高效能多重级测试设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型为有关于一种高效能多重级测试设备，其包括有一运输装置，而运输装置于至少一侧处排列设置有数个不同功能的检测模块，且该些检测模块可依使用者需求变更排列顺序；而当于利用本实用新型进行检测时，可依照受测物较常损坏的项目更换该些检测模块的排列顺序，且受测物于第一个检测模块检测后，由运输装置运送至第二个检测模块，同时，运输装置运送另一个受测物至第一个检测模块，借此类推，令本实用新型达到提升检测速度及效率的实用进步性。
【专利说明】高效能多重级测试设备
【技术领域】
[0001]本实用新型为提供一种测试设备，特别是指一种提升检测速度及效率的高效能多重级测试设备。
【背景技术】
[0002]随着科技的进步，半导体的应用更为广泛，且种类不断增加，并于制程中所产生的极微小的缺陷，会成为影响半导体质量的关键，故精密度的要求也随之上升，因此于生产流程中，排入用来检测于制程中所产生的缺陷的检测作业，已成为制程中的不可或缺的标准步骤。
[0003]而一般现有检测模块是多利用一吸爪加以吸取、夹持一半导体，且吸盘是将半导体运送至一检测站内并停止移动，而检测站开始动作对半导体进行各种检测，且于检测全数完成后检测站停止动作，并吸爪开始动作将半导体运送出检测站，再依照检测结果将半导体区分为良品及不良品分别运送，但，现有检测模块于动作测试时，仅能一次测试一颗半导体，且即使发现故障也仅能持续进行各种检测，除了浪费时间外，浪费检测所需的能源。
[0004]是以，要如何解决上述现有的问题与缺失，即为本发明人与从事此行业的相关厂商所亟欲研究改善的方向所在。
[0005]故，本发明人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考虑，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，始设计出此种提升检测速度及效率的高效能多重级测试设备实用新型专利。
实用新型内容
[0006]本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种高效能多重级测试设备，其多站同时逐步检测，进而使检测的速度提升，视受测物自由更换检测顺序，进而使检测的效率提升。
[0007]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0008]一种高效能多重级测试设备，包括有数个不同功能的检测模块及一运输装置，该些检测模块分别排列设置于运输装置至少一侧处，且该些检测模块可依使用者需求变更排列顺序；而当欲对受测物进行检测时，先依照受测物不良率较高的检测项目更换该些检测模块的排列顺序，使与不良率较高的检测项目相对应的检测模块排列于入料端一侧，借此使该检测模块能以第一个对受测物进行检测，以提升检测效率，若排列第一个进行检测的检测模块判定受测物为不良品，排列在后的检测模块不对为不良品的受测物进行检测，若排列第一个进行检测的检测模块判定受测物为良品，运输装置运送受测物至排列第二个的检测模块，同时，运输装置运送另一受测物至排列第一个的检测模块，且排列第一个及第二个的检测模块同时各自对该些受测物进行检测，借此类推，完成全部的检测动作，以提升检测速度，借由上述技术，可针对现有检测模块所存在的检查步骤固定且动作慢、效能低的问题点加以突破，达到提升检测速度及效率的实用进步性。[0009]前述高效能多重级测试设备，其中运输装置界定有至少一入料端及至少一出料端。
[0010]前述高效能多重级测试设备，其中入料端与该出料端与该些检测模块相对应设置。
[0011]前述高效能多重级测试设备，其中些检测模块为直流分析仪、交流分析仪、网络分析仪或频谱分析仪其中之一。
[0012]前述高效能多重级测试设备，其中运输装置为一转盘。
[0013]本实用新型的有益效果是，多站同时逐步检测，进而使检测的速度提升，视受测物自由更换检测顺序，进而使检测的效率提升。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0015]图1为本实用新型较佳实施例的结构方块示意图。
[0016]图2为本实用新型较佳实施例的良品示意图。
[0017]图3为本实用新型较佳实施例的不良品示意图。
