燃料电池内部温度-湿度联测传感器的制造方法
【专利摘要】本发明公开的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，属于燃料电池内部参数测量领域，其温度-湿度联测传感器采用真空蒸发镀膜方法制作，包括七层薄膜：首先蒸镀一层二氧化硅绝缘层，在其上方蒸镀下电极铝镀层，然后涂覆高分子聚合物感湿介质，上方在蒸镀上电极铝镀层，其次在二氧化硅绝缘层上分别蒸镀薄膜热电偶铜镀层和薄膜热电偶镍镀层，最后在蒸镀一层二氧化硅保护层。本发明实现了对燃料电池内部温度和湿度的同步测量且无需对燃料电池流场板等结构进行特殊改造，保证了燃料电池性能的稳定；该发明具有结构简单，制作方便，体积小等优点，可布置于各种流道形状的燃料电池流场板上对燃料电池内部的温度和湿度进行同步测量。
【专利说明】燃料电池内部温度-湿度联测传感器
【技术领域】
[0001]本发明属于燃料电池内部热参数测量领域，涉及燃料电池内部温度和湿度的测量，特别涉及燃料电池内部温度-湿度联测传感器。
【背景技术】
[0002]在燃料电池运行中，温度和湿度是两个非常重要的参数，对燃料电池的性能有着非常大的影响。燃料电池的性能对温度比较敏感，由于燃料电池体的结构紧凑，随着电化学反应的进行，电池内部热量会不断集聚，导致温度升高，若温度在适宜的范围内则会对燃料电池的性能产生有益的影响；若温度超过膜电极所能承受的范围，则会导致膜电极性能下降甚至失效。因此燃料电池运行中，温度控制问题是必须要解决的问题，而要解决这一问题就必须要清楚电池内部的温度分布以及变化过程。
[0003]湿度对燃料电池性能的影响同样重要。燃料电池内部的湿度影响质子交换膜的质子传递，若相对湿度过高，则不能把电池内部产生的水蒸气带出，电池内部将集聚大量的凝结水造成水淹，严重影响燃料电池的性能，若湿度过低则会导致膜电极干涸，使燃料电池性能下降，因此有必要监测电池内部的湿度，通过调节湿度使燃料电池的性能达到最佳。
[0004]传统的测温方法大多是将微型温度传感器、热电偶或热电阻埋入燃料电池的流道中，或与燃料电池的膜电极热压为一体，其往往需要对燃料电池的结构进行特殊改造，这不仅破坏了燃料电池整体结构，也对燃料电池的性能有很大的影响；对于测湿手段，方法有通过在燃料电池流场板上开孔，植入商业湿度传感器来对燃料电池内部的湿度进行测量，该方法需要对燃料电池的流场板进行特殊的加工改造，加工难度大，且对燃料电池的密封性有一定的破坏性；还有通过采用刻蚀工艺制作湿度传感器进行测量的方法，该方法的制作工艺复杂，制作成本高。
[0005]本发明是采用真空蒸发镀膜方法制作而成，简化了制作工序，降低了制作成本，并且将测温单元和测湿单元集成于一个传感器之上，能够对燃料电池内部温度和湿度进行同步测量，可方便灵活的布置在燃料电池流场板上，不需要对燃料电池流场板进行特殊改造，保证了燃料电池性能的稳定，该发明还具有结构简单，制作方便，体积小，灵敏度高等优点。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供一种能同步测量燃料电池内部温度和湿度的传感器。该发明采用真空蒸发镀膜方法将测温单元和测湿单元集成于一体，具有结构简单、制作方便、体积小等优点，方便了燃料电池电池内部温度和湿度的测量研究。
[0007]为实现上述技术目的，本发明的技术方案如下:燃料电池内部温度-湿度联测传感器，包括燃料电池流场板1、温度-湿度联测传感器4、引线5，在燃料电池流场板I上设有流道2和脊3，温度-湿度联测传感器4设置在燃料电池流场板I两相邻流道2之间的脊3上，引线5的一端与温度-湿度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至燃料电池流场板I的边缘；燃料电池组装时，燃料电池流场板I上布置有温度-湿度联测传感器4的面朝向燃料电池膜电极侧并与之紧密接触。
