用于生产二极管激光器的方法以及二极管激光器与流程

文档序号:11290225阅读:339来源:国知局
用于生产二极管激光器的方法以及二极管激光器与流程

本发明涉及一种用于生产二极管激光器的方法并且涉及一种二极管激光器。二极管激光器包括被安排在导热体与盖之间的激光棒。导热体和盖用作电触点,操作电流通过这些电触点传递到激光棒。



背景技术:

用于生产二极管激光器的方法(其中激光棒在p侧被钎焊到散热器上并且在n侧通过焊线接触)已经是长期已知的,例如从us5105429a和us4716568a。焊线的有限的载流能力是不利的。

n侧电流端子的更高的载流能力可以通过使用固体盖来实现,所述固体盖可以形成为第二导热体。从wo2009143835和wo2009146683已知将激光棒钎焊在两个导热体之间。钎焊工艺可能导致激光棒中的应力,这可能损害电光特性。wo2011029846披露了一种不涉及钎焊工艺的二极管激光器的生产方法,其中在激光棒的第一触点区与第一导热体之间使用第一金属层,并且在激光棒的第二触点区与第二导热体之间使用第二金属层。这些可以例如由铟组成的层在夹紧过程中产生材料结合。不利的是在组装过程中对激光棒的均匀性和这两个导热体的端子区的均匀性以及维持这些区的平行度需要非常高的要求。μm级别的偏差可能已经导致在其处没有材料结合的大量的空隙。特别地,在激光棒的p侧触点区处的不充分的材料结合可能导致激光棒的过热甚至燃烧。此外,可能发生铟层的材料迁移。这可能导致激光器失效。



技术实现要素:

本发明所解决的问题

本发明所解决的问题是提供一种用于生产为高操作电流设计的二极管激光器的方法。激光棒旨在在组装和操作过程中尽可能不经受可能损害电光特性的不希望的机械应力。所述方法旨在容忍激光棒的不均匀性和/或导热体或盖的触点区的不均匀性。激光棒的面向导热体的p侧触点区(外延侧)旨在在组装之后具有最佳可能的均匀性。以这种方式旨在实现激光棒的最低可能的微笑值(smile-wert)。旨在使二极管激光器的失效可能性很低。除了所述生产方法之外,还将提供了这种有利的二极管激光器。

解决问题的方案

所述问题是通过一种用于生产二极管激光器的方法来解决的,该方法的特征为包括以下步骤:

a.提供至少一个激光棒,该激光棒在第一侧上具有形成为至少一个p触点的第一触点区、并且在与该第一侧相反的第二侧上具有形成为至少一个n触点的第二触点区,

b.提供具有第一端子区的导热体,

c.提供具有第二端子区的盖,

d.提供在截面中具有多个凸起位置和多个凹陷位置的第二金属层,

e.将该激光棒安排在该导热体与该盖之间,该第一触点区面向该第一导热体的第一端子区并且该第二触点区面向该盖的第二端子区,并且该第二金属层至少在某些部分中被安排在该第二端子区与该第二触点区之间,

f.产生至少一个力,该力具有沿着该导热体的方向按压该盖的分量,在该力的作用下该第一触点区被按压平靠该第一端子区,该第二金属层在这些凸起位置的区域中的至少某些部分经历塑性变形,

g.建立该盖相对于该导热体的机械连接。

通过此方法,可以生产如权利要求9所述的二极管激光器,该二极管激光器解决了本发明所处理的问题。具体地,如权利要求11所述的形成为结节结构的第二金属层可以用于以根据本发明的上述方法来产生夹紧连接。

