技术总结
本发明公开了一种半导体激光器，包括光波导结构，所述光波导结构包括自下而上依次叠置的下波导层(2)、多量子阱有源层(3)和上波导层(5)，在所述多量子阱有源层(3)中的上部形成有光栅层(4)，所述上波导层(5)、包层6和接触层7形成为凸脊，该凸脊具有入光端面和出光端面，并在出光端面一侧具有光束扩散结构。所述光束扩散结构具有扩束部分，所述扩束部分具有从所述出光端面向内部逐渐收缩的形状。扩束部分的水平发散角优选为5°～20°。本发明能够很好的抑制光在水平方向的扩散，改善光束质量，使其与光纤实现更好的模式匹配，并能够增加激光器的输出功率，改善激光器的高频响应特性。
技术研发人员：祝宁华;刘建国;郭锦锦;陈伟
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2016.04.26
技术公布日：2019.03.22