[0018]图中标号说明:
[0019]1、11、12、13、14 检测模块
[0020]2运输装置
[0021]21入料端
[0022]22出料端
[0023]3受测物
【具体实施方式】
[0024]请参阅图1至图3所示,为本实用新型较佳实施例的结构方块示意图、良品示意图及不良品示意图，由图中可清楚看出本实用新型高效能多重级测试设备包括有一运输装置2及数个不同功能的检测模块1，而该些检测模块I分别排列设置于运输装置2至少一侧处，且该些检测模块I可依使用者需求变更排列顺序，并该些检测模块I为直流分析仪、交流分析仪、网络分析仪或频谱分析仪其中之一，而运输装置2为一转盘，且运输装置2界定有至少一入料端21及至少一出料端22，并入料端21与出料端22与该些检测模块I相对应设置，又于图2及图3中，进一步将该些检测模块I加以区分为检测模块11、检测模块12、检测模块13及检测模块14作为代表，由图中可清楚看出其排列方式得以有所不同，另，上述仅为本实用新型其中的一实施态样，其态样不设限于此；
[0025]而当欲使用本实用新型对受测物3进行检测时，是先依照受测物3其检测项目的不良率更换该些检测模块I的排列顺序，使与不良率最高的检测项目相对应的检测模块I排列于入料端21 —侧，让该检测模块I第一个排列于运输装置2的动作方向，且顺着运输装置2动作方向排列与次高不良率检测项目相对应的检测模块I (第二个)，借此类推(第三个等)，而受测物3从入料端21进入运输装置2，且运输装置2将受测物3运送至排列第一个的检测模块1，使不良率最高的检测项目得以经由排列第一个的检测模块I最先进行检测，以提升检测效率，由图2作为解说，若排列第一个的检测模块14经检测后判定受测物3为不良品，运输装置2持续将受测物3往出料端22运送使受测物3从出料端22离开，且排列在后的检测模块13、检测模块11及检测模块12不会对检测为不良品的受测物3进行检测；以图3为解说，若排列第一个的检测模块12经检测后判定受测物3为良品，运输装置2将受测物3运送至排列第二个的检测模块11，同时，另一受测物3从入料端21经运输装置2运送至排列第一个的检测模块12，且排列第一个的检测模块12及第二个的检测模块11各自动作，于同一时间分别检测各自的受测物3，借此类推，使受测物3经过检测模块12、检测模块11、检测模块14及检测模块13的检测，再从出料端22送出运输装置2，借此以提升检测速度。
[0026]故，请参阅全部附图所示，本实用新型使用时，与现有技术相较，着实具有下列优
点.[0027]—、借由运输装置2与该些检测模块I相配合，令本实用新型达到提升检测速度的实用进步性。
[0028]二、借由该些检测模块I自由排列设置，令本实用新型达到提升检测效率的实用进步性。
[0029]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
[0030]综上所述，本实用新型的高效能多重级测试设备于使用时，为确实能达到其功效及目的，故本实用新型诚为一实用性优异的创作，本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关实用新型专利要件的规定，故依法提起申请。
【权利要求】
1.一种高效能多重级测试设备，其特征在于，包括: 一运输装置；及 数个不同功能的检测模块，该些检测模块分别排列设置于该运输装置至少一侧处，且该些检测模块可依使用者需求变更排列顺序。
2.根据权利要求1所述高效能多重级测试设备，其特征在于，所述运输装置界定有至少一入料端及至少一出料端。
3.根据权利要求2所述高效能多重级测试设备，其特征在于，所述入料端与该出料端与该些检测模块相对应设置。
4.根据权利要求3所述高效能多重级测试设备，其特征在于，所述些检测模块为直流分析仪、交流分析仪、网络分析仪或频谱分析仪其中之一。
5.根据权利要求1所述高效能多重级测试设备，其特征在于，所述运输装置为一转盘。
【文档编号】H01L21/66GK203491224SQ201320517785
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年8月23日 优先权日:2013年8月23日
【发明者】陈良波, 贺云朋, 沈哲豪, 徐毓堃, 许士威 申请人:全智科技股份有限公司