技术特征：
技术总结
一种外延用基板及其制造方法，该外延用基板包括有一基板、一沉积层、一缓冲层以及一外延层。该沉积层直接设置于该基板上，该沉积层具有一渐变掺杂浓度，该沉积层具有一第一表面以及与其相对的第二表面，其中该第一表面具有该渐变掺杂浓度的最小值；一缓冲层，设置于该沉积层之上；一外延层，设置于该缓冲层之上，该外延层主要由III‑V族的氮化物所组成；其中，该基板与该沉积层为同质材料。藉此，通过该沉积层是直接设置于该基板上，且该沉积层与该基板属于同质的设计，本发明所提供的外延用基板具有散热表现佳、低漏电流等优点。
技术研发人员：刘哲铭;林嫚萱;庄志远;徐硕鸿;邹权炜;徐文庆
受保护的技术使用者：环球晶圆股份有限公司
技术研发日：2018.01.24
技术公布日：2018.11.13