[0008]所述温度-湿度联测传感器4集成了薄膜热电偶测温单元和湿敏电容测湿单元，采用真空蒸发镀膜方法制作，包括七层薄膜:第一层为蒸镀在脊3上的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层13，第二层为在二氧化硅绝缘层13上蒸镀的厚为1.0-1.2 μ m的下电极铝镀层14，第三层为在下电极铝镀层14上方涂覆一层厚为0.5-1 μ m的高分子聚合物感湿介质层15，第四层为在高分子聚合物感湿介质层15上方蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的上电极铝镀层16 ;所述上电极铝镀层16、高分子聚合物感湿介质层15和下电极铝镀层14构成了湿敏电容，首端为湿敏电容接线引出端29，其中上电极铝镀层16的形状为蛇形；第五层为在二氧化硅绝缘层上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热电偶铜镀层17，第六层为在二氧化硅绝缘层上蒸镀的厚为0.1-0.12μπι的薄膜热电偶镍镀层18 ;所述薄膜热电偶铜镀层17和薄膜热电偶镍镀层18的形状为长条形，中间相互搭接，搭接处构成薄膜热电偶热端结点28，首端为薄膜热电偶接线引出端27 ;第七层为在先前镀层的基础上蒸镀的厚为
0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层19。
[0009]所述薄膜热电偶接线引出端27和湿敏电容接线引出端29均制作成圆形，且均布置于二氧化硅绝缘层13的同一侧。
[0010]温度-湿度联测传感器的制作步骤包括步骤一 20、步骤二 21、步骤三22、步骤四23、步骤五24、步骤六25、步骤七26 ;具体而言，步骤一 20，在燃料电池流场板1的脊3上根据二氧化硅绝缘层掩膜6蒸镀一层二氧化硅绝缘层13，作为绝缘衬底；步骤二 21，在二氧化硅绝缘层13上根据下电极铝镀层掩膜7蒸镀一层下电极铝镀层14 ;步骤三22，根据高分子聚合物感湿介质层掩膜8在下电极铝镀层14上方涂覆一层高分子聚合物感湿介质层15 ；步骤四23，在高分子聚合物感湿介质层15的上方根据上电极铝镀层掩膜9蒸镀一层上电极铝镀层16 ;步骤五24，根据薄膜热电偶铜镀层掩膜10在二氧化硅绝缘层13上蒸镀一层薄膜热电偶铜镀层17 ;步骤六25，根据薄膜热电偶镍镀层掩膜11在二氧化硅绝缘层13上蒸镀一层薄膜热电偶镍镀层18 ;步骤七26，在先前镀层的基础上根据二氧化硅保护层掩膜12蒸镀一层二氧化硅保护层19，以保护传感器不受燃料电池内部电流的干扰；由以上步骤构成温度-湿度联测传感器，外接测量电路和数据采集设备即可实现对燃料电池内部温度和湿度的同步测量。
[0011]所述温度-湿度联测传感器4中二氧化硅绝缘层13可制作成方形、圆形、多边形、梯形、三角形、不规则图形。
[0012]所述湿敏电容上下电极的金属镀层材料，还可选用金、铜和钼金属代替。
[0013]所述上电极铝镀层16的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可为锯齿状、梳状。
[0014]所述薄膜热电偶金属镀层材料中，由铜和镍组成的纯金属镀层还可以选用钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代。
[0015]所述薄膜热电偶铜镀层17和薄膜热电偶镍镀层18的形状是根据掩膜的形状而设定的，还可以为椭圆形、弧形、波浪形、菱形以及不规则形状，相互搭接后的形状可为弧形、波浪形、锯齿形。
[0016]所述薄膜热电偶接线引出端27和湿敏电容接线引出端29可分别相对的布置在二氧化硅绝缘层13的两侧，其形状还可为椭圆形、矩形、梯形、三角形。
[0017]所述引线5的宽度为0.1-0.2mm，是采用真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12 μ m的引线二氧化硅绝缘层30，第二层为厚0.1-0.12 μ m的引线铜镀层31，第三层为厚0.1-0.12 μ m的引线金镀层32，最上一层为厚0.05-0.1 μ m的引线二氧化硅保护层33。
