技术总结
本发明关于绕射重迭标记，提供了一种方法和装置，用来依据高级数绕射相位测量计算重迭。实施例包含形成第一绕射图案在晶圆的第一层中；形成第二绕射图案在该晶圆的第二层中，该第二层是形成在该第一层上方；从各个该第一和第二绕射图案侦测X和Y方向的第一或更高奇数级数信号；计算各个信号的峰值；测量该X方向的该信号的峰值之间的三角数值及该Y方向的该信号的峰值之间的三角数值；以及依据该三角数值计算该第一和第二层之间的重迭。
技术研发人员：唐明浩
受保护的技术使用者：格罗方德半导体公司
文档号码：201610701286
技术研发日：2016.08.22
技术公布日：2017.03.01