本实用新型涉及太阳能电池组件领域,具体涉及一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置。
背景技术:
在太阳能电池的制备过程中,一般需要对硅片发射结面进行镀减反射膜的步骤。目前,氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜,同时也起到表面钝化和体内钝化的作用,可以提高太阳能电池的转换效率,因而得到了广泛应用。
现有技术中,制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法,如可以采用德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中,为实现生产自动化,会使用到上下料自动化装载装置,来实现硅片自动装载、搬卸。
现有的上下料自动化装置能很好的满足多晶硅片的生产,但在单晶硅片生产时,片源存在无法准确固定现象,在放入石墨框的过程中片源放置不准,导致机台无法正常生产。
针对上述存在的缺陷,开发一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置,解决现有技术中片源无法准确固定的现象,显然是有必要的。
技术实现要素:
本实用新型的目的是提供一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置。
为达到上述发明目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置,包括基座、以及设于基座上的至少1个定位块组;
所述定位块组包括4个定位块,分别为第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块,
各个定位块上设有至少2个定位块安装孔;
4个定位块呈2×2的矩阵分布,4个定位块的内侧各设有承载口,4个承载口围起来构成一个与单晶硅片外形配合的承载槽;所述各个承载口包括槽底和槽壁,所述槽壁从下到上包括第一槽面和与第一槽面相连的第二槽面,所述第二槽面与定位块的表面的夹角为110°~130°。
上文中,所述槽壁的形状与单晶硅片的形状相配合。
优选地,所述第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块的形状均为矩形。
优选地,所述第二槽面与定位块的表面的夹角为120°。
优选地,所述第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块均为绝缘定位块。即其材质均为绝缘材质。
优选地,所述定位块安装孔为阶梯孔。
优选地,所述第一定位块和第二定位块的形状对称。
优选地,所述第一槽面垂直于槽底。
上述技术方案中,所述定位块组为2个,一个定位块组包括4个定位块,分别为第一定位块、第二定位块、第三定位块和第四定位块;
另一个定位块组包括4个定位块,分别为第五定位块、第六定位块、第七定位块和第八定位块;
8个定位块呈2×4的矩阵分布,前4个定位块的内侧各设有承载口,4个承载口围起来构成一个与单晶硅片外形配合的承载槽;后4个定位块的内侧各设有承载口,4个承载口围起来构成另一个与单晶硅片外形配合的承载槽。
即形成2个承载槽。当然,也可以形成多个承载槽,优选的,形成10个承载槽,且10个承载槽位于同一列。
优选的,所述第三定位块和第五定位块为一体结构,所述第四定位块和第六定位块为一体结构。即中间2个定位块设计成一体结构,这样更加省材。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
1.本实用新型的定位块组包括四个分离设置的定位块,定位块上均设有承载口,4个承载口围起来构成另一个与单晶硅片外形配合的承载槽,且承载口的上部槽面是倾斜的,使得在单晶硅片生产时可以准确固定,从而解决了现有技术中片源无法准确固定的问题;
2.本实用新型的结构简单,易于实现,便于推广应用。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
其中:1、第一定位块;2、第二定位块;3、第三定位块;4、第四定位块;5、定位块安装孔;6、槽底;7、第一槽面;8、第二槽面。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
实施例一:
参见图1所示,一种用于PECVD上下料单晶硅片的定位装置,包括1个定位块组,
所述定位块组包括第一定位块1、第二定位块2、第三定位块3和第四定位块4,4个定位块呈2×2的矩阵分布;
第一定位块1和第二定位块2上均设有两个定位块安装孔5和一个承载口,两个定位块安装孔5分别设于定位块一侧的两个角上,承载槽设于定位块另一侧的一个角上,
第三定位块3和第四定位块4上均设有两个定位块安装孔5和两个承载槽,两个定位块安装孔5分别设于定位块一侧的两个角上,两个承载槽分别设于定位块另一侧的两个角上,
内侧的4个承载口围起来构成一个与单晶硅片外形配合的承载槽;
承载口包括槽底6和槽壁,槽壁包括第一槽面7和与第一槽面7相连的第二槽面8,第二槽面8与定位块表面的夹角为120°,所述槽壁的形状与单晶硅片的形状相配合。
本实施例中,第一定位块1、第二定位块2、第三定位块3和第四定位块4的形状均为矩形。
本实施例中,第一定位块1、第二定位块2、第三定位块3和第四定位块4的材质均为绝缘材质,以防止硅片受到污染。
本实施例中,定位块安装孔5为阶梯孔。
本实施例中,第一定位块1和第二定位块2的形状对称。
本实施例中,第二槽面8与定位块表面的夹角为120°,斜面保证电池放入时,能准确卡入预定位置。