发明优点

根据本发明的方法可以有利地用于生产为高操作电流设计的二极管激光器。该方法容忍激光棒的不均匀性和/或导热体或盖的触点区的不均匀性。这样允许提高激光器的产量。激光棒的面向导热体的p触点区在组装之后具有特别好的均匀性。其结果是,激光棒可以具有最低可能的微笑值,从而使得激光棒非常适合于光束成形。此外,可以避免p侧金属层的焊料迁移的问题。激光棒的组装很少涉及机械应力。因此,可以实现优异的电光特性,例如高极化因子、激光辐射的均匀近场分布以及功率电流特性的大陡度。此外,可以提高p侧电流输入。

说明书

根据本发明的二极管激光器是用于发射激光辐射的装置,该装置具有作为光束源的激光棒。激光棒可以按已知的方式形成为边缘发射二极管激光棒,并且包括一个发射器或优选多个发射器,这些发射器可以安排成在y方向上分别相对于彼此偏移。激光棒可以优选地在y方向上具有在0.3mm与12mm之间的宽度。激光棒可以优选地具有1到49个发射器。激光棒在z方向上的厚度可以优选是在0.05mm与0.2mm之间。激光棒的这些发射器在x方向上的长度可以优选是在0.5mm与6mm之间。所发射的激光辐射的中心射线的方向可以是x方向。方向x、y和z可以彼此成直角。激光棒可以具有已知的外延产生层序列作为与一个或多个量子阱的p-n结。外延层可以比衬底薄得多。外延层的厚度可以例如是在3μm与20μm之间。衬底的厚度可以例如是在50μm与200μm之间。这些单独发射器可以优选地形成为宽条形发射器或脊形波导或梯形激光器。还可以存在多个层序列,即电串联地安置的多个p-n结。这样的棒也称为纳米叠堆。在这种情况下,多个发射器可以在z方向上彼此上下地堆叠。

激光棒的小面可以提供有镜子,例如,可以在激光元件的后部小面上提供高反射镜层,并且可以在相反的含有出口孔的出口侧小面上提供反射率例如为0.1%至10%的低反射镜层。这些镜子可以限定激光谐振器,这使得激光操作成为可能。然而,激光棒还可以形成为仅旨在用于与外部谐振器相互作用的激光器操作的增益元件。在这种情况下,例如,可以通过用于设置激光器的波长的外部谐振器来提供与波长相关的反馈。这样的电光增益元件也可以被理解为在本发明意义上的激光棒。

激光棒由电流泵送。操作电流可以例如为1a至1000a。对于电流输入,在激光棒上提供了第一触点区和第二触点区。p侧触点区可以称为第一触点区。第一触点区可以是二极管激光棒的阳极。激光棒的n侧触点区可以称为第二触点区。第二触点区可以是激光棒的阴极。第一和第二触点区可以各自位于xy平面中。第一触点区可以被安排在激光棒的外延侧,该外延侧可以被称为第一侧,而第二触点区可以被安排在激光棒的衬底侧,该衬底侧可以称为第二侧。

在操作过程中,激光棒可能产生必须去除的废热。为此目的,提供了具有第一端子区的导热体。由于二极管激光器的p-n结可以被定位在外延层中(即靠近第一侧),并且废热的主要部分可能发生在p-n结中,所以导热体可以优选地连接到激光棒的第一侧。第一触点区可以被电学且热学地连接到第一端子区,并且第二触点区可以电连接到第二端子区。

根据本发明的方法用于制造二极管激光器。为此目的,提供了激光棒,该激光棒在第一侧上具有形成为至少一个p触点的第一触点区、并且在与该第一侧相反的第二侧上具有形成为至少一个n触点的第二触点区。第一触点区可以形成为用于所有发射器的触点区。然而,第一触点区还可以由多个单独的子区组成,这些子区可以彼此分离开,例如每个发射器一个子区。第一触点区可以例如是敷金属,外层可以是例如金层。在这种情况下,可以优选地使用厚度优选大于0.5μm、特别优选地是在1μm与10μm之间的以电镀加强的金层。第二触点区可以形成为用于所有发射器的触点区。然而,第二触点区还可以由多个单独的子区组成,例如每个发射器一个子区。第二触点区可以例如是敷金属,外层可以是例如金层。

