技术总结
本实用新型公开了一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖，该箱型槽盖的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头，该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔的匀流板，该匀流板与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板。该抽风盖板结构利用匀流板实现从两侧功能槽均匀抽风，有效避免串槽，还利用冷凝板和匀流板提高抽风效率，使箱型槽盖下部气流更加均匀。
技术研发人员：潘浩
受保护的技术使用者：无锡德鑫太阳能电力有限公司
文档号码：201720154947
技术研发日：2017.02.21
技术公布日：2017.11.07