传片系统及半导体加工设备的制作方法

文档序号:14723365发布日期:2018-06-18 12:26阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种传片系统及半导体加工设备。该传片系统包括转盘和机械手,在转盘上沿其周向间隔设置有多个承载位,每个承载位所在位置处设置有用于承载基片的至少一个支撑柱;转盘用于绕其轴向旋转使每个承载位旋转至传片位置;机械手用于在每个承载位旋转至传片位置之后,对该承载位所在位置处的支撑柱传片。本发明提供的传片系统及半导体加工设备,其不仅可以减少单次传片时间,从而可以提高传片效率和设备产率;而且还可以减小机械手和转盘分别与顶针之间动作的互锁条件,从而可以减少传片过程的故障点和真空泄露点,进而提高传片系统的安全性、稳定性和可靠性;另外,由于省去顶针和其升降驱动器,因而可以降低投入成本和减小电气调试时间。

技术研发人员:陈春伟;
受保护的技术使用者:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
技术研发日:2014.12.17
技术公布日:2016.07.13

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