一种通用型扫描电子显微镜样品台座的制作方法

文档序号:15148569发布日期:2018-08-10 20:45阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种通用型扫描电子显微镜样品台座,本发明公开的通用型扫描电子显微镜样品台座包括被设置用于负载样品台的顶面,在所述顶面上设有至少一个样品台孔,所述样品台孔被设置用于放置圆柱型样品台;和至少一个支柱,所述支柱具有和螺孔型样品台的螺孔相配合的外螺纹。本发明的样品台座,能够匹配市场上大部分型号的扫描电子显微镜样品台,使用本发明的样品台座极大的提高了观察效率,显著地降低了扫描电子显微镜的观察成本。而且,本发明的通用型扫描电子显微镜样品台座布局紧凑,充分合理的利用了样品台座的有限的空间。

技术研发人员:倪兵;王奕文;巩志伟;陈丽
受保护的技术使用者:华东师范大学
技术研发日:2017.11.15
技术公布日:2018.08.10
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