匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构的制作方法

本实用新型涉及太阳电池湿制程生产技术领域中的刻蚀槽的盖板，尤其涉及一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构。

背景技术：

太阳能电池片普遍使用湿法制绒、湿法刻蚀等工序，制绒通常用来去除损伤层和降低反射率，刻蚀工序用于腐蚀硅片侧面边缘PN结，防止边缘导通漏电。湿制程槽体通常采用功能槽与水槽相邻，功能槽与功能槽相间隔的方式排布，槽体上方采用槽盖覆盖防止气体挥发入空气中。

现在扩散技术有管式和链式两种，其中链式扩散对比管式扩散，即使去除硅片表面的PSG(磷硅玻璃)，PN结表面仍然有一层富磷层。链式扩散形的PN结一般不能直接用于太阳能电池，需要利用刻蚀步骤进行方阻提升和边缘隔离，匹配现在的行业内普遍使用的高方阻工艺。

为了去除链式扩散表面形成的较厚的PSG及富磷层，在不增加槽体长度的情况下，通常采用增加药液浓度的方法来解决。但是药液浓度的增加会导致药液的挥发增强，在抽风不好的情况下会引起药品串槽、风刀堵塞等异常，最终导致电性能降低、电池片色斑等不良情况。

湿制程盖板通常只是采用增强抽风的方法来防止以上情况，可是对需要采用气象腐蚀的链式扩散是不可取的，因为抽风增强会导致道与道之间硅片氧化情况差异增大，方阻不均匀。

因此，亟待解决上述问题。

技术实现要素：

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种不易积液、气流产生扰动小且可保障硅片氧化均匀的匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构。

技术方案：为实现以上目的，本实用新型所述的一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，包括设置在刻蚀槽槽体上用于封闭所述槽体的槽盖，该槽盖包括相互连接且与水平面成一定角度倾斜设置的第一盖板和第二盖板、以及连接在所述第一盖板和第二盖板两端的两侧板，该侧板、第一盖板、第二盖板构成三棱柱状空间；所述第一盖板和第二盖板上分别设有抽风盒，该抽风盒的上方设有至少一个与外部抽风管道相连通的抽风管接头，该抽风盒的底部与所述槽体内部相连通。该槽盖结构中槽盖坡角方向顺着硅片行进方向，且抽风盒设置在表面平整的槽盖上，大大减低了槽盖对气流的影响，不会对气流产生扰动，即可保障硅片表面氧化均匀；其次槽盖的行程更长不易积液，抽风过程中形成的液滴可以直接收集在抽风口，再单独导出收集；再者通过控制两边抽风盒的抽风，可以形成气压差，控制气流方向，从而形成的氧化性气流均匀柔和，PN结表面受到气流氧化，其硅片内以及硅片片间被氧化的差异小。

其中，所述抽风管接头具有2个，分别设置于抽风盒两端。分布于抽风盒两端的抽风管接头可保障抽风的气流均匀，提高抽风效率。

优选的，所述槽盖的坡角方向与抽风管接头的连线相垂直。

优选的，所述抽风盒垂直于侧板，且与槽盖的两端相平齐。

再者，所述抽风盒的底部具有倒V型底板，该底板上均布有两排与所述槽体内部相连通的若干个抽风孔。该抽风盒中的倒V型底板使得抽风过程中湍流更小，使得气流更加稳定；再者抽风口位于槽液与空气的交界处，即气体挥发最严重处，使得抽风效率进一步得到提升。

进一步，所述抽风盒上还设有便于冷凝液排出的导出口。

优选的，所述第一盖板与水平面的夹角为30°～80°。

再者，所述第二盖板与水平面的夹角为30°～80°。由于第一盖板与第二盖板是倾斜的，可将在盖板的内壁上冷凝成液滴引流至槽体的边缘，避免冷凝液滴聚集后滴落在硅片上，对硅片刻蚀产生不好影响。

