大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管的制作方法

文档序号:11320147阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,包括N型衬底,其特征在于,还包括:形成于N型衬底背面的背面金属层(12),用于形成晶体管的集电极;

N型衬底的上方中间形成有P型基区(9);P型基区(9)的上方连接有基区一级金属层(4);

P型基区(9)的正面形成有N+型发射区(8),N型衬底正面形成N+型增阻环(13),N+型增阻环(13)与P型基区(9)保持间隔并围绕P型基区(9)设置,N+型发射区(8)的上方连接有发射区一级金属层(3);

发射区一级金属层(3)和基区一级金属层(4)相互隔离;

衬底的顶部覆盖有绝缘介质层(7),绝缘介质层(7)上方形成有表面保护阻挡层(6),表面保护阻挡层(6)上方形成有钝化层(5);

基区二级金属层(2)设置在钝化层(5)上,并通过钝化层(5)的开口与基区一级金属层(4)相连,用于形成晶体管的基极;

发射区二级金属层(1)设置在钝化层(5)上,并通过钝化层(5)的开口与发射区一级金属层(3)相连,用于形成晶体管的发射极;

基区二级金属层(2)和发射区二级金属层(1)相互隔离。

2.如权利要求1所述的大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,其特征在于:

N+型发射区(8)和N+型增阻环(13)同时形成,其结深和掺杂浓度相同。

3.如权利要求1所述的大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,其特征在于:

N型衬底包括与背面金属层(12)相接的N+型第一衬底子层(11)和N+型第一衬底子层(11)之上的N-型第二衬底子层(10)。

4.如权利要求3所述的大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,其特征在于: N-型第二衬底子层(10)与N+型第一衬底子层(11)之间的掺杂浓度是突变。

5.如权利要求1所述的大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,其特征在于:

P型基区(9)与N-型第二衬底子层(10)之间的PN结为浅结深PN结。

6.如权利要求1所述的大电流高频低饱和压降NPN型功率晶体管,其特征在于:表面保护阻挡层(6)为磷硅玻璃膜。

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