技术特征：
技术总结
用于半导体制造的清洁系统和方法使用可旋转且可选地可平移的卡盘组件，该卡盘组件包括磁悬浮和旋转功能以引起卡盘旋转。旋转的卡盘部件在悬浮和旋转时没有物理接触其他卡盘部件。这消除了其摩擦或润滑剂可能生成污染的相应部件。本发明的低摩擦卡盘功能在工件在处理期间被支承在旋转的支承件上的任何制造工具中均有用。卡盘在低温清洁处理中特别有用。通过避免用于该旋转界面的润滑剂的使用，处理室可以更快地排空和/或向上排气至更高的压力。这极大地减少了用于低温处理的循环时间。
技术研发人员：威廉·P·尹霍费尔;肖恩·穆尔;伦斯·凡埃尔森
受保护的技术使用者：东京毅力科创FSI公司
技术研发日：2017.11.08
技术公布日：2019.06.21