[0018]引线二氧化硅绝缘层30与引线铜镀层31和引线金镀层32在形状、位置和尺寸上均一致，引线二氧化硅保护层33与前三层在形状和位置上相同，但在靠近流场板边缘处，
要略短于前三层。
[0019]所述燃料电池流场板I上流道2的形状可为平行流道、蛇形单通道流道、蛇形多通道流道、插指型流道流、不规则流道。
[0020]与现有技术相比，本发明具有如下有益效果。
[0021]本发明是采用真空蒸发镀膜方法制作而成，简化了传感器的制作工序，将薄膜热电偶测温单元和湿敏电容测湿单元集成一体，解决了燃料电池内部温度和湿度同步测量的问题，不需要对燃料电池流场板进行特殊改造，且采用薄膜热电偶作为测温单元，与热电阻相比灵敏度更高，线性度更好；同时，该发明具有结构简单，制作方便，体积小等优点，适用于各种流道形状的燃料电池流场板，可同步测量燃料电池内部某一位置的温度和湿度，也可对多个位置进行同步测量。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为温度-湿度联测传感器在平行流道流场板上布置的主观示意图；
[0023]图2为燃料电池流场板上单个温度-湿度联测传感器的主观示意图；
[0024]图3为燃料电池流场板上单个温度-湿度联测传感器的制作流程图；
[0025]图4为温度-湿度联测传感器引线的截面主观示意图；
[0026]图5为温度-湿度联测传感器在插指型流道流场板上布置的主观示意图；
[0027]图6为温度-湿度联测传感器在蛇形单通道流道流场板上布置的主观示意图；
[0028]图7为温度-湿度联测传感器在蛇形多通道流道流场板上布置的主观示意图；
[0029]图中，1、燃料电池流场板，2、流道，3、脊，4、温度-湿度联测传感器，5、引线；
[0030]6-12为温度-湿度联测传感器各层掩膜:6、二氧化硅绝缘层掩膜，7、下电极铝镀层掩膜，8、高分子聚合物感湿介质层掩膜，9、上电极铝镀层掩膜，10、薄膜热电偶铜镀层掩膜，11、薄膜热电偶镍镀层掩膜，12、二氧化硅保护层掩膜；
[0031]13-19为根据掩膜制作的温度-湿度联测传感器各膜层:13、二氧化硅绝缘层，14、下电极铝镀层，15、高分子聚合物感湿介质层，16、上电极铝镀层，17、薄膜热电偶铜镀层，18、薄膜热电偶镍镀层，19、二氧化硅保护层；
[0032]20-26为温度-湿度联测传感器的制作步骤:20、步骤一，21、步骤二，22、步骤三，23、步骤四，24、步骤五，25、步骤六，26、步骤七；
[0033]27、薄膜热电偶接线引出端，28、薄膜热电偶热端结点，29、湿敏电容接线引出端；
[0034]30、引线二氧化硅绝缘层，31、引线铜镀层，32、弓丨线金镀层，33、引线二氧化硅保护层。
【具体实施方式】
[0035]下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0036]参照图1所示，本发明的燃料电池内部温度-湿度联测传感器包括燃料电池流场板1、温度-湿度联测传感器4、引线5，在燃料电池流场板1上设有流道2和脊3，温度-湿度联测传感器4设置在燃料电池流场板1两相邻流道2之间的脊3上，引线5的一端与温度-湿度联测传感器4的接线引出端相接，另一端延伸至燃料电池流场板1的边缘，用于传递传感器产生的电信号；燃料电池组装时，燃料电池流场板1上布置有温度-湿度联测传感器4的面朝向燃料电池膜电极侧并与之紧密接触。
