一种具有超低逸出功的阳极的制作方法

文档序号:12254156阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有超低逸出功的阳极,其特征在于它包括单晶硅层、HfO2层、单层石墨烯层、附加层;所述单晶硅层的上表面附有一层HfO2层,HfO2层上表面附有长宽5×5mm的单层石墨烯层,单层石墨烯层的上表面镀有一层附加层;所述单晶硅层为高参杂的单晶硅层;所述HfO2层的厚度为20nm;所述单层石墨烯层内参杂有静电;所述附加层为铯元素层或氧元素层,附加层的厚度为一个原子层厚度。

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