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保持装置、检查装置、检查方法、树脂封装装置、树脂封装方法及树脂封装品的制造方法与流程
文档序号:17583946
发布日期:2019-05-03 21:09
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来源:国知局
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保持装置、检查装置、检查方法、树脂封装装置、树脂封装方法及树脂封装品的制造方法与流程
技术特征:
技术总结
为了即使对已变形的对象也通过矫正对象的变形而将该对象稳定地保持在工作台上,保持装置具备:工作台,用于载置对象;多个抽吸孔,设置在工作台上且用于抽吸对象;密封件,设置在工作台上且包围多个抽吸孔的周围;按压部件,在配置有密封件的位置上,将对象的周围按压到工作台上;和减压机构,与多个抽吸孔连接。
技术研发人员:
尾张弘树;高田直毅;白泽贤典;中尾聪;高田准子
受保护的技术使用者:
东和株式会社
技术研发日:
2017.09.27
技术公布日:
2019.05.03
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