柔性OLED面板制备方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性oled面板制备方法。

背景技术：

柔性显示技术近几年飞速发展，柔性显示面板从屏幕尺寸到显示质量都取得了很大进步。无论是濒临消失的阴极射线管(cathoderaytube，crt)，还是现今主流的液晶显示面板(liquidcrystaldisplay，lcd)，本质上都属于传统的刚性显示面板。与传统的刚性显示面板相比，柔性显示面板具有诸多优点，如耐冲击，抗震能力强，重量轻，体积小，携带更加方便等。

柔性显示面板包括柔性有机发光二极管(organiclightemittingdiode，oled)、柔性电泳显示面板(electrophoreticdisplay，epd)、柔性液晶显示面板等多种类型。其中柔性oled面板具有自发光、广视角、响应时间短、高发光率、色域广、工作电压低、可挠曲等特点，其被认为是最具潜力的新型显示装置。

目前，制备柔性oled面板的方法一般是通过有机粘合剂将柔性基板贴附固定在支座上，待制备完成显示元件之后再将柔性基板与支座分离。然而，有机粘合剂涂敷时，难以保证其涂敷均匀，无法确保柔性基板精确地贴附固定于支座以及柔性基板的平坦度，故可能会对后续步骤产生不好的影响，甚至影响产品的品质；另外，柔性基板与支座分离时，有机粘合剂会不同程度地残留于柔性基板与支座表面，需要花费大量的人力进行清理，无形中增加了整个制备过程的时间。

技术实现要素：

鉴于上述状况，有必要提供一种不需使用有机粘合剂、且柔性基板与支座贴敷平坦均匀的柔性oled面板制备方法，以现有技术中的不足。

本发明提供一种柔性oled面板制备方法，所述制备方法包括：在柔性基板的一侧表面形成铁磁金属层；将形成有所述铁磁金属层的所述柔性基板贴附固定于永磁基板上；在所述柔性基板相对所述铁磁金属层的另一侧表面上制备oled元件；分离所述柔性基板与所述永磁基板；以及清除所述柔性基板上的所述铁磁金属层，得到柔性oled面板。

进一步地，所述铁磁金属层成分为铁、钴、镍、钛、钒、铬、锰、硒、及镧之中的一种金属，或铁、钴、镍、钛、钒、铬、锰、硒、及镧之中至少两种金属组成的合金。

进一步地，所述铁磁金属层通过溅射镀膜的方法均匀地形成于所述柔性基板的一侧表面上。

进一步地，所述永磁基板采用铁氧体材料制成。

进一步地，清除所述柔性基板上的所述铁磁金属层，得到柔性oled面板的步骤包括：

将弱酸性溶液涂敷或喷洒于所述铁磁金属层上，所述铁磁金属层与所述弱酸性溶液反应溶于其中，再擦拭予以清除，以得到所述柔性oled面板。

进一步地，所述弱酸性溶液为强酸弱碱盐溶液或弱酸溶液，强酸弱碱盐溶液为cuso4、fecl3、nh4cl、nh4no3、alcl3、或cu(no3)2其中之一，弱酸溶液为稀盐酸、稀磷酸其中之一。

进一步地，分离所述柔性基板与所述永磁基板通过削弱所述永磁基板磁场或通过转变所述永磁基板磁场方向来实现。

进一步地，通过削弱所述永磁基板磁场分离所述柔性基板与所述永磁基板的步骤包括：将固定于所述永磁基板上的所述柔性oled基板放置于与所述永磁基板磁场方向相反的磁场中，所述永磁基板磁场被削弱甚至抵消，所述永磁基板与所述铁磁金属层分离。

进一步地，通过转变所述永磁基板磁场方向分离所述柔性基板与所述永磁基板的步骤包括：将固定于所述永磁基板上的所述柔性oled基板放置于加热平台上，所述加热平台将所述永磁基板加热至其居里温度以转变所述永磁基板磁场方向，转变后的所述永磁基板磁场使得所述永磁基板与所述铁磁金属层互相排斥分离。

进一步地，所述oled元件包括阳极、阴极、以及位于阳极和阴极之间的有机材料功能层。

本发明实施例的技术方案带来的有益效果是：上述柔性oled面板制备方法，通过磁性吸附的原理，在柔性基板形成铁磁金属层，而将柔性基板固定于永磁基板上，二者贴附平坦均匀，待制备完oled元件后，通过削弱或转变永磁基板磁场的方法很容易的将柔性基板与永磁基板分离，弱酸性溶液易于清除铁磁金属层，本法不再使用有机粘合剂。

附图说明

图1是本发明的柔性oled面板制备方法的流程图。

图2是本发明实施例中在柔性基板上形成铁磁金属层的示意图。

图3是将图2的形成有铁磁金属层的柔性基板固定于永磁基板的示意图。

图4a是在图3的柔性基板上制备无源oled元件的示意图。

图4b是在图3的柔性基板上制备有源oled元件的示意图。

图5a是通过削弱永磁基板磁场分离柔性基板与永磁基板的示意图。

图5b是通过转变永磁基板磁场方向分离柔性基板与永磁基板的示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1是本发明的柔性oled面板制备方法的流程图，请参考图1，本发明实施例中的柔性oled面板制备方法包括如下步骤：

s101：在柔性基板的一侧表面形成铁磁金属层；

s102：将形成有铁磁金属层的柔性基板贴附固定于永磁基板上；

s103：在柔性基板相对铁磁金属层的另一侧表面上制备oled元件；

s104：分离柔性基板与永磁基板；以及

s105：清除柔性基板上的铁磁金属层，得到柔性oled面板。

请参考图2，在步骤s101中，在柔性基板11的一侧表面形成铁磁金属层12，其中铁磁金属层12通过溅射(sputtering)镀膜的方法均匀地形成于柔性基板11的一侧表面上，该溅射镀膜可以是直流溅射镀膜、交流溅射镀膜、反应溅射镀膜、以及磁控溅射镀膜，在本实施例中，该溅射镀膜为磁控溅射镀膜。铁磁金属层12成分为铁、钴、镍、钛、钒、铬、锰、硒、及镧之中的一种金属，或铁、钴、镍、钛、钒、铬、锰、硒、及镧之中至少两种金属组成的合金。

