一种脱胶架的制作方法

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种脱胶架。

背景技术：

硅是非常重要和常用的半导体原料，硅片的制造是由硅棒在线切割机上切割成硅片，硅棒是通过胶水粘结在玻璃棒上，玻璃棒通过胶水粘结在晶托上，硅棒切成片后，需要经过脱胶和清洗后才能使用，硅片脱胶作为硅片生产流程中关键的一道工序，其操作直接影响硅片的成品率，进而影响其生产效率。传统的手工脱胶易造成硅片崩边且生产效率较低，满足不了企业对规模化生产的要求；而机器脱胶经常因为脱胶前硅片的夹紧程度不够而造成脱胶后硅片散落损坏，而且一台脱胶机床基本配备一种脱胶架，一种脱胶架只能适用一类晶托，企业中一般购置不只一种切片机床进行生产活动，每一种切片机床的晶托都不相同，需要与之匹配不同的脱胶架，这就导致脱胶架的用量成倍增加，其制作和维护费用又导致生产成本成倍增加，且其存放和搬运增加了工作人员的劳动强度，间接增加企业人力成本，降低了生产效率。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种脱胶架，其结构简单，通过设有不同类型的勾手可适用不同类型的晶托，节约成本，提高生产效率。

本实用新型所采取的技术方案是：一种脱胶架，包括框架，所述框架包括两个相对的矩形构架和连接两个所述构架端部的侧板，所述构架包括顶板和底板以及连接所述顶板与所述底板两端的立板，贴着所述顶板上部设有用于固定晶托的勾手，所述顶板上设有多个可沿所述顶板长度方向移动的滑块，每个所述滑块上均设有锁紧装置，每个所述顶板下方均依次设有平行于所述顶板用于夹紧硅片的夹杆、插片槽和托杆，所述夹杆、所述插片槽和所述托杆的两端均连接于所述侧板，所述勾手包括两个相对的且平行于所述顶板的横板和连接两个所述横板并与晶托相适配的支撑板，两个所述横板之间设有连接板，所述连接板中间设有螺纹孔，所述横板上设有两个导杆，所述导杆穿过两个所述横板放置于所述顶板上部，所述导杆两端设有直径大于所述导杆的挡轮，所述滑块与所述挡轮用于限制所述勾手水平向的移动。

作为优选的方案，所述支撑板平行于所述侧板且截面为未封闭的口字形。

作为优选的方案，所述插片槽两端部为圆柱体形，所述插片槽中部为锯齿形。

作为优选的方案，所述侧板上对称设有水平向的两条形通孔，所述夹杆和所述插片槽的两端均穿过条形通孔并通过螺栓固定连接，所述夹杆设于所述插片槽的内侧。

作为优选的方案，所述侧板上对称设有竖直向的两条形通孔，所述托杆的两端穿过条形通孔并通过螺栓固定连接。

作为优选的方案，所述构架两侧设有圆柱体形提手。

作为优选的方案，所述框架高度为345mm-355mm。

与现有技术相比，采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型结构简单，通过设有不同类型的勾手可固定不同类型的晶托，通过设有夹杆、插片槽和托杆可将硅片夹紧，保证硅片脱胶过程中不会散落损坏；当生产不同型号硅片时，只需更换相应勾手即可，不必更换整个脱胶架，操作简单，省时省力，节约成本，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的结构示意图。

