技术特征:
技术总结
本发明提供一种半导体装置。所述半导体装置包括:衬底,包括单元区、核心区及位于单元区与核心区之间的边界区;边界元件隔离层,位于衬底的边界区中以将单元区与核心区隔开;高介电常数介电层,位于边界元件隔离层的至少一部分及衬底的核心区上;第一逸出功金属图案,包括与边界元件隔离层交叠的第一延伸部,第一逸出功金属图案位于高介电常数介电层上;以及第二逸出功金属图案,包括与边界元件隔离层交叠的第二延伸部,第二逸出功金属图案位于第一逸出功金属图案上,其中第一延伸部在从核心区朝单元区的方向上延伸的第一长度与第二延伸部在从核心区朝单元区的方向上延伸的第二长度不同。
技术研发人员:郑基旭;金桐吾;朴硕汉;尹灿植;李基硕;李昊仁;张燽娟;朴济民;洪镇宇
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2018.02.07
技术公布日:2018.08.14