还可以提供多个激光棒,这些激光棒可以例如彼此相邻地或者彼此上下地安排在散热器上。

还提供了具有第一端子区的导热体。导热体可以例如至少部分地由铜、铝或铜-金刚石、铝-金刚石或银-金刚石复合材料构成或包括这样的材料。导热体可以例如被制成为具有复合材料的嵌体的铜体。然而,导热体还可以完全由铜制成。导热体可以具有敷金属,例如ag/au、或ni/au或ti/pt/au,在外侧优选提供了金层。第一端子区可以以特别好的均匀性制成,以便此后达到低的微笑值(这些单独发射体与直线的偏差)。还可以提供用于另外的激光棒的另外的第一端子区。

还提供了至少一个具有第二端子区的盖。盖可以旨在用于与激光棒的n触点电接触。盖同样可以旨在用于散热,但并不必须如此。盖可以由具有良好导电性的材料构成,例如至少部分地由铜、铝或铜-金刚石、铝-金刚石或银-金刚石复合材料构成或包括这样的材料。导热体可以例如被制成为具有复合材料的嵌体的铜体。然而,导热体还可以完全由铜制成。盖可以具有敷金属,例如ag/au、或ni/au或ti/pt/au,在外侧优选提供了金层。

根据本发明,提供了第二金属层,该第二金属层在截面中具有多个凸起位置和多个凹陷位置。在本发明的意义上,第二金属层的层厚度可以是取决于位置的。可以存在多个凸起位置和/或多个凹陷位置。第二金属层的具有最大层厚度的位置被称为凸起位置。因此,凸起位置是比周围位置在表面上方突出更远的位置。在形貌考虑中,凸起位置可以形成为圆顶、高原或脊。对应地具有最小层厚度的位置被称为层的凹陷位置。在形貌考虑中,凹陷的位置可以形成为空穴、洼地或盆地。凹陷位置处的层厚度可以大于或等于零。在第二种情况下,在凹陷处可能没有层材料;因此该层可能具有中断。在这些凸起位置处,层厚度可以相等并且具有值d。这些凸起位置可以形成为拓扑连续区或多个子区。这些凹陷位置可以形成为拓扑连续区或多个子区。可以在可以与所述层的平面相垂直的截面中切割多个凸起位置和多个凹陷位置。因此,截面可以被选择为使得其含有所述层的平面的法线。在这样的截面表示中,例如可以看到多个凹陷位置。即使这些位置可能形成为三维考虑中的连续区,但是在根据本发明的意义上,截面也可以具有多个凹陷位置。这同样适用于这些凸起位置。还应当指出的是,在与所述层的平面相垂直的每个任意截面中不必都具有多个凸起位置和多个凹陷位置。例如,所述多个凸起位置和多个凹陷位置可以在横截面中可见,而在纵向截面中它们不可见。

在优选实施例中,这些凸起位置可以形成为高度d的带状高原,这些带状高原例如在x方向上延伸,在这些带之间不存在层材料。于是,在根据本发明的意义上,第二金属层将在yz截面(横截面)中具有多个凸起位置和多个凹陷位置。

在另一优选实施例中,在截面中具有多个凸起位置和多个凹陷位置的第二金属层是通过作为结节结构施加到第二触点区或第二端子区的第二金属层来提供的。在这种情况下,这些凸起位置可以形成为高度d的圆形高原,这些高原可以例如被想象为圆柱形结节,结节之间不存在层材料。这样的层可以例如通过涂覆工艺使用穿孔掩模来生产。层的凹陷位置则可以是三维拓扑考虑中的连续区。这个区可以被认为是低的平面(盆地)。在这种情况下,在根据本发明的意义上,第二金属层可以在yz截面(横截面)中具有多个凸起位置和多个凹陷位置。可以有利的是以所述层的每平方毫米面积至少一个结节,特别有利的是每平方毫米至少五个结节的覆盖密度形成结节结构。相邻结节之间的距离不应被选择为太大;相邻结节从边缘到边缘测量的最大距离为1mm可以是有利的。第二金属层可以与常规的焊料凸块不同,特别是在于更细的结构和更小的层厚度。

