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层叠体的制作方法
文档序号:15308557
发布日期:2018-08-31 21:24
阅读:
来源:国知局
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层叠体的制作方法
技术特征:
技术总结
一种层叠体,其中,依次具有基板、选自接触电阻降低层和还原抑制层中的1层以上的层、肖特基电极层和金属氧化物半导体层。
技术研发人员:
上冈义弘;关谷隆司;笘井重和;川岛绘美;霍间勇辉;竹岛基浩
受保护的技术使用者:
出光兴产株式会社
技术研发日:
2016.12.26
技术公布日:
2018.08.31
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