硅通孔芯片、指纹识别传感器和终端设备的制作方法

本实用新型涉及封装技术领域，并且更具体地，涉及一种硅通孔芯片、指纹识别传感器和终端设备。

背景技术：

晶圆级硅通孔封装技术在消费型电子芯片上有广泛应用。目前，大量应用在图像识别传感器等消费型电子产品的主要有斜孔硅通孔，斜孔硅通孔具有制造难度和成本都比较低的优势。

斜孔硅通孔芯片具有台阶式结构，在单体的硅通孔芯片的情况下，若进行测试及表面贴合焊接等工序时，容易发生台阶处折断的问题。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供了一种硅通孔芯片、指纹识别传感器和终端设备，能够提高硅通孔芯片的结构强度。

第一方面，提供了一种硅通孔芯片，该硅通孔芯片包括硅基板210，该硅基板210设置有通孔220，该通孔220为斜孔，该通孔220内设置有回填结构层230。

硅基板上设置有一个通孔，该通孔可以通过蚀刻的方式实现，以使得硅基板的上表面与处于硅通孔芯片下表面的其他元件进行电气互连。由于通孔下面的中空，使得在硅通孔芯片容易断裂。因此，本实用新型实施例中，在通孔下面设置回填结构层，用于支撑该硅通孔芯片，且该回填结构层的下表面与该硅通孔芯片的下表面平齐，这样可以便于后续的表面贴装焊接，以及提高硅通孔芯片的结构强度。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，该回填结构层230的下表面与该硅通孔芯片的下表面齐平。

这样在后续的表面贴装焊接时，硅通孔芯片底部的接触面积较大，有利 于分摊压力，从而提高了硅通孔芯片的结构强度。

结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，该回填结构层230与该硅基板210之间依次设置有第一绝缘层240、重布线金属层250和第二绝缘层260。

该回填结构层与硅基板之间设置有重布线金属层，并将该重布线金属层通过该通孔，以实现与处于硅通孔芯片下表面其他元件的导通。该硅基板为硅材料，因此，在重布线金属层与硅基板之间应该设置绝缘层，以及在重布线金属层与回填结构层之间也设置绝缘层，起到保护作用。该第一绝缘层与该第二绝缘层可以相同，也可以不同，本实用新型对此不进行限定。

结合第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，该通孔220上面设置有表面焊盘270，该表面焊盘270的下表面与该重布线金属层250相连。

该表面焊盘与重布线金属层相连，即在表面焊盘与重布线金属层之间不设置绝缘层。该通孔可以设置为由中心轴线逐层向外依次设置为第一绝缘层、重布线金属层和第二绝缘层，只有重布线金属层与表面焊盘相连。这样，该硅通孔芯片的表面焊盘与重布线金属层导通，实现了通过表面焊盘与处于硅通孔芯片下表面的电气元件的电气互连。

结合第一方面，在第一方面的第四种可能的实现方式中，该通孔220的孔壁与该硅通孔芯片的上表面成60°角。

通孔还可以是多个孔径不同的通孔结构的连接等，本实用新型对此不进行限定，例如，该通孔可以设置为孔壁与硅通孔芯片的上表面成60°角，从而降低制造难度。

结合第一方面，在第一方面的第五种可能的实现方式中，该硅基板210设置有多个该通孔220。

本实用新型通过多个通孔可以实现硅基板上表面的不同表面焊盘之间的互连，或者是硅基板上表面与处于硅通孔芯片下表面的电气元件的电气互连。

第二方面，提供了一种指纹识别传感器，该指纹识别传感器包括如第一方面所述的硅通孔芯片。

第三方面，提供了一种终端设备，该终端设备包括如第一方面所述的硅 通孔芯片。

基于上述技术方案，本实用新型实施例的硅通孔芯片，通过在斜孔内增加回填结构层，使得在硅通孔芯片表面受力时能够起到支撑作用，避免了硅通孔芯片的断裂，从而提高了硅通孔芯片的结构强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术的硅通孔芯片的截面图；

图2是本实用新型的硅通孔芯片截面图；

图3是本实用新型的倒置的晶圆级硅通孔芯片的示意图；

图4是本实用新型的设置结构回填层的晶圆级硅通孔芯片的示意图；

图5是本实用新型的单体的硅通孔芯片的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例的硅通孔芯片可以应用于终端设备，该终端设备可以包括但不限于手机、平板电脑、电子书、移动台等。

现有技术中，斜孔硅通孔芯片一般采用两级蚀刻的方式，在硅基板110上做出通孔，该通孔包括如图1所示的上面的小孔120和下面中空的大孔。通孔内的重布线金属层140使硅通孔芯片上表面的表面焊盘130与处于硅通孔芯片下表面的其他元件进行电气互连。通孔的孔壁与重布线金属层140之间通过绝缘层160进行隔离，且对重布线金属层140设置绝缘层150进行保护。如图1为单体的硅通孔芯片，这种情况下，可以将小孔120部分看作突 出的台阶，而大孔为中空，在测试及表面贴合焊接等工序时，台阶处容易折断。

图2示出了根据本实用新型实施例的一种硅通孔芯片的局部截面图。如图2所示，该硅通孔芯片包括：硅基板210，该硅基板210设置有通孔220，该通孔220为斜孔，该通孔220内设置有回填结构层230。

具体而言，如图2所示，硅基板210中的通孔220为台阶式结构，包括上面的小孔和下面的大孔，该通孔220可以通过两级蚀刻的方式实现。由于通孔220下面的大孔为中空，使得在硅通孔芯片突出的台阶式结构，容易造成硅通孔芯片的断裂。因此，本实用新型实施例中，在通孔220内设置回填结构层230，用于支撑硅通孔芯片突出的台阶式结构。

