技术总结
本实用新型涉及一种激光设备中相机精确校准装置，包括相机组件、晶圆、光掩膜、平面光源、相机组件固定板、后滑轨、前滑轨、前滑块和后滑块，八个相机组件均安装在相机组件固定板上，相机组件设置在平面光源上侧，晶圆设置在平面光源与相机组件之间，光掩膜通过安装机构设置在晶圆上侧，后滑轨设置在平面光源上端面后侧，后滑轨前端面开设有后滑槽，前滑轨设置在平面光源上端面前侧，前滑轨后端面开设有前滑槽，光掩膜前端面设置有前滑块，光掩膜后端面设置有后滑块，前滑块位于前滑槽内部，后滑块位于后滑槽内部，本实用新型将光掩膜准确放置于相机拍照工位，通过相机成像来判断及调整相机位置知道调节正确。
技术研发人员：张亚运
受保护的技术使用者：常州雷射激光设备有限公司
文档号码：201720895026
技术研发日：2017.07.21
技术公布日：2018.04.17