根据本发明,将该激光棒安排在该导热体与该盖之间,该第一触点区面向该第一导热体的第一端子区并且该第二触点区面向该盖的第二端子区,并且该第二金属层至少在某些部分中被安排在该第二端子区与该第二触点区之间。

根据本发明,产生至少一个力,该力具有沿着导热体的方向按压盖的分量。沿着导热体的方向可以是方向z。第一个触点区在所述力的作用下被按压平靠第一个端子区。这可以导致夹紧连接。在此施加的压力下,第二触点区的不均匀性可以被均匀化。这可能涉及激光棒弹性变形。在这种情况下,第二金属层在这些凸起位置的区域中至少在某些部分中经受塑性变形。在这些位置处,可能会超出层材料的屈服点(压缩屈服点)。于是可以借助于第二金属层将第二触点区电连接到第二端子区。在这些凹陷位置处,第二金属层可以具有空腔。因此,该第二金属层可以具有多个连接位置还以及中断位置二者,在这些连接位置处该第二触点区在该法线n的方向上连续地连接到该第二端子区,并且在这些中断位置处,该第二触点区在该法线n的方向上并不连续地连接到该第二端子区。所述层的法线n可以垂直于第二触点区,也就是说z方向。因此,连接位置和中断位置可以投影到xy平面上。在这种情况下,这些中断位置所具有的总面积可以有利地为第二触点区的面积量的至少20%。单独考虑,这些中断位置不应被选择为太大,以避免不均匀的电流输入到第二触点区。在到xy平面上的投影中,对于属于中断位置的每个点,距离属于连接位置的最近点的距离应不大于0.5mm,有利地不超过0.25mm。

还设想到建立盖相对于导热体的机械连接。可以有利地提供电绝缘连接,以使激光棒不会短路。连接可以通过结合剂进行。粘合剂例如可以用作结合剂。可以特别有利地使用通过导热粘合剂来在表面区域上粘合剂结合。可以在激光棒与接合区之间提供距离或分离沟槽,以避免用粘合剂浸润激光棒。机械连接的建立可能导致结合剂的体积收缩。机械连接可以旨在用于产生和/或维持力。以此方式,也可以维持在导热体与盖之间的夹紧连接激光棒。

第二金属层可以形成为凸纹。层厚度可以是取决于位置的。层厚度的形貌可以使得其能够以单平面投影来表示。凸起位置的最小线性尺寸可以被认为是结构尺寸(特征尺寸)。它可以例如是圆形高原的直径或带状高原的宽度。对于在一般情况下确定最小结构尺寸,可以使用在凹陷位置与凸起位置的水平之间的平均高度的轮廓线。结构尺寸可以是例如圆顶高度的一半处的圆顶直径或脊高度的一半处的脊宽度。最小结构尺寸有利地位于10μm与1000μm之间。平均轮廓线可以具有总长度。在不连续的平均轮廓线的情况下,总长度应被理解为是指平均轮廓线的各个区段的长度之和。换句话说,平均轮廓线的总长度也可以被认为是在平均轮廓线处作为截面截取的截面区的周长之和。某一基部面积a内的平均轮廓线的总长度l可以被设定为与该基部面积(例如第二金属层的总面积)相关的比率。该比率(即商l/a)可以有利地在1000m/m2与100000m/m2之间。如果凸纹构造得太粗,也就是说l/a的比率太小,则可能会损害第二金属层的塑性变形。如果凸纹构造得太细,也就是说l/a的比率太大,则可能发生激光棒对导热体或盖的热学和电学附接会随时间推移变得更差。

