1.一种方法，包含
形成第一绕射图案在晶圆的第一层中；
形成第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二层是形成在该第一层上方；
从各个该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；
计算各个信号的峰值；
测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及
依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭。
2.如权利要求1所述的方法，包含形成该第一绕射图案具有80纳米(nm)至800nm的间距。
3.如权利要求1所述的方法，包含形成该第二绕射图案具有160nm至1600nm的间距。
4.如权利要求1所述的方法，包含在与该第一绕射图案平行方向、垂直方向、或平行和垂直方向形成与该第一绕射图案重迭的该第二绕射图案。
5.如权利要求4所述的方法，包含从各个该第一和第二绕射图案侦测该X和Y方向的该第一或更高奇数级数信号是通过：
以雷射在该X方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第一方波；
针对该X方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第一方波分解成该第一或更高奇数级数信号；
以雷射在该Y方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第二方波；以及
针对该Y方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第二方波分解成该第一或更高奇数级数信号。
6.如权利要求5所述的方法，包含使用傅立叶转换方程式分解该第一和第二方波。
7.如权利要求1所述的方法，包含形成没有与该第一绕射图案重迭的该第二绕射图案。
8.如权利要求7所述的方法，包含从各个该第一和第二绕射图案侦测该X和Y方向的该第一或更高奇数级数信号是通过：
以雷射在该X方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第一和第二方波；
针对在该X方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第一和该第二方波分解成第一和第二第一或更高奇数级数信号；
以雷射在该Y方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第三和第四方波；以及
针对在该Y方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第三和第四方波分解成第三和第四第一或更高奇数级数信号。
9.如权利要求8所述的方法，包含使用傅立叶转换方程式分解该第一、第二、第三和第四方波。
10.一种装置，包含：
处理器；以及
记忆体，包含用于一个或多个程式的电脑程式代码，该记忆体和该电脑程式代码组构以使用该处理器造成该装置实施下列：
形成第一绕射图案在晶圆的第一层中；
形成第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二层是形成在该第一层上方；
从各个该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；
计算各个信号的峰值；
测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及
依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭
11.如权利要求10所述的装置，其中，该装置还被造成形成该第一绕射图案具有60纳米(nm)至800nm的间距。
12.如权利要求10所述的装置，其中，该装置还被造成形成该第二绕射图案具有160nm至1600nm的间距。
13.如权利要求10所述的装置，其中，该装置还被造成在与该第一绕射图案平行方向、垂直方向、或平行和垂直方向形成与该第一绕射图案重迭的该第二绕射图案。
14.如权利要求13所述的装置，其中，该装置关于从各个该第一和第二绕射图案侦测该X和Y方向的该第一或更高奇数级数信号，还被造成：
以雷射在该X方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第一方波；
针对该X方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第一方波分解成该第一或更高奇数级数信号；
以雷射在该Y方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第二方波；以及
针对该Y方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第二方波分解成该第一或更高奇数级数信号。
15.如权利要求14所述的装置，其中，该装置还被造成以傅立叶转换方程式分解该第一和第二方波。
16.如权利要求10所述的装置，其中，该装置还被造成形成没有与该第一绕射图案重迭的该第二绕射图案。
17.如权利要求16所述的装置，其中，该装置关于从各个该第一和第二绕射图案侦测该X和Y方向的该第一或更高奇数级数信号，还被造成：
以雷射在该X方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第一和第二方波；
针对在该X方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第一和该第二方波分解成第一和第二第一或更高奇数级数信号；
以雷射在该Y方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第三和第四方波；以及
针对在该Y方向的各个该第一和第二绕射图案，将该第三和第四方波分解成第三和第四第一或更高奇数级数信号。
18.如权利要求17所述的装置，其中，该装置还被造成使用傅立叶转换方程式分解该第一、第二、第三和第四方波。
19.一种方法，包含：
形成具有80纳米(nm)至800nm的间距的第一绕射图案在晶圆的第一层中；
形成具有160nm至1600nm的间距的第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二绕射图案在与该第一绕射图案平行方向、垂直方向、或平行和垂直方向与该第一绕射图案重迭；
从该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；
计算各个信号的峰值；
测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及
依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭。
20.如权利要求19所述的方法，包含从该第一和第二绕射图案侦测该X和Y方向的该第一或更高奇数级数信号是通过：
以雷射在该X方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第一方波；
针对该X方向的各个该第一和第二绕射图案，使用傅立叶转换方程式将该第一方波分解成该第一或更高奇数级数信号；
以雷射在该Y方向扫描该第一和第二绕射图案；
从该第一和第二绕射图案侦测第二方波；以及
针对该Y方向的各个该第一和第二绕射图案，使用傅立叶转换方程式将该第二方波分解成该第一或更高奇数级数信号。