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激光照射装置的制作方法
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来源:国知局
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激光照射装置的制造方法
技术特征:
技术总结
该激光照射装置可以具备:激光装置,其输出脉冲激光;光束扫描光学系统,其将从激光装置输出的脉冲激光分配至多个光路;多个光束均匀器,它们分别配置于多个光路,分别使分配至多个光路的脉冲激光的光强分布均匀化;以及控制部,其将光束扫描光学系统控制成,将从激光装置输出的脉冲激光按照每个脉冲分配至多个光路。
技术研发人员:
柿崎弘司;诹访辉;若林理
受保护的技术使用者:
极光先进雷射株式会社
技术研发日:
2014.12.15
技术公布日:
2017.08.18
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