匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构的制作方法

文档序号:12880607阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖(1),该箱型槽盖(1)的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头(2),该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔(3)的匀流板(4),该匀流板(4)与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板(5)。

2.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述匀流板(4)是由两个相互连接且成一定角度倾斜设置的板片构成的倒V型板。

3.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述匀流板(4)为一体折弯成型结构。

4.根据权利要求2所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述冷凝板(5)位于倒V型匀流板(4)的折线交界处。

5.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述冷凝板(5)由便于抽取废气的抽气区域和便于液滴滴落的冷凝区域构成,所述抽气区域为位于冷凝板上部靠近抽风管接头(2)处且开设有若干个抽风孔(3)的弧形区域。

6.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述抽风管接头(2)关于箱型槽盖(1)的横向中心面对称,且其中心线与箱型槽盖(1)的纵向中心面相重合。

7.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:相邻的所述抽风管接头(2)沿箱型槽盖(1)长度方向的间距为箱型槽盖长度的1/2~5/6。

8.根据权利要求1所述的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构,其特征在于:所述箱型槽盖(1)的侧板上还设有便于冷凝液排出的导出口(6)。

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