[0037]参照图2所示，本发明所述的温度-湿度联测传感器4集成了薄膜热电偶测温单元和湿敏电容测湿单元，采用真空蒸发镀膜方法制作而成，包括七层薄膜:第一层为蒸镀在燃料电池流场板1两相邻流道2之间的脊3上的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层13，第二层为在二氧化硅绝缘层13上蒸镀的厚为1.0-1.2 μ m的下电极铝镀层14，第三层为在下电极铝镀层14上方涂覆一层厚为0.5-1 μ m的高分子聚合物感湿介质层15，第四层为在高分子薄膜感湿介质层15上方蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的上电极铝镀层16，第五层为在二氧化硅绝缘层13上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热电偶铜镀层17，第六层为在二氧化硅绝缘层13上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热电偶镍镀层18，第七层为在先前镀层的基础上蒸镀的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层19。
[0038]图3为单个温度-湿度联测传感器的制作流程图:6-12为温度-湿度联测传感器各层掩膜，13-19为根据掩膜制作的温度-湿度联测传感器各膜层，20-26为温度-湿度联测传感器的制作步骤。首先在燃料电池流场板1的脊3上根据二氧化硅绝缘层掩膜6蒸镀一层二氧化硅绝缘层13，作为传感器的衬底，并与燃料电池流场板充分绝缘，从而完成步骤一 20 ;步骤二 21为在二氧化硅绝缘层13上根据下电极铝镀层掩膜7蒸镀一层下电极铝镀层14，步骤三22为在下电极铝镀层14上方根据高分子聚合物感湿介质层掩膜8涂覆一层高分子聚合物感湿介质层15，步骤四23为在高分子聚合物感湿介质层15的上方根据上电极铝镀层掩膜9蒸镀一层上电极铝镀层16 ;其中，下电极铝镀层14、高分聚合物感湿介质层15和上电极铝镀层16构成了湿敏电容，实现了湿度的测量；步骤五24为根据薄膜热电偶铜镀层掩膜10在二氧化硅绝缘层13上蒸镀一层薄膜热电偶铜镀层17，步骤六25为根据薄膜热电偶镍镀层掩膜11在二氧化硅绝缘层13上蒸镀一层薄膜热电偶镍镀层18 ;其中薄膜热电偶铜镀层17和薄膜热电偶镍镀层18构成了薄膜热电偶，从而实现了温度测量；步骤七26为在先前镀层的基础上根据二氧化硅保护层掩膜12蒸镀一层二氧化硅保护层19，以保护传感器不受燃料电池内部电流的干扰；由以上步骤构成温度-湿度联测传感器，外接测量电路和数据采集设备即可实现对燃料电池内部温度和湿度的同步测量。
[0039]其中，温度-湿度联测传感器的整体形状是由二氧化硅绝缘层的形状来决定的，其不仅可以制作成图3所示的方形，还可为圆形、多边形、梯形、三角形、不规则图形等其它形状。步骤二 21和步骤四23完成的湿敏电容上电极和下电极的金属材料还可选用金、铜、钼等其他金属替代，其中，湿敏电容上电极铝镀层16的形状不仅可为图3所示的蛇形，还可为锯齿状、梳状等其他形状。步骤五24和步骤六25完成的薄膜热电偶铜镀层17和薄膜热电偶镍镀层18的形状为长条形，中间相互搭接，搭接处构成薄膜热电偶热端结点28 ;薄膜热电偶铜镀层17和薄膜热电偶镍镀层18的形状根据掩膜的不同而不同，还可为椭圆形、弧形、波浪形、菱形以及不规则形状等其它形状，相互搭接后的形状可为弧形、波浪形、锯齿形等；薄膜热电偶金属镀层的材料还可为钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴等替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代。
[0040]薄膜热电偶的首端为薄膜热电偶接线引出端27，湿敏电容的首端为湿敏电容接线引出端29，其作用为方便与引线5相连，进行电信号的传导。薄膜热电偶接线引出端27和湿敏电容接线引出端29的形状不仅可为图3所示的形状，还可为椭圆形、矩形、梯形、三角形等其它形状，其位置可均布置在二氧化硅绝缘层13的同一侧，也可相对的布置在二氧化硅绝缘层13的两侧，即当薄膜热电偶接线引出端27为于二氧化硅绝缘层13的上侧时，湿敏电容接线引出端29可布置在与薄膜热电偶接线引出端27相对的二氧化硅绝缘层13的另一侧，以方便传感器引线5在流场板上的布置。