第二金属层可以由软金属构成,该软金属优选地在压缩载荷下具有小于50mpa、特别优选是小于20mpa或最特别优选是小于10mpa的屈服点(压缩屈服点)。第二金属层可以由重金属构成,例如锡、铅、铟或镉,或包括这样的金属。可以优选使用铟和/或锡,因为铅和镉不太环境相容。

第二金属层的塑性变形可以在室温不加热地进行。然而,也可以提供加热,使得塑性变形可以在升高的温度下进行。温度可以有利地位于第二金属层的液相线温度之下和/或固相线温度之下。其结果是,可以避免第二金属层的熔化。已经发现,如果第二金属层不熔化,就可以实现激光辐射在激光棒的这些独立发射器上的有利的更均匀的功率分布。

第二金属层的塑性变形可以在没有体积压缩的情况下发生。在变形过程中,第二金属层的厚度可以在凸起位置处至少在某些部分中减少。过量的材料可能被迫动在凹陷位置的方向上,而材料的总体积不经历显著变化。这对于均匀厚度的层是不可能的。

在第二金属层的塑性变形之后,可以在第二金属层的凸起位置处形成限制或防止进一步塑性变形的金属间相。这样的金属间相可以作为扩散的结果(例如在室温下)、或在低于第二层和金属间相的材料的相应熔融温度(固相线温度)的调节过程中发生。这样的扩散过程可能非常缓慢地进行,例如可能需要几分钟、几小时、几天、几周或几个月。例如,第二端子区和/或第二触点区可以由镀金表面制成。然后,金可以至少部分地扩散到例如由锡和/或铟组成的第二金属层中。这可以产生与锡或铟相比非常硬并且无法再塑性变形的金-锡或金-铟相。由于金属间相的形成可能需要非常长的时间,所以力的作用不阻碍根据本发明的第二金属层的塑性变形。有利地,还可以提供第一金属层。当安排激光棒时,第一金属层可以在至少某些部分中被安排在第一端子区与第一触点区之间。第一金属层可以具有均匀的层厚度。这可以是有利的,因为于是可以实现激光棒的p侧的更好的均匀性。第一金属层可以由软的重金属构成,例如锡、铅、铟或镉,或包括这样的金属。可以优选使用铟和/或锡,因为铅和镉不太环境相容。

第一或第二金属层还可以对应地突出超过第一或第二触点区。

第一或第二金属层可以通过涂覆来生产。涂覆在生产工程中被理解为是指根据din8580的用于将无形物质的粘合层施加到工件的表面的主要制造工艺群组。相应的操作和所施加的层本身也称为涂层。涂层可以是薄层或厚层,并且可以包括多个连续的层;区别不是精确定义的,并且取决于涂覆方法和预期应用。在本发明的意义上,具有取决于位置的层厚度的涂层也称为层。

第二金属层可以通过涂覆第二端子区来生产。为此目的,可以使用电镀或物理涂覆方法(例如气相沉积、溅射)。涂覆可以用掩模执行,以便产生凹陷位置和凸起位置。可替代地,还可以涂覆均匀厚度的层,并且此后例如通过压花、刻痕或蚀刻来制造凹陷位置和凸起位置。第二金属层还可以通过涂覆激光棒的第二触点区来生产。

第二金属层还可以被制成为自支撑层,该自支撑层可以例如通过对金属箔压花来生产。

关于这些凸起位置,该第二金属层可以被制成为比该第一金属层更厚。第二金属层在凸起位置处可以优选地具有3μm至100μm、特别优选为5μm与15μm之间的厚度。第一金属层可以优选地具有小于5μm、特别优选是小于3μm的均匀厚度。

第二金属层可以被施加到第二端子区。第一金属层(如果提供的话)可以被施加到第一端子区。第二金属层可以被施加到第二触点区。第一金属层(如果提供的话)可以被施加到第一触点区。还可以在第二触点区与第二端子区之间提供另外的金属层。