请参考图3，在步骤s102中，将形成有铁磁金属层12的柔性基板11贴附固定于永磁基板13上，铁磁金属层12与永磁基板13面接触，永磁基板13具有磁性可吸附固定铁磁金属层12，永磁基板13表面平整、厚度均匀，永磁基板13的磁场力均匀分布，故柔性基板11平坦地贴附固定于永磁基板13上。永磁基板13可采用铁氧体材料制成，铁氧体可吸附铁磁金属层12。

在步骤s103中，柔性基板11相对铁磁金属层12的另一侧表面上制备oled元件14，柔性oled基板可为无源oled阵列基板或有源oled阵列基板，二者对应的oled元件14有所不同。

请参考图4a，制备无源oled阵列基板时，在柔性基板11相对铁磁金属层12的另一侧表面，形成阳极141、阴极142、以及位于阳极141和阴极142之间的有机材料功能层143，有机材料功能层143至少包括电子传输层、发光层和空穴传输层，为了能够提高电子和空穴注入发光层的效率，优选的，有机材料功能层143还可包括设置在阴极141与电子传输层之间的电子注入层，以及在阳极141与空穴传输层之间的空穴注入层。其中，任一个阳极141、与之对应的一个阴极142、以及位于阳极141和阴极142之间的有机材料功能层143构成一个oled元件14。此外，任意相邻的两个oled元件14之间可以设置像素隔离层16来隔离oled元件14。

请参考图4b，制备有源oled阵列基板时，在柔性基板11相对铁磁金属层12的另一侧表面，形成薄膜晶体管144、阳极141、阴极142、位于阳极141和阴极142之间的有机材料功能层143，薄膜晶体管144包括栅极、栅绝缘层、有源层、源极和漏极，漏极和阳极141电性连接。其中，任一个薄膜晶体管144，与薄膜晶体管144的漏极电性连接的阳极141，与该阳极141对应的一个阴极142，以及位于阳极141和阴极142之间的有机材料功能层143构成一个oled元件14。任意相邻的两个oled元件14之间也可以设置像素隔离层(图未示)来隔离oled元件14。

上述二种情况，不对阳极141和阴极142的形成顺序进行限定，可以是先形成阳极141，之后形成有机材料功能层143，然后再形成阴极142；也可以是先形成阴极142，之后形成有机材料功能层143，然后再形成阳极141。

在步骤s104中，通过一定的分离方法将柔性基板11与永磁基板13进行分离，该分离方法可为通过削弱永磁基板13磁场进行分离，也可为通过转变永磁基板13磁场方向进行分离。

请参考图5a，通过削弱永磁基板13磁场分离柔性基板11与永磁基板13时，将固定于永磁基板13上的柔性oled基板放置于与永磁基板13磁场方向相反的磁场中，永磁基板13磁场被削弱甚至抵消，永磁基板13与铁磁金属层12被轻松的分离。该反相磁场可通过磁铁形成、或电磁铁形成，但不限于此。

请参考图5b，通过转变永磁基板13磁场方向分离柔性基板11与永磁基板13时，将固定于永磁基板13上的柔性oled基板放置于加热平台20上且永磁基板13直接与加热平台20相接触，加热平台20将永磁基板13加热至其居里温度(thecurietemperature，也称磁性转变点)以转变永磁基板13磁场方向，该转变后的永磁基板13磁场使得永磁基板13与铁磁金属层12互相排斥分离。加热平台20采用电热加热。

在步骤s105中，清除柔性基板11上的铁磁金属层12，得到柔性oled面板。通过将弱 酸性溶液涂敷或喷洒于铁磁金属层12上，铁磁金属层12与弱酸性溶液反应溶于其中，再擦拭予以清除，以得到柔性oled面板。弱酸性溶液为强酸弱碱盐溶液或弱酸溶液，强酸弱碱盐溶液可为cuso4、fecl3、nh4cl、nh4no3、alcl3、或cu(no3)2其中之一，但不限于此。弱酸溶液可为稀盐酸、稀磷酸其中之一，但不限于此。

本发明实施例的技术方案带来的有益效果是：上述柔性oled面板制备方法，通过磁性吸附的原理，在柔性基板11形成铁磁金属层12，而将柔性基板11固定于永磁基板13上，二者贴附平坦均匀，待制备完oled元件14后，通过削弱或转变永磁基板13磁场的方法很容易的将柔性基板11与永磁基板13分离，弱酸性溶液易于清除铁磁金属层12，本法不再使用有机粘合剂。

基于上述描述，本领域技术人员应该明白，本发明实施例中所有附图是柔性oled面板制备过程的简略的示意图，只为清楚描述本方案中与本发明点相关的结构，对于其他的与本发明点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。