[0041]图4为温度-湿度联测传感器引线的截面示意图，该引线5的宽度为0.1-0.2mm,是由真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12 μ m的引线二氧化硅绝缘层30，第二层为厚0.1-0.12μπι的引线铜镀层31，第三层为厚0.1-0.12μπι的引线金镀层32，最上一层为厚0.05-0.1 μ m的引线二氧化硅保护层33 ;引线二氧化硅绝缘层30与引线铜镀层31和引线金镀层32在形状、位置和尺寸上均一致，引线二氧化硅保护层33与前三层在形状和位置上相同，但在靠近流场板边缘处，要略短于前三层，以方便与外接数据采集设备的引线连接。
[0042]图5为温度-湿度联测传感器在插指型流道流场板上的布置示意图，在插指型流道流场板的脊上布置有温度-湿度联测传感器4，引线5 —端与温度-湿度联测传感器接线引出端相接，另一端延伸至流场板边缘。
[0043]图6为温度-湿度联测传感器在蛇形单通道流道流场板上的布置示意图，在流场板的脊上布置有温度-湿度联测传感器4，引线5 —端与温度-湿度联测传感器接线引出端相接，另一端延伸至流场板边缘。
[0044]图7为温度-湿度联测传感器在蛇形多通道流道流场板上的布置示意图，在流场板的脊上布置有温度-湿度联测传感器4，引线5 —端与温度-湿度联测传感器接线引出端相接，另一端延伸至流场板边缘。
[0045]本发明的温度-湿度联测传感器是采用真空蒸发镀膜方法制作而成，包括七层薄膜，将薄膜热电偶和湿敏电容集成一体，实现了燃料电池内部温度和湿度的同步测量；该发明结构简单，制作容易，体积小，布置在燃料电池内部对燃料电池的性能影响小。
【权利要求】
1.燃料电池内部温度-湿度联测传感器，包括燃料电池流场板(I)、温度-湿度联测传感器(4)、引线(5)，在燃料电池流场板(I)上设有流道(2)和脊(3)，温度-湿度联测传感器⑷设置在燃料电池流场板⑴两相邻流道⑵之间的脊⑶上，引线(5)的一端与温度-湿度联测传感器(4)的接线引出端相接，另一端延伸至燃料电池流场板(I)的边缘；燃料电池组装时，燃料电池流场板(I)上布置有温度-湿度联测传感器(4)的面朝向燃料电池膜电极侧并与之紧密接触；其特征在于: 所述温度-湿度联测传感器(4)集成了薄膜热电偶测温单元和湿敏电容测湿单元，采用真空蒸发镀膜方法制作，包括七层薄膜:第一层为蒸镀在脊(3)上的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅绝缘层(13)，第二层为在二氧化硅绝缘层(13)上蒸镀的厚为1.0-1.2μπι的下电极铝镀层(14)，第三层为在下电极铝镀层(14)上方涂覆一层厚为0.5-1μπι的高分子聚合物感湿介质层(15)，第四层为在高分子聚合物感湿介质层(15)上方蒸镀的厚为1.0-1.2 μ m的上电极铝镀层(16);所述上电极铝镀层(16)、高分子聚合物感湿介质层(15)和下电极铝镀层(14)构成了湿敏电容，首端为湿敏电容接线引出端(29)，其中上电极铝镀层(16)的形状为蛇形；第五层为在二氧化硅绝缘层上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热电偶铜镀层(17)，第六层为在二氧化硅绝缘层上蒸镀的厚为0.1-0.12 μ m的薄膜热电偶镍镀层(18);所述薄膜热电偶铜镀层(17)和薄膜热电偶镍镀层(18)的形状为长条形，中间相互搭接，搭接处构成薄膜热电偶热端结点(28)，首端为薄膜热电偶接线引出端(27);第七层为在先前镀层的基础上蒸镀的厚为0.08-0.12 μ m的二氧化硅保护层(19)； 所述薄膜热电偶接线引出端(27)和湿敏电容接线引出端(29)均制作成圆形，且均布置于二氧化硅绝缘层(13)的同一侧。 