第二金属层可以具有优选在5%与95%之间和/或特别优选在10%与50%之间的体积填充度。体积填充度应理解为是指材料体积与基部面积d和原始(尚未变形)层的层厚度d的乘积的比率。在这样计算的情况下,层厚度d是凸起位置处的层厚度。

本发明还包括二极管激光器。根据本发明的二极管激光器包括:至少一个边缘发射激光棒,该边缘发射激光棒具有形成为p触点的第一触点区以及形成为n触点的第二触点区;导热体,该导热体具有第一端子区;盖,该盖具有第二端子区;以及第二金属层。激光棒被安排在导热体与盖之间。第二金属层在至少某些部分中被安排在第二端子区与第二触点区之间。盖被机械地连接到导热体上。第一触点区在整个表面积上被热学且电学地连接到第一导热体的第一端子区。这意味着,通过这种连接,废热从激光棒到导热体的尽可能好的散热是可能的,并且同时对于将操作电流馈送到激光棒,使得具有最低可能电阻的电连接成为可能。第二触点区通过第二金属层电连接到第二端子区。这意味着此连接也旨在以最低可能的电阻形成。第二金属层具有多个连接位置,在这些连接位置处第二触点区在法线n的方向(即z方向)上连续地连接到第二端子区。第二金属层还具有多个中断位置,在这些中断位置处第二触点区在法线n的方向上并不连续地连接到第二端子区。在这种情况下,对于层的平面的点是被指配成连接位置还是被指配成中断位置起决定性作用的是在该点处在法线方向n上是否存在连续的材料结合、或者在法线方向n上是否存在至少一个空隙。所述层的法线n可以垂直于第二触点区,也就是说z方向。因此,连接位置和中断位置可以投影到xy平面上。在这种情况下,这些中断位置所具有的总面积可以有利地为第二触点区的面积量的至少20%。单独考虑,这些中断位置不应被选择为太大,以避免不均匀的电流输入到第二触点区。在到xy平面上的投影中,对于属于中断位置的每个点,距离属于连接位置的最近点的距离应不大于0.5mm,有利地不超过0.25mm。

可以有利地将盖提供成对从第二触点区散热作出贡献。第二金属层中的空隙(即中断位置)可以保持空置,或者可替代地填充有另外的结合剂,例如环氧树脂。可以在另外的方法步骤中进行对这些空隙的填充。如果适当的话,与具有未填充空腔的连接相比,以这种方式可以改善连接的机械强度。盖可以通过电绝缘结合剂来在热学上并且机械地连接到导热体。

第二金属层的根据本发明的用于生产用于二极管激光器的夹紧连接的用途可以是有利的,该第二金属层是利用涂覆工艺来生产的并且具有结节结构,该结节结构具有的覆盖密度为该层的每平方毫米面积至少一个结节,该第二金属层被安排在激光棒的第二n侧触点区与盖的第二端子区之间,并且该第二金属层被提供在该第二触点区或该第二端子区上。

附图说明

这些附图示出如下:

图1示出了在组装之前的第一示例性实施例的操作原理

图2示出了在组装之后的第一示例性实施例的操作原理;

图3以侧视图示出了第一示例性实施例;

图4示出了第二示例性实施例

图5示出了第三示例性实施例

图6示出了第四示例性实施例的盖

图7示出了第五示例性实施例的盖

图8示出了第六示例性实施例的盖

图9示出了第七示例性实施例的盖

图10示出了第三示例性实施例的纵向截面

图11示出了第三示例性实施例的横截面

图12示出了第五示例性实施例的纵向截面

图13示出了第五示例性实施例的横截面

图14示出了第八示例性实施例的纵向截面

图15示出了第八示例性实施例的横截面

图16示出了第九示例性实施例的纵向截面

图17示出了第九示例性实施例的横截面

图18示出了第十示例性实施例的横截面

图19示出了第十一示例性实施例的横截面

图20示出了第二金属层的单平面投影

应当指出的是,这些图未按比例绘制。需要夸大的表示来说明本发明。

符号说明:

