技术特征：
技术总结
一种方法，所述方法包括使包含钇基氧化物的制品浸没在包含水和1摩尔％～10摩尔％的HF酸的酸性清洁溶液中。所述HF酸会溶解部分的所述钇基氧化物。基于所述HF酸与所述钇基氧化物的已溶解部分之间的反应而形成钇基氟氧化物。所述钇基氟氧化物沉淀在所述制品上并且覆盖所述钇基氧化物而形成钇基氟氧化物涂层。所述酸性清洁溶液可以包含钇基盐，所述钇基盐可以额外与所述HF酸进行反应以形成更多的钇基氟氧化物。
技术研发人员：C·李;J·Y·孙;Y·陈
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2017.01.23
技术公布日：2019.01.11