温度-湿度联测传感器的制作步骤包括步骤一(20)、步骤二(21)、步骤三(22)、步骤四(23)、步骤五(24)、步骤六(25)、步骤七(26);具体而言，步骤一(20)，在燃料电池流场板(I)的脊(3)上根据二氧化硅绝缘层掩膜(6)蒸镀一层二氧化硅绝缘层(13)，作为绝缘衬底；步骤二(21)，在二氧化硅绝缘层(13)上根据下电极铝镀层掩膜(7)蒸镀一层下电极铝镀层(14);步骤三(22)，根据高分子聚合物感湿介质层掩膜(8)在下电极铝镀层(14)上方涂覆一层高分子聚合物感湿介质层(15);步骤四(23)，在高分子聚合物感湿介质层(15)的上方根据上电极铝镀层掩膜(9)蒸镀一层上电极铝镀层(16);步骤五(24)，根据薄膜热电偶铜镀层掩膜(10)在二氧化硅绝缘层(13)上蒸镀一层薄膜热电偶铜镀层(17);步骤六(25)，根据薄膜热电偶镍镀层掩膜(11)在二氧化硅绝缘层(13)上蒸镀一层薄膜热电偶镍镀层(18);步骤七(26)，在先前镀层的基础上根据二氧化硅保护层掩膜(12)蒸镀一层二氧化硅保护层(19)，以保护传感器不受燃料电池内部电流的干扰；由以上步骤构成温度-湿度联测传感器，外接测量电路和数据采集设备即可实现对燃料电池内部温度和湿度的同步测量。
2.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述温度-湿度联测传感器(4)中二氧化硅绝缘层(13)可制作成方形、圆形、多边形、梯形、三角形、不规则图形。
3.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述湿敏电容上下电极的金属镀层材料，还可选用金、铜和钼金属代替。
4.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述上电极铝镀层(16)的形状是根据掩膜的形状而设定的，其形状还可为锯齿状、梳状。
5.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述薄膜热电偶金属镀层材料中，由铜和镍组成的纯金属镀层还可以选用钨和镍、铜和钴、钥和镍、锑和钴替代，也可采用金属混合物材料如铜和康铜替代。
6.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述薄膜热电偶铜镀层(17)和薄膜热电偶镍镀层(18)的形状是根据掩膜的形状而设定的，还可以为椭圆形、弧形、波浪形、菱形以及不规则形状，相互搭接后的形状可为弧形、波浪形、锯齿形。
7.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述薄膜热电偶接线引出端(27)和湿敏电容接线引出端(29)可分别相对的布置在二氧化硅绝缘层(13)的两侧，其形状还可为椭圆形、矩形、梯形、三角形。
8.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述引线(5)的宽度为0.1-0.2mm，是采用真空蒸发镀膜方法蒸镀的四层薄膜构成:第一层为厚0.08-0.12 μ m的引线二氧化硅绝缘层(30)，第二层为厚0.1_0.12 μ m的引线铜镀层(31)，第三层为厚0.1-0.12 μ m的引线金镀层(32)，最上一层为厚0.05-0.1ym的引线二氧化硅保护层(33)； 引线二氧化硅绝缘层(30)与引线铜镀层(31)和引线金镀层(32)在形状、位置和尺寸上均一致，引线二氧化硅保护层(33)与前三层在形状和位置上相同，但在靠近流场板边缘处，要略短于前三层。
9.根据权利要求1所述的燃料电池内部温度-湿度联测传感器，其特征在于:所述燃料电池流场板(I)上流道(2)的形状可为平行流道、蛇形单通道流道、蛇形多通道流道、插指型流道流、不规则流道。
【文档编号】H01M8/02GK104377373SQ201410637413
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年11月5日 优先权日:2014年11月5日
【发明者】郭航, 王政, 刘佳兴, 叶芳, 马重芳 申请人:北京工业大学