图2是本实用新型实施例2的结构示意图。

图中：1、框架；11、构架；111、顶板；112、底板；113、立板；12、侧板；2、勾手；21、横板；22、支撑板；23、连接板；24、导杆；25、挡轮；3、滑块；4、夹杆；5、插片槽；6、托杆；7、提手；8、把手。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1：本实施例中，请参阅图1，本实用新型包括框架1，所述框架1包括两个相对的矩形构架11和连接两个所述构架11端部的侧板12，所述构架11包括顶板111和底板112以及连接所述顶板111与所述底板112两端的立板113，贴着所述顶板111上部设有两个用于固定晶托的勾手2，每个所述顶板111上设有四个可沿所述顶板111长度方向移动的滑块3，每个所述滑块3上均设有锁紧装置，每个所述顶板111下方均依次设有平行于所述顶板111用于夹紧硅片的夹杆4、插片槽5和托杆6，所述夹杆4、所述插片槽5和所述托杆6的两端均连接于所述侧板12，所述勾手2包括两个相对的且平行于所述顶板111的横板21和两个连接所述横板21并与晶托相适配的支撑板22，两个所述横板21之间设有一个连接板23，所述连接板23中间设有用于固定晶托的螺纹孔，所述横板21上设有两个导杆24，所述导杆24穿过两个所述横板21放置于所述顶板111上部，并与所述滑块3的一端接触，用于限制所述勾手2的横向移动，所述导杆24两端设有直径大于所述导杆24的挡轮25，所述挡轮25内侧与所述滑块3外侧接触，用于限制所述勾手2的纵向移动。

作为优选的方案，所述框架1和所述勾手2均是焊接而成，每个所述滑块3上的锁紧装置均为两个紧固螺栓，所述支撑板22平行于所述侧板12且截面为未封闭的口字形；所述夹杆4和所述托杆6均设有弹性管套，所述插片槽5两端部为圆柱体形，所述插片槽5中部为锯齿形；所述侧板12上对称设有水平向的两条形通孔，所述夹杆4和所述插片槽5的两端均穿过条形通孔并通过螺栓固定连接，所述夹杆4设于所述插片槽5的内侧；所述侧板12上对称设有竖直向的两条形通孔，所述托杆6的两端穿过条形通孔并通过螺栓固定连接；所述构架11两侧设有圆柱体形提手7，所述提手7焊接于所述构架11上，所述框架1高度为345mm-355mm。

本实施例中，请再次参阅图1，本实用新型在NTC442切片机床上进行硅片脱胶工作时，选择与该类型晶托相适配的勾手2，所述勾手2的长度为320mm-330mm，将两个所述勾手2放置于所述框架1上的合适位置，然后移动八个所述滑块3直到分别与四个所述导杆24接触，拧紧紧固螺栓；将所述挡轮25内侧与所述滑块3外侧接触，使所述勾手2不能水平向移动；两个所述支撑板22形成一个未封闭的口字形横向滑槽与晶托相适配，将晶托放置于所述勾手2下方形成的滑槽内，然后通过连接板23中间的螺纹孔将所述勾手2与晶托通过螺栓固定连接；调整所述夹杆4和所述插片槽5的水平向位置，调整所述托杆6的竖直向位置，拧紧螺栓，分别使所述夹杆4和所述托杆6夹紧硅片的前后侧和上下侧；将插片从插片槽5穿过硅片两侧端面和较大缝隙处并固定于所述夹杆4上，夹紧硅片的两端面，保证硅片脱胶过程中不会散落损坏；然后将其一起放置于温水中进行脱胶，所需的液体温度根据所使用的胶水来定，其原理是胶水在一定的温度范围内会软化，硅片自动从晶托上脱落，同时在热水中加入乳酸或者柠檬酸可将胶水软化的时间缩短，提高工作效率。

实施例2：请参阅图2，本实施例中的脱胶架的结构与实施例1基本相同，不同之处在于本实用新型是在PV600切片机床上进行硅片脱胶工作的，所述勾手2为一个，所述勾手2的长度为670mm-680mm，所述勾手2包括四个所述支撑板22和三个所述连接板23，四个所述支撑板22形成一个未封闭的口字形横向滑槽与晶托相适配，所述勾手2还包括两个用于提升或下放所述勾手2的把手8，两个所述把手8分别设于所述勾手2两端的支撑板22的外侧，优选的，所述把手8是横截面为圆的U形把手。

本实用新型结构简单，通过设有不同类型的勾手可固定不同类型的晶托，通过设有夹杆、插片槽和托杆可将硅片夹紧，保证硅片脱胶过程中不会散落损坏；当生产不同型号硅片时，只需更换相应勾手即可，不必更换整个脱胶架，操作简单，省时省力，节约成本，提高生产效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。