1.一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于,包括衬底(1)、在衬底(1)上生长应力缓冲层(2)、在应力缓冲层上生长GaN缓冲层(3)、在GaN缓冲层(3)上沉积一层SiO2作为掩膜层(7);在未被掩蔽的区域沉积低气压生长的GaN插入层(4),在低气压生长的GaN插入层(4)上沉积常规生长的GaN沟道层(5);在GaN沟道层(5)上沉积AlGaN势垒层(6)。
2.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的衬底(1)为 Si 衬底、蓝宝石衬底、碳化硅衬底、GaN自支撑衬底中的任一种。
3.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的应力缓冲层厚度为10 nm~5 μm。
4.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的GaN缓冲层(3)为非故意掺杂的GaN外延层或掺杂的高阻GaN外延层;GaN缓冲层厚度为100 nm~20 μm。
5.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的低气压生长的GaN插入层(4)厚度为10nm~300 nm。
6.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的常规生长的GaN沟道层(5),厚度为5-100 nm。
7.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的AlGaN势垒层(6),厚度为5-50 nm。
8.根据权利要求1所述的一种选择区域外延生长界面改善结构,其特征在于:所述的AlGaN势垒层(6)中与GaN沟道层(5)之间还插入一AlN薄层,厚度为1-10 nm。