多频段太赫兹波滤波器的制作方法

文档序号:11054617阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多频段太赫兹波滤波器,其特征在于包括第一圆形介质柱(12)及位于呈二维正方形周期排列的第一圆形介质柱(12)之间的信号输入端(1)、第一信号输出端(2)、第二信号输出端(3)、第三信号输出端(4)、第一折线波导(5)、直线波导(6)、第二折线波导(7)、第一谐振腔(8)、第二谐振腔(9)、椭圆形介质柱(10)、第二圆形介质柱(11),在去除部分二维周期排列的第一圆形介质柱(12)后形成了第一折线波导(5)、直线波导(6)和第二折线波导(7),第一谐振腔(8)由第一圆形介质柱(12)和椭圆形介质柱(10)周期排列组成,第二谐振腔(9)由第一圆形介质柱(12)和第二圆形介质柱(11)周期排列组成;第一折线波导(5)、直线波导(6)、第二折线波导(7)自上而下顺次排列,第一谐振腔(8)位于第一折线波导(5)和直线波导(6)之间、第二谐振腔(9)位于第二折线波导(7)和直线波导(6)之间,第一折线波导(5)的右端设有第一信号输出端(2),直线波导(6)右端设有第二信号输出端(3),直线波导(6)右端左端设有第一信号输入端(1),第二折线波导(7)的右端设有第三信号输出端(4);太赫兹波从信号输入端(1)输入,不同频段的太赫兹波分别从第一信号输出端(2)、第二信号输出端(3)和第三信号输出端(3)输出,实现多频段滤波功能。

2.根据权利要求1所述的一种多频段太赫兹波滤波器,其特征在于所述的第一圆形介质柱(12)的材料为硅,折射率为3.4,第一圆形介质柱(12)半径为5~7μm,第一圆形介质柱(12)排列的周期为29~31μm。

3.根据权利要求1所述的一种多频段太赫兹波滤波器,其特征在于所述的第一谐振腔(8)中椭圆形介质柱(10)的材料为硅,折射率为3.4,长轴为17~19μm,短轴为5~7μm。

4.根据权利要求1所述的一种多频段太赫兹波滤波器,其特征在于所述的第二谐振腔(9)中第二圆形介质柱(11)的材料为硅,折射率为3.4,半径为16~18μm。

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