一种晶片盘推送装置的制作方法

文档序号:13145480阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种晶片盘推送装置,其特征在于,包括工作平台(1),以及固定在所述工作平台(1)上推送机构、定位组件和送料机构,其中,所述推送机构包括装载有多个晶片盘的至少一个提篮(22),设置在所述提篮(22)下方的顶升气缸(23),以及用于将晶片盘从所述提篮(22)内推出的推送气缸(24),所述推送气缸(24),所述提篮(22),所述定位组件和所述送料机构沿所述晶片盘Y轴方向依次排列,所述定位组件包括固定在所述工作平台(1)上的定位安装架(31),以及固定在所述定位安装架(31)上的至少一对定位块(32),每对定位块(32)对应于一个所述提篮(22),且所述定位块(32)上沿所述晶片盘Y轴方向设置有供所述晶片盘前后移动的导轨,所述送料机构包括固定在所述工作平台(1)上的第一输送带机构(42),设置在所述第一输送带机构(42)上的料盒(43),设置在所述第一输送带机构(42)一端的,用于承接所述第一输送带机构(42)输送来的物料的料斗(44),以及一端设置在所述料斗(44)下方的,用于承接物料的第二输送带机构(45),以及设置在所述第二输送带机构(45)一侧的,用于将所述第二输送机构(45)上的物料吸附至所述定位组件上的晶片盘上的机械臂机构,所述定位组件还包括设置在每对定位块(32)之间的推送气缸(33),以及位于所述推送气缸(33)下方的第二顶升气缸,所述推送气缸(33)固定在所述定位安装架(31)上,用于将所述晶片盘推送回所述提篮(22),所述第一输送带机构(42)包括平行于所述晶片盘Y轴的输送带(421),分别设置在所述输送带(421)两端的主、从动轮,支撑所述主、从动轮转轴的支撑座,以及驱动所述主动轮的驱动气缸(424),所述驱动气缸(424)固定在所述支撑座上,所述支撑座固定在所述工作平台(1)上;和/或,所述第二输送带机构(45)包括平行于所述晶片盘X轴的同步带(451),分别设置在所述同步带(451)两端的主、从动轮,支撑所述从动轮的支撑座,驱动所述主动轮的驱动马达(454),以及固定所述驱动马达(454)的马达安装板,所述马达安装板固定在所述工作平台(1)上,所述第二输送带机构(45)还包括设置在所述同步带(451)两侧的物料挡板(456),和/或,所述物料挡板(456)靠近所述料斗(44)的一端设置有多个限料块(457),所述机械臂机构包括固定在工作平台1上的,分别平行于所述晶片盘X轴的机械臂(47)和所述晶片盘Y轴的机械臂导轨(46),所述机械臂(47)的一端以可相对于该机械臂导轨沿所述晶片盘Y轴前后移动的方式安装在所述机械臂导轨(46)上,所述机械臂(47)上还设置有滑块(48),所述滑块(48)以可相对于所述机械臂(47)沿晶片盘X轴左右移动的方式安装在所述机械臂(47)上,所述滑块(48)上固定设置有至少两个步进马达(49),通过联轴器与所述步进马达(49)相连的吸嘴(410),通过导向板(413)固定在所述滑块(48)上的送料销(411),其中,所述吸嘴(410)和所述送料销(411)位于所述同步带(451)正上方,所述送料销(411),所述滑块(48)的顶部还设置有千分表头(412)。2.如权利要求1所述的晶片盘推送装置,其特征在于,所述提篮(22)为由底板(222),两个侧板(223)和顶板(224)围合形成的前后两侧开口的方形篮框,且所述顶板(224)上固定设置有手柄(225),所述侧板(223)的内壁上设置有多个与所述晶片盘边缘相配合的导轨。3.如权利要求2所述的晶片盘推送装置,其特征在于,所述工作平台(1)上对应于所述提篮(22)的位置设置有托板(221),所述托板(221)上还固定设置有用于定位所述底板(222)的限位块(226),所述托板(221)在所述顶升气缸(23)的推杆作用下可相对于所述工作平台(1)上下移动。
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