1.二极管激光器

2.激光辐射

3.激光棒

4.衬底

5.外延层

6.发射器

7.第一侧

8.第一触点区

9.第二侧

10.第二触点区

11.导热体

12.第一端子区

13.纤维芯(芯)

14.盖

15.第二端子区

16.第一金属层

17.第二金属层

18.基部面积

19.凸起位置

20.凹陷位置

21.平均轮廓线

21.法线方向上的连接位置

23.法线方向上的中断位置

24.力

25.圆顶

36.脊

27.高原

28.空穴

29.洼地

30.基部

31.结合剂

具体实施方式

示例性实施例:

将基于图1、图2和图3中的第一示例性实施例进行来说明本发明。图1以前视图示出了在组装二极管激光器1之前第一示例性实施例的操作原理。示出了所提供的具有多个发射器6的激光棒3,该激光棒在第一侧7具有形成为p触点(阳极)的第一触点区8、并且在与第一侧相反的第二侧9具有形成为n触点(阴极)的第二触点区10。激光棒具有厚度变化和曲率。为了说明本发明的操作原理,这些特征被大大地夸大了。还示出了所提供的具有第一端子区12的导热体11。第一端子区涂覆有铟的第一金属层16(以交叉阴影线示出)。还示出了具有第二端子区15的所提供的盖14。该区具有被夸大地示出的轻微不均匀性。施加到第二端子区的是铟的第二金属层17(以交叉阴影线示出),该第二金属层具有多个凸起位置19和多个凹陷位置20。因此,第二金属层可以与盖一起提供。在凹陷位置20处不存在层材料。激光棒被安排在导热体11与盖14之间,第一触点区8面向导热体的第一端子区12并且第二触点区10面向盖的第二端子区15,并且第二金属层17至少在某些部分中被安排在第二端子区15与第二触点区10之间。在该示例中,第二金属层以是按以下方式提供的,即使得第二金属层在y方向上不突出超过第二触点区。然而,在一个部分中,第二金属层在x方向上突出超出触点区,如从下面描述的图3可以看出。

图2示出了在组装过程中或之后的二极管激光器1。产生了至少一个力24,该力具有沿着导热体11的方向按压盖14的分量。在该力的作用下第一触点区8被按压平靠第一端子区12,第二金属层17在这些凸起位置19的区域中的至少某些部分经历塑性变形。保持了层材料的体积,可以迫使多余的材料进入凹陷位置。如可看到的,上述不均匀性、厚度变化和曲率被均匀化,并且此后这些发射器6处于一条直线上。在这种情况下,激光棒可以弹性变形。第一金属层没有被压缩或几乎不被压缩,因为它是以均匀厚度制成的。如可看到的,第二金属层17在这些凸起位置处建立了在法线方向上(即在z方向上)第二触点区到第二端子区的连接。在这些凹陷位置处,在法线方向上第二触点区相对于第二端子区不存在连续连接。在那里存在没有材料结合的中断位置23。在法线方向上的连续连接仅在连接位置22处存在。

图3以第一示例性实施例的侧视图示出了盖14相对于导热体11的机械连接的建立。机械连接是通过电绝缘结合剂31来执行的。成品二极管激光器在x方向上发射激光辐射2。在激光棒的第一触点区附近的外延层结构5的位置同样用虚线表示。

