状对应的位置，但也能够使用仅具有以吸附部65位于与薄膜状基板3的形状对应的位置的方式制成的固定臂42的薄膜状基板保持单元26。
[0073]另外，使安装部25升降的安装部升降装置如果安装在可与压接头13同样地移动的装置上则不必安装在压接工具23及与压接工具23同时升降的部分，但如上述的实施方式那样，如果安装部升降装置(安装部升降缸24)安装在压接工具23及与压接工具23 —同升降的部分，则不需要控制安装部升降装置与压接工具23的升降同步，因此优选。另外，如上述的实施方式那样，如果安装部升降装置以通过压接工具升降机构22而与压接工具23一同升降的方式进行设置，则安装部升降装置自身进行的安装部25的升降行程较短即可，故而能够使安装部升降装置、甚至压接头13整体小型化。
[0074]另外，如以上说明地，在本实施方式中的接合装置I中，在保持薄膜状基板3的薄膜状基板保持单元26中，薄膜状基板保持单元26具备的多个臂中的至少一个(两个自由臂43)相对于基座部41自如转动且自如弯曲，能够使该自由臂43的吸附部(吸附部65)向任意位置移动以进行使多个吸附部(吸附部54及吸附部65)的位置与薄膜状基板3的形状相应的配置。因此，即使在压接在基板2上的对象的薄膜状基板3的形状改变的情况下能够同样使用薄膜状基板保持单元26。另外，在本实施方式中固定臂42为一个，自由臂43为两个，但在固定臂42至少为一个的情况下，自由臂43至少为一个即可，在没有固定臂42的情况下，自由臂43至少为两个即可。
[0075]另外，在上述的实施方式中，薄膜状基板保持单元26的基座部41 (即薄膜状基板保持单元26)拆装自如地安装于通过压接头13升降的部件(具体而言为安装部25)，但如果薄膜状基板保持单元26安装于压接头13上则不必安装于通过压接头13升降的部件上。另外，在上述的实施方式中，薄膜状基板保持单元26成为在压接头13 (具体而言为安装部25)上拆装自如的结构，但这不是必须的，也可以相对于压接头13固定。但如果薄膜状基板保持单元26可拆装自如地安装在压接头13上，则即使在压接在基板2上的对象的薄膜状基板3的形状改变的情况下，仅在压接头13安装与变更后的薄膜状基板3的形状对应的薄膜状基板保持单元26就能够简单且迅速应对，因此优选。
[0076]工业上的可利用性
[0077]本发明提供一种能够简单且迅速地应对压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况的接合装置。
[0078]另外，本发明提供一种可对应各种形状的薄膜状基板的薄膜状基板保持单元。
【权利要求】
1.一种接合装置，将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上，其特征在于，具备: 压接头，其具有将所述薄膜状基板的所述外部连接用端子组压接在所述基板上的压接工具及使所述压接工具升降的压接工具升降装置； 薄膜状基板保持单元，其在所述外部连接用端子组位于所述压接工具的下方的状态下保持所述薄膜状基板， 所述薄膜状基板保持单元具备多个配置在与所述薄膜状基板的形状对应的位置的吸附部，且拆装自如地安装在所述压接头。
2.如权利要求1所述的接合装置，其特征在于， 在所述压接头设有安装部，所述薄膜状基板保持单元具备拆装自如地安装于所述安装部的基座部及设于所述基座部且在前端具有所述吸附部的多个臂。
3.如权利要求2所述的接合装置，其特征在于， 所述安装部具备在安装所述基座部时引导所述基座部的引导部。
4.如权利要求2或3所述的接合装置，其特征在于， 所述压接头具备使所述安装部升降的安装部升降装置。
5.如权利要求2或3所述的接合装置，其特征在于， 所述压接头具备使所述安装部升降的安装部升降装置，所述安装部升降装置通过所述压接工具升降装置与所述压接工具一同升降。
6.一种薄膜状基板保持单元，在具备将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的压接头的接合装置中，保持所述薄膜状基板，其特征在于，具备: 基座部，其安装在所述压接头所具备的安装部； 多个臂，其将一端部设于所述基座部，在另一端部具有吸附所述薄膜状基板的吸附部， 所述多个臂的至少一个，其所述一端部通过轴部件相对于所述基座部转动自如地安装，在设于所述一端部与所述另一端部之间的关节部自如弯曲。
7.如权利要求6所述的薄膜状基板保持单元，其特征在于， 所述基座部具有与形成于所述安装部的吸入端口连接的吸入开口，在所述基座部和所述臂设有从所述吸入开口与所述吸附部连通的内部吸引路。
8.如权利要求7所述的薄膜状基板保持单元，其特征在于， 通过使所述轴部件相对于所述基座部位于规定的旋转位置，能够将相对于所述基座部转动自如且在所述关节部弯曲自如的所述臂的所述内部吸引路截断。
9.如权利要求6?8中任一项所述的薄膜状基板保持单元，其特征在于， 所述基座部拆装自如地安装于所述压接头。
【文档编号】H01L21/603GK104051290SQ201310741059
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年12月27日 优先权日:2013年3月12日
【发明者】龟田明, 浜田隆二, 山田真五, 味村好裕 申请人:松下电器产业株式会社