一种具有超低逸出功的阳极的制作方法

文档序号:12254156阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及超低逸出功材料技术领域,具体涉及一种具有超低逸出功的阳极,它包括单晶硅层、HfO2层、单层石墨烯层、附加层;所述单晶硅层的上表面附有一层HfO2层,HfO2层上表面附有长宽5×5mm的单层石墨烯层,单层石墨烯层的上表面镀有一层附加层;所述单晶硅层为高参杂的单晶硅层;所述HfO2层的厚度为20nm;所述单层石墨烯层内参杂有静电;所述附加层为铯元素层或氧元素层,附加层的厚度为一个原子层厚度。本实用新型所述的阳极其逸出功降低到了3eV以下,大大提高了阳极能量转化的效率。

技术研发人员:常帅;袁弘渊;黄明柱
受保护的技术使用者:武汉科技大学
文档号码:201621327743
技术研发日:2016.11.28
技术公布日:2017.05.31

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