作为预防措施,应当指出的是,图1至图9中的阴影线仅旨在强调金属层;这些阴影线并不表示截面积。

在第一示例性实施例的修改(未示出)中,不存在第一金属层。第一触点区被直接放置到第一端子区上。

图4示出了在组装二极管激光器1之前第二示例性实施例的前视图。第二金属层17已经被施加到激光棒的第二侧并且与激光棒一起提供。

图5示出了在组装二极管激光器1之前第三示例性实施例的前视图。第二金属层17被提供为自支撑层。在该示例中,凹陷位置20具有大于零的层厚度。

图6示出了第四示例性实施例的盖14的观察方向z上的平面视图(仰视图)。第二金属层的凸起位置19被制成为带状高原。

图7示出了第五示例性实施例的盖14的观察方向z上的平面视图(仰视图)。第二金属层的凸起位置19被制成为带状高原。

图8示出了具有结节结构的第六示例性实施例的盖14的观察方向z上的平面视图(仰视图)。第二金属层的凸起位置19被制成为圆形高原。在图示中,用交叉阴影线强调凸起位置。这些高原也可以称为圆柱形结节。该结节结构存在于主要区a18上。这些凹陷位置形成连续区,该连续区可以被想象为盆地(低平面),而凸起位置是单独的非连续高原区。在拓扑学意义上,低平面是多重连续区。

图9示出了第七示例性实施例的盖14的观察方向z上的平面视图(仰视图)。第二金属层的凸起位置19被制成为不同尺寸的圆形高原。结节结构存在于基部面积18上,并且在该整个面积上不均匀地分布。其结果是,可以避免例如在周边区域对激光棒施加过大的压力。

图10示出了第三示例性实施例的纵向截面a-a。凸起位置19形成为形成在第二端子区15上的带状高原27。在此xz截面(纵向截面)中,以截面示出了带状高原27。

图11示出了第三示例性实施例的横截面b-b。凸起位置19形成为在第二端子区15上的带状高原27,而凹陷位置20被形成为盆地30。还指示出了可以在凸起位置处测量出的结构尺寸s和层厚度d的范围。在该yz截面(横截面)中存在多个凸起位置19和多个凹陷位置20。

图12示出了第五示例性实施例的纵向截面c-c。凸起位置19形成为在第二端子区15上的圆形高原27。在此xz截面(纵向截面)中存在多个凸起位置19和多个凹陷位置20。

图13示出了第五示例性实施例的横截面。在此示例的情况下,在所示的yz截面(横截面)中也存在多个凸起位置19和多个凹陷位置20。

图14示出了第八示例性实施例的纵向截面。在此,第二金属层的凸起位置19被制成为脊26。截面aa、bb、cc和dd的位置可以对应于上述第三和第五示例性实施例的截面位置。

图15示出了第八示例性实施例的横截面。

图16示出了第九示例性实施例的纵向截面。在此,第二金属层的凸起位置19被制成为圆顶25。第二金属层在此形成为结节结构。

图17示出了第九示例性实施例的横截面。

图18示出了第十示例性实施例的横截面。在此,凹陷位置20被制成为洼地29。

图19示出了第十一示例性实施例的横截面。在此,凹陷位置20被制成为空穴28。这些空穴可以被制成围绕顶点的轴线旋转对称。凸起位置19形成在拓扑学意义上可以是多重连续的连续高原区27。在这种情况下,凹陷位置是不连续的,因为高原区的每个空穴都在所有侧面上被包围。

图20示出了第十二示例性实施例的第二金属层17的单平面投影。在此,第二金属层的凸起位置19被制成为以矩阵形式安排的圆顶25。轮廓线的确定旨在的通过此示例来展示的。可以选择具有多个凸起位置的基部面积a18。该基部面积还可以是第二金属层的整个基部面积。每个单独的圆顶具有平均轮廓线21,其具有一定长度。所有平均轮廓线的长度之和给出总长度l。这可以用于确定比率l/a。

作为第一至第十二示例性实施例的修改(未示出),第二金属层是通过涂覆激光棒的第二侧来生产的。在本发明的范围内,本领域技术人员可以以各种方式将所提到的示例性实施例相互组合。

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