应理解，该通孔是由孔壁围设形成，且孔壁为硅基板。

因此，本实用新型实施例的硅通孔芯片，通过在斜孔内增加回填结构层230，使得在硅通孔芯片表面受力时能够起到支撑作用，避免了硅通孔芯片的断裂，从而提高了硅通孔芯片的结构强度。

可选地，该回填结构层230的下表面与该硅通孔芯片的下表面平齐，这样在后续的表面贴装焊接时，硅通孔芯片底部的接触面积较大，有利于分摊压力，从而提高了硅通孔芯片的结构强度。

可选地，该斜孔的孔壁可以与硅通孔芯片的上表面成60°角。

应理解，该斜孔的孔壁还可以与硅通孔芯片的上表面成任意的角度，本发明对此不进行限定。

可选地，该回填结构层230与该硅基板210之间依次设置有第一绝缘层240、重布线金属层250和第二绝缘层260。

该回填结构层230与硅基板210之间设置有重布线金属层250，并将该重布线金属层250通过该通孔220，以实现处于硅通孔芯片上表面与处于硅通孔芯片下表面的电气元件的导通。在重布线金属层250与硅基板210之间应该设置第二绝缘层260，以及在重布线金属层250与回填结构层230之间也设置第一绝缘层240。该第一绝缘层与该第二绝缘层可以相同，也可以不同，本实用新型对此不进行限定。

应理解，绝缘层的材质可以是塑料绝缘，例如，聚氯乙烯、聚乙烯及交联聚乙烯；绝缘层的材质还可以是橡胶，例如，天然橡胶、丁基橡胶和乙丙 橡胶等，本实用新型对此不限定。

还应理解，若硅通孔芯片的上述第一绝缘层240、重布线金属层250和第二绝缘层260延伸到硅通孔芯片的下表面时，该回填结构层230的下表面的高度应该与硅通孔芯片和上述三层之和的高度保持一致。

可选地，该回填结构层230的材质与该硅基板210的材质、该重布线金属层250的材质、该第一绝缘层240的材质、该第二绝缘层260的材质在冷热收缩性能上相互匹配。

具体而言，在选择回填结构的材料时，应考虑回填结构与硅基板210之间各层(即重布线金属层250、第一绝缘层240和第二绝缘层260)的材质的冷热收缩性能匹配。也就是说，回填结构的材料应该为与硅材料、第一绝缘层材料、第二绝缘层材料以及重布线金属层材料在冷热收缩性能上相互匹配的材质。例如，橡胶、塑料等，本实用新型并不限于此。

可选地，该通孔220上面设置有表面焊盘270，该表面焊盘270的下表面与该重布线金属层250相连。

具体而言，该通孔220的上面可以设置表面焊盘270，该硅通孔芯片表面焊盘270内嵌于硅基板210的上表面(即硅通孔芯片的上表面)，也就是说，该表面焊盘270覆盖住该通孔220，并与重布线金属层250相连，即在表面焊盘270与重布线金属层250之间不设置绝缘层。该通孔220可以设置为由中心轴线逐层向外依次设置为第一绝缘层240、重布线金属层250和第二绝缘层260，重布线金属层250与表面焊盘270相连。这样，该硅通孔芯片的表面焊盘270与重布线金属层250导通，实现了处于硅通孔芯片上表面与处于硅通孔芯片下表面的电气元件的电气互连。

可选地，在硅基板210上可以设置多个通孔220，以实现硅基板210上表面的不同表面焊盘之间的互连，或者是与处于硅通孔芯片下表面其他元件进行电气互连。

具体地，在实际生产中，回填结构层230的制造工艺主要有以下步骤：

a、完成晶圆级斜孔硅通孔的制造，如图3所示为晶圆切割之前，多个倒置的晶圆级斜孔硅通孔芯片的形貌；

b、如图4所示，通过喷涂或甩胶等操作，将胶体完全覆盖住晶圆的背面(即大孔的中空部分)，并采用光刻，显影等工艺，将台阶处填充的胶体 保留，其余的去除。或者，可以是在大孔的中空部分放置一定形状的模具，采用注塑的形式将塑料注入到台阶处；

c、完成填充后，进行晶圆切割，然后得到单个结构增强的斜孔硅通孔芯片，如图5所示。

需要说明的是，以上应用仅仅是举例说明，实际中，还可以根据其他方式生成该类硅通孔芯片，本实用新型实施例对此不作具体限定。

本实用新型实施例还提供了一种指纹识别传感器，该指纹识别传感器包括上述硅通孔芯片。该硅通孔芯片包括硅基板，该硅基板设置有通孔，该通孔为斜孔，该通孔内设置有回填结构层，该回填结构层的下表面与该硅通孔芯片的下表面齐平。如图2中，280可以是指纹识别传感器的像素区。

本实用新型实施例还提供了一种终端设备，该终端设备包括上述硅通孔芯片。该硅通孔芯片包括硅基板，该硅基板设置有通孔，该通孔为斜孔，该通孔内设置有回填结构层，该回填结构层的下表面与该硅通孔芯片的下表面齐平。

本实用新型实施例的硅通孔芯片，通过在斜孔内增加回填结构，使得在硅通孔芯片表面焊盘上进行测试或表面贴合焊接等工序时，起到支撑作用，能够避免硅通孔芯片的断裂，从而在低成本的基础上，提高硅通孔芯片的结构强度。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的系统、硅通孔芯片和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。