进一步，所述第一盖板和第二盖板为一体折弯成型结构。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：首先该槽盖结构中槽盖坡角方向顺着硅片行进方向，且抽风盒设置在表面平整的槽盖上，大大减低了槽盖对气流的影响，不会对气流产生扰动，即可保障硅片表面氧化均匀；其次槽盖的行程更长不易积液，抽风过程中形成的液滴可以直接收集在抽风口，再单独导出收集；再者通过控制两边抽风盒的抽风，可以形成气压差，控制气流方向，从而形成的氧化性气流均匀柔和， PN结表面受到气流氧化，其硅片内以及硅片片间被氧化的差异小；还有分布于抽风盒两端的抽风管接头可保障抽风的气流均匀，提高抽风效率；进一步该抽风盒中的倒V型底板使得抽风过程中湍流更小，使得气流更加稳定；再者抽风口位于槽液与空气的交界处，即气体挥发最严重处，使得抽风效率进一步得到提升；还有由于第一盖板与第二盖板是倾斜的，可将在盖板的内壁上冷凝成液滴引流至槽体的边缘，避免冷凝液滴聚集后滴落在硅片上，对硅片刻蚀产生不好影响；最后该槽盖结构与原机台兼容性高，更换简易、结构简单，更耐用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中抽风盒的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案作进一步说明。

如图1所示，本实施新型一种匹配链式扩散的刻蚀槽的槽盖结构，包括槽盖1、侧板4、抽风盒5。槽盖1设置在蚀刻槽槽体(图中未示出)上用于封闭该槽体，该槽盖1 包括相互连接且与水平面成一定角度倾斜设置的第一盖板2和第二盖板3、以及连接在第一盖板2和第二盖板3两端的两侧板4，该侧板4、第一盖板2、第二盖板3构成三棱柱状空间；该三棱柱空间覆盖与刻蚀槽槽体上方，与刻蚀槽槽体的上表面形成线接触并构成密封空间，对刻蚀槽进行封闭，避免刻蚀槽内的有害气体溢出。第一盖板2与水平面的夹角为30°～80°，第二盖板3与水平面的夹角为30°～80°，使得槽盖1的横截面呈倒V字形结构，当部分酸雾在第一盖板2或第二盖板3的内壁上冷凝并聚集成小液滴时，由于第一盖板2和第二盖板3相对于水平面是倾斜的，在重力作用下液滴引流至槽体的边缘，避免冷凝液滴聚集后滴落在硅片上，对硅片刻蚀产生不好影响。上述第一盖板2和第二盖板3为一体折弯成型结构，可由一块整的槽盖折弯而成，且形成的折线位于刻蚀槽上方。

如图1所示，本实用新型中硅片的行进方向自左向右，槽盖1的坡角方向与抽风管接头6的连线相垂直，即槽盖坡角方向顺着硅片行进方向，且抽风盒设置在表面平整的槽盖上，大大减低了槽盖对气流的影响，不会对气流产生扰动，即可保障硅片表面氧化均匀；其次槽盖的行程更长不易积液，抽风过程中形成的液滴可以直接收集在抽风口，再单独导出收集；再者通过控制两边抽风盒的抽风，可以形成气压差，控制气流方向，从而形成的氧化性气流均匀柔和，PN结表面受到气流氧化，其硅片内以及硅片片间被氧化的差异小。

如图1所示，第一盖板2和第二盖板3上分别设有抽风盒5，该抽风盒5的上方设有至少一个与外部抽风管道相连通的抽风管接头6，该抽风盒5的底部与所述槽体内部相连通。本实施例中抽风管接头6具有2个，分别设置于抽风盒5两端，分布于抽风盒两端的抽风管接头可保障抽风的气流均匀，提高抽风效率。上述抽风盒5垂直于侧板4，且与槽盖1的两端相平齐。

如图2所示，上述抽风盒5的底部具有倒V型底板7，该底板7上均布有两排与所述槽体内部相连通的若干个抽风孔8。该抽风盒中的倒V型底板使得抽风过程中湍流更小，使得气流更加稳定；再者抽风口位于槽液与空气的交界处，即气体挥发最严重处，使得抽风效率进一步得到提升。

如图2所示，抽风盒5上还设有便于冷凝液排出的导出口9。

本实用新型槽盖结构与原机台兼容性高，更换简易、结构简单，更耐用；且在该槽盖结构与刻蚀槽槽体构成的刻蚀槽中形成的硅片的片内方阻均匀性得到改善，且生产的电池片整体可以采用更高的方阻，匹配浆料烧结效率更高；同时不同刻蚀轨道片间方阻差异小，有利于整体方阻的调整，可以快速更新方阻匹配方案且效率波动小。